2025年业绩快报点评：刻蚀业务稳健增长、薄膜业务加速放量

核心观点与关键数据

中微公司2025年业绩快报符合预期，实现营业收入约123.85亿元（同比+36.62%），归母净利润约21.11亿元（同比+30.69%）。研发投入约37.44亿元（同比+52.65%），研发费用率30.23%。

刻蚀设备业务

• 刻蚀设备主业维持稳健增长，2025年实现销售98.32亿元（同比+35.12%），收入占比约79.39%。
• 行业需求侧：多重图案化与3D存储结构升级提升设备强度，逻辑制程由7nm向5nm及以下演进，3DNAND层数增加，带动单晶圆工艺步数及设备SAM提升至约1.7–2.0倍。
• 公司技术优势：在先进逻辑关键刻蚀及存储超高深宽比刻蚀环节实现稳定量产，CCP覆盖高深宽比需求；ICP及化学气相刻蚀设备具备单原子级加工精度与重复性。
• 市场覆盖：截至2025年底，反应台累计装机超7,800台，覆盖170余条芯片及LED产线。

薄膜业务

• 增速显著快于整体，2025年LPCVD及ALD设备实现销售5.06亿元（同比+224.23%），收入占比提升至4.09%。
• 产品矩阵延伸至多领域：
  • 先进存储与逻辑器件：覆盖多款LPCVD、ALD设备，近两年新开发十余种薄膜设备并部分实现量产出货，LPCVD累计出货超300个反应台。
  • 外延：硅及SiGeEPI设备进入量产验证，减压EPI向先进制程延伸。
  • 化合物半导体及显示：保持GaN基MOCVD设备领先地位，布局SiC、GaN功率器件及Micro-LED方向，部分新品进入验证阶段，SiC外延及红黄光LED设备已付运客户端验证。

投资建议

• 调整2025年归母净利润为21.11亿元（前值为21.81亿元）。
• 先进逻辑制程推进与高层数3DNAND演进推动单线设备投入强度与可服务市场扩张，有望提升中期业绩增长上限。
• 公司在刻蚀和薄膜两条核心工艺主线上已切入关键制程并形成批量应用基础，受益路径清晰，具备较强稀缺性与成长弹性。
• 预计2025–2027年归母净利润分别为21.11/31.58/42.78亿元，同比增长30.7%/49.6%/35.4%，对应PE分别为103.5x/69.2x/51.1x。
• 维持"买入"评级。

风险提示

• 先进制程及存储扩产节奏不及预期。
• 下游晶圆厂资本开支波动。
• 新产品验证及放量进度低于预期。
• 核心零部件及供应链稳定性风险。