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半导体设备／零部件行业专题报告：半导体设备／零部件25年报及26Q1业绩复盘

电子设备 2026-05-17 西部证券严宏志19905053625

前道设备：2025年收入增长30.39%，2026Q1增速回落至23.12%但仍保持较高景气。利润端2025年增速放缓至10.57%，2026Q1弹性修复至42.49%。研发投入维持高位（2025年166.55亿元，同比增长32.52%），费用率下降对冲毛利率压力（2025年平均毛利率40.00%，较2024年回落）。存货和合同负债维持高位，反映备货需求强劲。经营现金流2025年显著改善，2026Q1受季节性及备货影响阶段性转负。
后道设备：2025年收入增长37.55%，2026Q1增速进一步提升至59.54%。利润端弹性显著强于收入端，2025年增长128.42%，2026Q1增长151.27%。毛利率整体维持在较高水平（2025年平均50.88%），费用率下降（2025年平均31.99%）。封测厂经营端持续修复，收入、毛利率和存货周转率同步改善。封测厂资本开支回升，2025年日月光控股等龙头企业资本开支显著提升。
零部件：2025年收入增长9.00%，2026Q1增速改善至26.71%。利润端仍处修复初期，2025年下降28.51%，2026Q1增长3.36%。毛利率有所回落（2025年平均33.16%），费用率整体稳定但研发投入持续加码（2025年13.02亿元，同比增长14.04%）。存货规模继续提升，经营现金流持续改善。
投资建议：全面看好半导体上游设备及零部件，建议关注北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海、华海清科、微导纳米、芯源微、精测电子、中科飞测、长川科技、华峰测控、精智达、金海通、联动科技、光力科技、耐科装备、富创精密、先锋精科、江丰电子、珂玛科技、埃科光电、恒运昌、正帆科技等。
风险提示：下游扩产进度和规模不及预期、行业竞争加剧、毛利率提升不及预期。