恒运昌:国内领先的等离子体射频电源公司
核心观点: 恒运昌历经三个发展阶段,成为国内领先的等离子体射频电源公司。公司自研产品主要为等离子体射频电源系统,已迭代三代产品系列,性能逐代提升,可支持7-14纳米先进制程,填补国内空白。公司拥有核心技术,产品获得国内半导体龙头设备商及头部晶圆厂客户的认可,是国内首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统(支持半导体先进制程)量产的国产厂商。
关键数据:
- 公司自研产品中等离子体射频电源系统收入快速增长,2022年、2023年、2024年和2025年1-6月分别为9,879.50万元、21,640.56万元、42,561.95万元及23,272.97万元。
- 公司自研产品占主营业务收入比例逐年提升,2022年、2023年、2024年和2025年1-6月分别为66.02%、73.51%、84.34%及84.81%。
- 2024年全球等离子体射频电源系统市场规模达53.4亿美元,过去五年复合增速达8.5%。
- 2024年,中国大陆等离子体射频电源系统市场规模达120.4亿元,过去五年复合增速达9.9%。
- 2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。
- 2024年全球半导体设备市场规模达1,171亿美元,2012至2024年间增长了802亿美元,年复合增长率达到10.10%。
研究结论: 等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统,国产替代和晶圆厂扩产带来持续成长。恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关,打破了美系两大巨头MKS和AE在国内的垄断格局,市场地位领先。公司募资重点投入半导体射频电源系统产业化、半导体与真空装备核心零部件智能化及研发与前沿技术创新,未来有望进一步扩大市场份额,提升公司整体运营效率,促进公司业绩增长。