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业绩持续增长,平台化布局加速落地
公司2025年前三季度营收80.6亿元,同比+46.4%;归母净利润12.1亿元,同比+32.7%。刻蚀设备收入61.01亿元,同比+38.26%;薄膜设备收入4.03亿元,同比+1332.69%。Q3单季营收31.0亿元,同环比+50.6%/+11.3%;归母净利润5.1亿元,同环比+27.5%/+28.6%。
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毛利率略降,研发投入大幅提升
前三季度毛利率39.1%,同比-3.1pct;销售净利率14.6%,同比-1.9pct;扣非净利率11%,同比-3.8pct。研发费用率22.3%,同比+5.7pct。
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存货&合同负债持续高增,在手订单充足
截至2025Q3末,合同负债43.9亿元,同比+47%;存货81.9亿元,同比+5%。前三季度经营性现金流13亿元,Q3单季11亿元,同环比大幅提升。
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刻蚀产品持续领先,镀膜产品拓展顺利
(1)CCP设备:60比1超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配,下一代90比1设备即将进入市场。
(2)ICP设备:下一代逻辑和存储客户用ICP刻蚀设备开发取得良好进展,精度达单原子水平。
(3)薄膜沉积设备:LPCVD、ALD等多款设备顺利进入市场,性能达国际领先水平;硅和锗硅外延EPI设备已量产验证,化合物半导体外延设备开发进展顺利。