- 公司：公司主营干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，及相关技术服务，是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商。公司拥有三个国家级研发平台，是真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军，被评为国家“专精特新”小巨人企业。
1.1 产品：公司主要产品为面向半导体及泛半导体领域用于晶圆制造的干式真空泵，及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。
1.1.1 技术概述：真空技术应用广泛，其中集成电路对真空环境有较高依赖，公司产品主要包括罗茨干泵、螺杆干泵以及涡旋干泵等。
1.1.2 主要产品为干式真空泵和真空科学仪器设备
（1）用于薄膜制备的真空科学仪器设备：主要包括PVD、CVD设备，面向高等院校、科研院所等科研机构进行薄膜材料的研究与小批量制备。
（2）用于重大科技基础设施的高能物理真空装置：公司先后承担了多项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位。
1.2 财务：公司营业收入稳步增长，2025年营收、归母净利润双增。2022-2025年度，公司扣非归母净利润分别为6,186.11万元、7,298.08万元、8,787.75万元和10,297.96万元。
- 行业：集成电路产业稳步增长，干式真空泵市场持续扩容。
2.1 干式真空泵：下游稳步增长，我国已成全球最重要的集成电路市场。
（1）集成电路产业发展情况：2025年全球集成电路市场规模将增至6,779亿美元，较2024年大幅增长25.65%。2023年中国大陆集成电路产业销售额达12,277亿元，2016年至2023年产业收入年复合增长率达16.03%。
（2）光伏产业发展情况：2024年全球光伏年新增装机容量增至530GW，我国光伏年新增装机容量增至277.57GW。
（3）干式真空泵产业发展情况：2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元；2024年我国光伏产业对干式真空泵的需求约6.7-8.2万台，市场规模约47.0-57.2亿元。
2.2 真空科学仪器设备：基础研究持续深入带来发展空间：我国高度重视科技创新工作，2024年我国全社会研发投入达36,130亿元。科学仪器行业是现代工业的重要支撑，近年来我国企业研发部门、高校、科研院所等各类科研机构数量和规模的快速增长，以及研发经费的持续大规模投入，显著地促进了对各类科学仪器的需求。
2.3 技术水平特点：干式真空泵设计制造难度大、稳定性可靠性要求高：集成电路制造工艺复杂，干式真空泵所处工况环境严苛，要求干式真空泵具备极高的可靠性、稳定性。
- 看点：自主研发创新打破海外垄断，把握国产替代机遇。
3.1 竞争格局：集成电路中干式真空泵市场仍是海外企业占据主导地位，公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业。在光伏领域，国内光伏产业干式真空泵市场基本由国产厂商覆盖。
3.2 核心技术：公司自主研发形成了无油真空获得及精密加工技术、干泵抽气结构技术等8大核心技术。
3.3 募投项目：公司本次发行募集资金投资项目总投资额为129,491.88万元，其中拟使用本次募集资金82,548.33万元，主要用于干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。
- 估值对比：可比公司PE TTM均值126.39X。
- 风险提示：技术产品研发风险、市场竞争加剧风险、经营业绩下滑风险。
