2025年年报显示公司业绩持续增长,刻蚀设备收入98.3亿元(同比+36.6%),LPCVD设备收入5.1亿元(同比+224.2%),归母净利润21.1亿元(同比+30.7%)。公司毛利率略降(综合毛利率39.2%,同比-1.9pct),但研发投入大幅提升(研发费用率20.0%,同比+4.3pct,研发投入37.4亿元,同比+52.7%)。存货与合同负债稳步增长,合同负债30.4亿元(同比+17.7%),存货71.7亿元(同比+1.9%),经营性现金流稳定。平台化布局持续推进,覆盖刻蚀、薄膜、量检测等核心工艺,包括CCP、ICP、高选择比刻蚀设备,LPCVD、PECVD、ALD等多款薄膜设备,以及电子束检测设备。收购杭州众硅切入湿法CMP领域,提升成套工艺方案竞争力。盈利预测调整,2026-2027年归母净利润分别为27.3/34.6亿元,2028年42.6亿元,对应动态PE分别为73/57/47倍,维持“买入”评级。风险提示包括晶圆厂扩产节奏不及预期,新品研发&产业化不及预期等。