环保行业月报：关注半导体行业回升动能正积蓄，电子特气国产替代方兴未艾

环保行业月报 证券研究报告·行业月报·环保 关注半导体行业回升动能正积蓄，电子特气国产替代方兴未艾 增持（维持） 投资要点 重点推荐：华特气体，凯美特气。 建议关注：中船特气，和远气体，硅烷科技，侨源股份，雅克科技，正帆科技。 市场需求整体大稳小动，上游气体供货相对平稳，各类气体价格呈窄幅下探态势。截至2023年6月30日，1）氙气：5N纯度氙气6月均价 7.475万元/立方米，较5月均价下降29.24%；2）氪气：5N纯度氪气6月均价888.33元/立方米，较5月均价下降25.47%；3）氖气：5N纯度氖气6月均价378.33元/立方米，较5月均价下降21.94%；4）氦气：40L瓶装高纯氦气6月均价1473.64元/瓶，较5月均价下降10.91%。 利好事件持续落地晶圆厂逆周期扩产积极推进，2023年半导体行业国产化潮向好不变。近期国内政策端持续加码：1)工信部支持加快关键芯片、高精度传感器等研发和推广应用，强调创新是第一生产力，要加快关键芯片、高精度传感器、操作系统等新技术新产品的研发和推广应用，进一步提升产业发展内生动力。2)发改委在集成电路、人工智能等重点行业深度推进产教融合，在新一代信息技术、集成电路、人工智能、工业互联网、储能、智能制造、生物医药、新材料等战略 性新兴产业，深入推进产教融合，培养服务支撑产业重大需求的技能技术人才。3）荷兰宣布9月起扩大半导体设备出口限制，一定程度上加快中资企业加大自研力度实现进口替代。此外，自美国制裁以来， 市场悲观情绪目前已经得到充分释放，叠加大陆部分头部晶圆厂逆周期扩产，2023年扩产有望超预期，受益于当前大背景，国产化率低的设备及材料板块将充分受益，从而推动国产替代进入加速期。 PMI位于扩张区间，制造业景气度有所改善，工业气体行业需求回暖中。根据国家统计局数据显示，2023年6月份，中国制造业采购经理指数（PMI）为49.0%，较5月增加0.2个百分点，位于扩张区间。国 内经济发展动能持续增强，相关政策强化显现，6月PMI回升，经济发展态势稳中有进，半导体行业继续呈去库特征，同时国产化替代需求凸显，Q3半导体景气有望逐渐震荡上行，拉动工业气体需求进一步回暖。 关注双碳环保产业安全系列投资机遇。供应链安全：电子特气国产替代迫切，保障半导体产业链安全。电子特气为晶圆制造中第二大耗材，占晶圆制造材料成本13%。我国电子特气国产化率仅15%。受下游 产业蓬勃发展和国家政策的双重驱动，我国特气企业正加快攻克瓶颈问题，打破国外厂商垄断。重点推荐：【华特气体】特气领军者，品类拓宽产能扩充驱动快速成长。【凯美特气】充盈特气品类&加速突破客户认证订单有望放量，巴陵9万Nm3稀有气体提取装置2023Q2投产实 现稀有气体原料自给。 最新研究：华特气体：特气领军者，品类拓宽产能扩充驱动快速成长。凯美特气：2022业绩增长19.25%，特气表现亮眼贡献核心增量。半导体治理深度5：半导体配套治理：刚需&高壁垒铸就价值，设备国产替代&耗材突破高端制程。安全系列研究1：被忽略的强逻辑：双碳环保显著的“安全价值”。凯美特气：获头部光刻机激光设备厂商认证，彰显综合实力电子特气驱动新一轮成长。 风险提示：下游需求不及预期，项目研发不及预期，市场价格波动风险 2023年07月31日 证券分析师袁理 执业证书：S0600511080001 021-60199782 yuanl@dwzq.com.cn 研究助理朱自尧 执业证书：S0600121080040 zhuzy@dwzq.com.cn 行业走势 环保沪深300 0% -2% -4% -6% -8% -10% -12% -14% -16% 2022/8/12022/11/302023/3/312023/7/30 相关研究 《生态环境部就《关于进一步 优化环境影响评价工作的通知》征求意见》 2023-07-26 《国家发改委等部门支持适宜地区环卫、园林等公共领域新增或更新车辆采购新能源汽车》 2023-07-25 1/19 东吴证券研究所 内容目录 1.工业气体价格复盘4 2.近期热点新闻4 2.1.工信部：加快关键芯片、高精度传感器等研发和推广应用4 2.2.发改委：在集成电路、人工智能等重点行业深度推进产教融合5 2.3.聚焦关键核心技术攻关，国家集成电路设计自动化技术创新中心揭牌5 2.4.荷兰宣布9月起扩大半导体设备出口限制5 3.制造业景气水平有所回升，半导体行业回升动能正在积蓄5 4.最新研究11 4.1.华特气体：特气领军者，品类拓展产能扩充驱动快速成长11 4.2.凯美特气：2022业绩增长19.25%，特气表现亮眼贡献核心增量11 4.3.半导体配套治理：刚需&高壁垒铸就价值，设备国产替代&耗材突破高端制程12 4.4.被忽略的强逻辑：双碳环保显著的“安全价值”13 4.5.凯美特气获头部光刻机激光设备厂商认证，彰显综合实力电子特气驱动新一轮成长15 4.6.九丰能源：LNG“海陆双气源”布局完善，制氢&加氢优势打开广东、川渝氢能市场16 4.7.氦气：气体黄金进口依赖97.5%，国产替代加速，碳中和约束供应资源端重估17 5.投资建议18 6.风险提示18 2/19 东吴证券研究所 图表目录 图1：氪、氖、氙气截至2023年6月价格走势（元/立方米）4 图2：40L瓶装高纯氦气截至2023年6月价格走势（元/瓶）4 图3：我国制造业采购经理指数（PMI）6 图4：2015-2020年全球晶圆产能转移情况7 图5：2022年全球分尺寸产能分布7 图6：2022年全球12英寸产能按地区分布前三位（万片/月）7 表1：2023年国内主要晶圆厂扩产情况8 表2：2023年大陆面板制造商TFT-LCD产能（百万平方米）9 表3：2023年国内主流面板厂扩产情况10 3/19 东吴证券研究所 1.工业气体价格复盘 市场需求整体大稳小动，上游气体供货相对平稳，各类气体价格呈窄幅下探态势。截至2023年6月30日，5N纯度氙气6月均价7.475万元/立方米，较5月均价下降29.24%；5N纯度氪气6月均价888.33元/立方米，较5月均价下降25.47%；5N纯度氖气6月均价378.33元/立方米，较5月均价下降21.94%；40L瓶装高纯氦气6月均价 1473.64元/瓶，较5月均价下降10.91%。 图1：氪、氖、氙气截至2023年6月价格走势（元/立方米）图2：40L瓶装高纯氦气截至2023年6月价格走势（元/瓶） 数据来源：卓创资讯，东吴证券研究所数据来源：卓创资讯，东吴证券研究所 2.近期热点新闻 2.1.工信部：加快关键芯片、高精度传感器等研发和推广应用 6月21日工业和信息化部副部长辛国斌在新闻发布会上表示，支持关键技术攻关。支持重点大企业牵头，大中小企业参与，开展跨行业跨领域协同创新。创新是第一生产力，要加快关键芯片、高精度传感器、操作系统等新技术新产品的研发和推广应用，进一步提升产业发展内生动力。进一步完善网联基础设施。加快C-V2X、路侧感知、边缘计算等基础设施建设，建立基于边缘云、区域云和中心云三级架构的云控基础平台，形成统一的接口、数据和通信标准，进一步提升网络感知、云端计算能力。 4/19 东吴证券研究所 2.2.发改委：在集成电路、人工智能等重点行业深度推进产教融合 6月13日，国家发改委等部门印发《职业教育产教融合赋能提升行动实施方案 (2023—2025年)》提到，到2025年，国家产教融合试点城市达到50个左右，试点城 市的突破和引领带动作用充分发挥，在全国建设培育1万家以上产教融合型企业。 《方案》明确，在重点行业深度推进产教融合。在新一代信息技术、集成电路、人工智能、工业互联网、储能、智能制造、生物医药、新材料等战略性新兴产业，以及养老、托育、家政等生活服务业等行业，深入推进产教融合，培养服务支撑产业重大需求的技能技术人才。 2.3.聚焦关键核心技术攻关，国家集成电路设计自动化技术创新中心揭牌 6月29日，国家集成电路设计自动化技术创新中心（下称“EDA国创中心”）正式揭牌。江苏省副省长胡广杰表示，EDA国创中心的揭牌运行，将有力支撑国内集成电路产业高质量发展。EDA国创中心要聚焦关键核心技术攻关，构建产学研生态体系，凝练重大科研任务，着力聚集研发人才；要着力突破下一代智能EDA技术等产业共性技术，实现部分领域、关键环节自主可控，着力提升产业链供应链韧性和安全水平；要提高先进工艺支撑能力，着力推动我国集成电路产业创新能力整体跃升。 2.4.荷兰宣布9月起扩大半导体设备出口限制 荷兰政府6月30日发布了将加强半导体制造设备的出口限制。将自9月起实施，出口之际需要获得政府批准的相关设备的对象将扩大。荷兰政府已对部分半导体设备实施了没有政府的许可证即不能出口的规定。虽然目前已限制最尖端半导体量产所需的“极紫外（EUV）”光刻设备的出口，但自9月起，“深紫外线(DUV)”光刻设备也将被列入限制对象。荷兰拥有世界第二大半导体制造设备厂商阿斯麦(ASML)。在这一形势下，国内企业不断加大自主创新力度的大方向和紧迫感也显得更加重要，将加倍努力开发自主技术。 3.制造业景气水平有所回升，半导体行业回升动能正在积蓄 PMI位于扩张区间，制造业景气度有所改善，工业气体行业需求回暖中。根据国家统计局数据显示，2023年6月份，中国制造业采购经理指数（PMI）为49.0%，较5月增加0.2个百分点，位于扩张区间。国内经济发展动能持续增强，相关政策强化显现，6月PMI回升，经济发展态势稳中有进，半导体行业继续呈去库特征，同时国产化替代需求凸显，Q3半导体景气有望逐渐震荡上行，拉动工业气体需求进一步回暖。 5/19 东吴证券研究所 图3：我国制造业采购经理指数（PMI） 数据来源：国家统计局，东吴证券研究所 利好事件持续落地晶圆厂逆周期扩产积极推进，2023年半导体行业国产化潮向好不变。近期国内政策端持续加码：1)工信部支持加快关键芯片、高精度传感器等研发和推广应用，强调创新是第一生产力，要加快关键芯片、高精度传感器、操作系统等新技术新产品的研发和推广应用，进一步提升产业发展内生动力。2)发改委在集成电路、人工智能等重点行业深度推进产教融合，在新一代信息技术、集成电路、人工智能、工业互联网、储能、智能制造、生物医药、新材料等战略性新兴产业，深入推进产教融合，培养服务支撑产业重大需求的技能技术人才。3）荷兰宣布9月起扩大半导体设备出口限制，一定程度上加快中资企业加大自研力度实现进口替代。此外，自美 国制裁以来，市场悲观情绪目前已经得到充分释放，叠加大陆部分头部晶圆厂逆周期扩产，2023年扩产有望超预期，受益于当前大背景，国产化率低的设备及材料板块将充分受益，从而推动国产替代进入加速期。 当前全球正在进行第三次半导体产业转移，这无疑是我国半导体产业发展的重要机遇。据SEMI预测，2020-2024年全球8寸晶圆总产能将增长18%，12寸晶圆总产能将增长48%。我国晶圆厂国产化水平急需提升，众多国内半导体企业纷纷布局晶圆厂扩产。半导体材料与晶圆厂具备伴生性，随着晶圆厂的加速扩建与产能的持续放量，本土材料厂商将直接受益于中国大陆晶圆制造产能扩张。 6/19 东吴证券研究所 图4：2015-2020年全球晶圆产能转移情况 数据来源：宏芯气体官网，东吴证券研究所 晶圆厂扩产明确，拉动上游电子特气需求不断增长。根据Omdia、《全球半导体晶圆制造业版图》数据披露，2022年全球4&5英寸、6英寸、8英寸、12英寸的晶圆月产 能分别为215/233/593/786万片(非等效)，以晶圆尺寸折算8英寸(暂不考虑工艺/良率)，2022年上述各类芯片分别占全球总产能的2%/5%/23%/70%。据JWInsights预计，2022年我国大陆共有23座12寸晶圆厂正在投入生产，总计月产能约为104.2万片，同时JWInsighsts