2025年报&2026一季报点评：营收持续增长，先进制程量检测设备验证进展顺利

核心观点与关键数据

2025年年报及2026年一季报显示，公司营收持续增长，归母净利润扭亏为盈。主要受益于营收规模增长及研发投入占比下降提升盈利水平。检测设备营收13.64亿元，同比+38.52%；量测设备营收6.23亿元，同比+72.71%；软件营收0.13亿元。2026Q1单季营收3.96亿元，同比+34.63%，但归母净利润为-0.68亿元，同比亏损幅度扩大。

盈利能力分析

2025年毛利率为49.93%，同比+1.03pct，销售净利率为2.86%，同比+3.69pct。期间费用率为50.55%，同比-4.95pct。研发投入达6.56亿元，同比+31.95%，但占营业收入比例下降。2026Q1单季毛利率47.77%，同比-10.31pct，环比+0.73pct；销售净利率-17.16%，同比-12.07pct，环比-25.77pct。

财务状况

合同负债为8.81亿元，同比+55.8%，主要因订单规模增长。存货为30.02亿元，同比+11.2%。2026Q1经营活动净现金流为-0.2亿元，同比环比均收窄。

产品线与研发进展

1. 无图形晶圆检测设备：量产型号覆盖1Xnm及以上工艺节点。
2. 图形缺陷检测设备：广泛应用于逻辑、存储、先进封装领域，3DAOI设备通过国内头部客户验证。
3. 三维形貌量测设备：支持2Xnm及以上制程，通过多家国内头部客户验证。
4. 薄膜膜厚量测设备：金属薄膜膜厚量测设备订单稳步增长，新一代设备通过多家客户验证。
5. 套刻精度量测设备：90nm及以上工艺节点设备已批量销售，2Xnm设备通过头部客户验证。
6. 明场/暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备：暗场设备已通过多家客户产线验证并批量销售。
7. 关键尺寸量测设备：2Xnm产品研发进展顺利，完成客户端验证。
8. 良率管理、缺陷分类、光刻套刻分析系统：已陆续交付客户。

研究结论与投资评级

上调公司2026/2027年归母净利润至3.7/6.9亿元，预计2028年归母净利润10.4亿元。当前市值对应2026-2028年动态PE分别为178/96/63X，维持“增持”评级。

风险提示

晶圆厂资本开支不及预期，设备研发验证进度不及预期。