半导体薄膜沉积设备加速放量，平台化布局打开成长空间

这份研报主要分析了微导纳米的业务结构转型，从光伏设备主导转向半导体设备驱动。公司以ALD技术为核心，并向CVD等薄膜沉积技术延伸，2025年半导体设备收入达8.81亿元，同比增长169.12%，收入占比升至33.50%。报告还探讨了公司如何从单一设备向多工艺、多产品平台升级，以及半导体业务成为公司中长期增长中枢的潜力。

半导体薄膜沉积设备行业正迎来快速发展，国内晶圆厂扩产、先进制程材料层数增加及设备国产化推进是主要驱动力。随着ALD、CVD等技术的成熟和应用，设备需求持续增长。微导纳米等国内厂商正逐步从单品突破向平台化扩张，未来有望在逻辑、存储及先进封装等领域获得更多商业订单，推动行业国产化进程。

研报重点分析了微导纳米的业务结构转型，特别是半导体设备业务的增长情况。公司已完成ALD设备的产业化验证，并逐步向多工艺、多产品平台升级。报告还关注了公司在新品验证、客户订单获取以及产能扩张方面的进展，指出其有望复制国内刻蚀、薄膜沉积设备厂商的成长路径。

当前半导体薄膜沉积设备市场仍处于高增长通道，但微导纳米2025年营收和净利润略有下降，主要受光伏设备收入下滑影响。公司半导体设备业务处于放量初期，毛利率较低，但经营现金流已由负转正。2026年一季度研发投入增长显著，显示公司仍处于高投入、扩产能和导入新品阶段，未来盈利弹性主要取决于半导体收入规模扩大、产品成熟度提升及毛利率修复。

研报提示的主要风险包括下游客户推进不及预期和下游扩产不及预期。由于半导体设备行业受市场需求和客户投资计划影响较大，若下游客户采购计划调整或扩产进度放缓，可能对公司业务增长造成不利影响。此外，市场竞争加剧也可能对公司的市场份额和盈利能力带来挑战。