2024年公司实现营收13.80亿元，同比+54.9%，其中检测设备营收9.85亿元（占比71.3%），量测设备营收3.61亿元（占比26.1%），其他服务营收0.35亿元（占比2.5%）；归母净利润为-0.12亿元，扣非净利润为-1.24亿元，同比由盈转亏，主要系研发投入及股份激励计划。Q4单季营收5.68亿元（同比+87.4%，环比+62.9%），归母净利润0.40亿元（同比-34.1%），扣非净利润0.01亿元（同比-90.0%），Q4业绩环比持续修复。
2024年公司毛利率为48.90%（同比-3.7pct），销售净利率为-0.83%（同比-16.6pct），期间费用率为55.50%（同比+9.5pct），其中研发费用率36.07%（同比+10.5pct），研发投入达4.98亿元（同比+118.2%）。Q4单季毛利率50.62%（环比+1.0pct），销售净利率7.11%（环比+2.5pct），净利率同比下滑主要系研发投入维持高位，Q4研发费用达1.63亿元（同比+94.6%）。
截止2024Q4末，公司存货17.47亿元（同比+57.1%），合同负债6.29亿元（同比+42.9%），表明订单规模持续增长，在手订单充足。Q4经营活动净现金流为-1.15亿元，负现金流同环比扩大主要系购买商品、接受劳务支付的现金大幅增长。
平台化布局产品线持续丰富，更先进制程研发验证进展顺利：
1）无图形晶圆检测设备：量产型号覆盖2Xnm及以上工艺节点，1Xnm设备通过头部客户验证，累计交付超300台，覆盖超100余家客户；
2）图形缺陷检测设备：广泛应用于逻辑、存储、先进封装等领域，3D AOI设备通过头部客户验证，2Xnm明/暗场设备研发进展顺利，累计交付超300台，覆盖50余家客户；
3）三维形貌量测设备：支持2Xnm及以上制程，累计交付200台，应用在HBM等领域的设备通过头部客户验证，订单稳步增长；
4）薄膜膜厚量测设备：覆盖国内主要客户，金属薄膜膜厚量测设备为新增长点，订单量持续增长，市占率提升；
5）套刻精度量测设备：90nm及以上设备批量销售，2Xnm设备通过头部客户验证，获得国内领先客户订单；
6）明/暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列开始头部客户验证；
7）关键尺寸量测设备：2Xnm产品研发进展顺利，已完成客户端验证；
8）良率管理、缺陷分类、光刻套刻分析系统陆续交付客户。
盈利预测与投资评级：下调2025-2026年归母净利润至2.17/3.64亿元，预计2027年5.12亿元，当前市值对应动态PE分别为123/73/52倍，维持“增持”评级。
风险提示：晶圆厂资本开支不及预期，设备研发验证进度不及预期。
