2025年三季报点评刻蚀+薄膜持续放量，Q3收入业绩均创历年同期新高

中微公司2025年三季报显示，公司业绩持续高增长，刻蚀和薄膜设备业务表现亮眼。2025年前三季度，公司实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40%，其中刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%；LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比大幅增长约1332.69%。Q3单季度实现营收31.02亿元，归母净利润5.05亿元，均为历年同期新高。

公司刻蚀设备延续放量趋势，薄膜设备高速上量，带动整体营收保持高增长。业绩提升主要得益于新产品持续放量与规模效应释放，盈利能力稳步修复。当前高研发投入仍阶段性压制利润，但随着后续新品持续放量，有望进一步增强公司盈利弹性。

公司在先进逻辑与存储器件关键刻蚀领域实现显著突破，产品矩阵持续完善，助力加强前道核心设备领域覆盖率。刻蚀设备方面，CCP系列中60比1超高深宽比介质刻蚀设备已成为国内标配，下一代90比1产品即将进入市场；ICP系列适用于下一代逻辑与存储客户的设备及化学气相刻蚀设备开发进展顺利。薄膜设备方面，面向先进逻辑与存储制造的多款LPCVD、ALD产品已顺利进入市场，性能对标国际先进水平。外延设备方面，硅与锗硅EPI设备已在客户端完成量产验证，公司在化合物半导体外延设备领域持续拓展。

高研发投入支撑技术加速迭代，技术优势与国产替代逻辑共振强化。2025年前三季度研发投入25.23亿元，同比增长63.44%，研发支出占收入比达31.29%。当前在研项目涵盖六大类设备、二十余款新品，研发周期缩短至2年甚至更短。未来，随着AI、先进逻辑与3D存储持续扩产，公司有望在高端刻蚀、薄膜与外延等核心环节进一步提升市占率。

投资建议方面，考虑到下游扩产叠加替代加速，公司作为国内半导体设备重要厂商有望显著受益。但考虑新产品爬坡及持续高研发投入预计阶段性压制盈利表现，华创证券将公司2025-2027年归母净利润预测由22.11/30.57/40.31亿元下调至19.41/29.23/39.58亿元。给予公司2026年15倍PS，对应目标价为373.3元，维持“强推”评级。

风险提示包括国际贸易形势变化、下游扩产不及预期、新品拓展不及预期、上游零部件供应短缺、行业竞争加剧。