薄膜设备顺利放量，高研发加速平台化布局

公司2025年第三季度实现营业总收入31亿元，同比增加51%，环比增加11%；归母净利润5亿元，同比增加28%，环比增加29%；扣非净利3亿元，同比增加5%，环比增加45%。

核心观点与关键数据

1. 刻蚀业务基本盘稳固，薄膜设备迎来爆发增长：刻蚀设备前三季度收入约61亿元，同比增长38%；薄膜设备收入约4亿元，同比激增超1300%。硅和锗硅外延EPI设备已开始量产验证，半导体设备布局持续完善。
2. 研发加码驱动创新提速，平台化战略加速落地：前三季度研发支出约25亿元，同比增长63%，占营收比例31%。新设备开发周期缩短至2年以内，公司在研项目涵盖6类设备、超20款新品，加速向平台型设备公司迈进。

投资建议与风险提示

• 预计2025-2027年归母净利润分别为24.76、34.09、42.90亿元，EPS分别为3.95、5.44、6.85元，对应PE分别为66x、48x、38x，维持“买入”评级。
• 风险提示包括研发进度不及预期、产业竞争加剧、贸易摩擦加剧。

分析师信息

• 执业证书号：S0010524020002，邮箱：limeixian@hazq.com。
• 陈耀波（华安证券电子行业首席分析师），李美贤（华安证券电子及通信行业研究员）。