中微公司2026年一季报显示,公司刻蚀&薄膜设备持续放量,营收延续快速增长。2026Q1公司实现营收29.15亿元,同比+34.13%;归母净利润9.30亿元,同比+197.20%。刻蚀设备仍是主要收入构成,高端产品新增付运量显著提升;薄膜设备收入快速放量,成为业绩增长新引擎。期间费用率受益规模效应,净利率/扣非净利率分别同比+17.32/+2.66pct。公司刻蚀&薄膜设备等新品持续推进,平台化成长逻辑不断兑现。预计2026-2028年营收分别为159.14、211.50、273.08亿元,同比增长28.5%、32.9%、29.1%;归母净利润分别为29.42、43.77、56.83亿元,同比增长39.3%、48.7%、29.8%。维持“增持”评级,目标价未披露。风险提示包括新品产业化进度不及预期、行业竞争格局恶化、收购杭州众硅后业务整合不及预期等。