半导体设备行业：进口替代逻辑强化，招标启动前仍是配置期

证券研究报告行业研究2东昊证券 SOOCHOWSECURITIES 半导体设备行业： 进口替代逻辑强化，招标启动前仍是配置期 证券分析师：周尔双 热业证书编号：S0600515110002 zhouersh@dwzq.com.cn 证券分析师：黄瑞连 执业证书编号：S0600520080001 huangrl@dwzq.com.cn 2023年3月 1.1.2023年以来，半导体设备公司涨幅明显 东吴证券 SOOCHOWSECURITIES 2023年以来半导体设备板块表现相对强势，芯源微、拓荆科技、精测电子等公司涨幅超过30%，近 一个月涨幅近20%，超额收益明显。 图：2023年以来半导体设备涨幅明显 黑2023年以来添幅近一个月涨临（2.11以来） 60% 50% 52.27% 40% 40.14% 31.81% 30.14% 30%26.01% 20%15.92% 12.92%12.54% 10.15% 10%7.45% 0% -10% 资料来源：wind，东吴证券研究所 1.77% 1.1.利好催化+估值底部+订单超预期支撑了这波行情2. 东吴证券 SOOCHOWSECURITIES 近期利好事件持续落地：长江存储注册资本金由562.7亿余元，大幅增加至1052.7亿余元。其中， 大基金二期认缴出资近128.87亿元，出资方式为货币和股权，这代表了国家对半导体芯片行业的决 心。 ②3月2日国务院副总理刘鹤在北京调研集成电路企业发展并主持召开座谈会，指出发展集成电路产业必须发挥新型举国体制优势，用好政府和市场两方面力量，凸显出国家发展半导体行业的决心 图：长江存储注册资本金由562.7亿余元，大幅增加至1052.7亿余元 序号变更事项变更前内容变更后内容变更日期半导体集成电路科技领域内的技术开发：集成一船项目：集成电路花片及产品制造集成电路 电路及相关产品的设计、研发、测试、封装、设计，集成电路芯片及产品销售，技术服务、技术 制造与销售：货物进出口、技术进出口、代理开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术 经营范围变更（含业务范围变更） 进出口（不含国家禁止或限制进出口的贷物或推广货物进出口，技术进出口企业管理。（除2023年2月27日 技术）《依法须经审批的项目，经相关部门许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止审批后方可开展经营活动）收起或限制的项自）收起 投资人变更（包括出资额、出资方式股东名称：国家集成电路产业投资基金股份有股东名称：国家集成电路产业投资基金股份有 2限公司，认撤出资额：1355842.11万，币种.限公司，认缴出资额1355842.11万，币种2023年2月27日 出资日期、投资人名称等）更多更多 注册资本变更（注册资金、资金数额 等变更) 5627473.69万元（币种：人民币）10527040.5835万元（币种：人民币）2023年2月27日 章程备案章程备案2023年2月27日 姓名：韦俊，职务：董事：姓名：防南翔，职务：姓名：韦俊，职务：董事：姓名：陈南翔，职务： 董事长；姓名：朱晓寒，职务：董事：姓名：杨鲁董事长：姓名：杨鲁闽，职务：董事：姓名：刘修 高级管理人员备案（董事、监事、经 闽，职务：董事；姓名：刘修昆，职务：董事；姓名昆，职务：董事：姓名：泰军，职务：董事；姓名 ：杨道虹职务：董事；姓名：SIMONSHI-NING杨道虹职务：董事；姓名：YANGSIMONSHI-YANG,职务：董事；姓名：彭红兵，职务：董事NING，职务：董事：姓名：彭红兵，职务：董事收 2023年1月19日 资料来源：wind，东吴证券研究所 1.1.利好催化+估值底部+订单超预期支撑了这波行情 2东吴证 SOOCHOWSECURITIES 2022年10.7美国制裁新规以来，半导体设备板块前期股价得到充分回调，市场悲观情绪得到了有效 释放。 市场担心的利空因素持续落地，目前对市场利空情绪已经消化差不多，最直观的体现日本/荷兰制裁 、存储砍单传闻等事件并没有引发设备板块出现下跌。 图：10.7美国制裁新规半导体设备公司最大跌幅图：利空事件落地并未引发半导体设备板块下跌 %0 -5% 10.7关图制载新规取来最大跌性 时间 利空事件北方华创后三个交易日泰现 日本和荷兰已经与美国达成协 汉，将开培限制向中国出口先 10%15% 8.77% -14.68% -4.52% 4.04% 2023年1月底 理制程芯片制造设备，与拜登 (oeBiden)致府一道采取搭上涨1.65%、上涨7.32%、下联1.09% 施，试图切断中国获得先进技 -20%-25%-30% -22.56%22.16% 26.32% 术的途径。据《南华早报》报道，中国大 陆NANDHash大厂长江存储 40% 35.22% -39.79% -32.72% 2023年2月12 近几个月大幅削减半导体生产 上涨1.53%，下跌1.60%，上涨3.09% 设备订单，其中，对于国产半 -45% 导体设备大厂北方华创的采购 50%47.12% 订单就遗基砍了70% 资料来源：wind，东吴证券研究所资料来源：wind，东吴证券研究所 1.1.利好催化+估值底部+订单超预期支撑了这波行情 2东吴证券 SOOCHOWSECURITIES 半导体设备公司业绩表现出色，2022年各细分环节龙头公司营收增速超过50%，利润端弹性更为出 色。 此外，2023年以来国内前道设备公司新接订单同比持续增长，超市场先前预期。 图：2022年半导体设备公司业绩表现出色，实现高速增长 2022营收同比增长2022归母净利润同比增长 （亿元）（亿元） 135-156亿元 39.41%-61.10% 21-26亿元 94.91%-141.32% 47.40亿元 52.50% 11.70亿元 15.66% 28.73亿元 77.25% 6.68亿元 151.08% 16.82亿元 109.03% 5.15亿元 159.97% 17.06亿元 125.02% 3.69亿元 438.09% 13.85亿元 67.12% 1.97亿元 155.31% 4.5-5.2亿元 106.20%-138.27% 北方华创中微公司盛美上海华海清科拓荆科技 芯源微 长川科技 资料来源：Wind，东吴证券研究所 1.2.大基金减持利空落地， 回调机会建议布局 2东吴证券 SOOCHOWSECURITIES ①3月15日，万业企业公告公司第三大股东大基金拟减持其所持有的股份不超过公司总股本的1%； ②3月16日，长川科技公告大基金拟减持其所持有的股份不超过公司总股本的2%。 国家集成电路大基金成立于2014年，由工信部、财政部牵头发起，财政部与其他投资主体共同出资组建，采用市场化运作、专业化管理的模式，主要投资于芯片制造等重点产业。大基金投资期是2014-2019年、回收期是2019-2024年，我们推测大基金减出的钱后续依然会投向半导体（一二级） 行业，大基金减持短期情绪冲击有望快速释放，基于对招标订单等基本面以及政策等判断，我们对整个板块依然偏多，尤其前期未上车领导，回调建议重点关注。 图：半导体设备企业大基金持股概况 序号公司名称 大基金持股 20182019202020212022Q3末 8.42%（期7.48%8.37%（期7.44% 1北方华创7.50% 10.03% 7.92% 、三期0.94%）、二期0.93%） 2中微公司3.97%（二期）3.97%（二期） 4拓荆科技 19.86% 5万业企业 7.00% 7.00% 7.07% 6.07% 5.07% 6长川科技 7.28% 9.85% 9.87% 6.76% 6.76% 7 精洲电子 2020年底大基金一期持股上海精测（控股子公司）7.30% 8 至纯科技 2021年底大基金二期新增持股至纯半导体（控股子公司）3.42% 9 芯源微 10 华海清科 11 华峰测控 盛美上海1.06%1.06% 1.3.大陆晶圆厂逆周期扩产，2023年扩产有望超预期东吴证券 SOOCHOWSECURITIES TOP晶圆厂未来合计扩产产能将过100万片/月，2023年中芯国际资本开支不变，合肥长鑫预计扩产 影响可控，长江存储存在不确定。H预计有一定量扩产。 →二三线晶圆厂粤芯、晋华、燕东等预计扩产量仍有一定增长 厂商工厂代码 实魂主体工艺尺寸类型项目地点2021年成产北 （万片/月） 规划产能状态 （万片／月） 华虹半导体Fab1-3功车器件1um-90mm上海17.818建成 上海华力F5功率器件50-40-28nm12寸上海3.53.5建点 华虹半导体建成 华虹集团上海华力F6功丰器件28-14nm12寸上海建成 Fab7功率器件90-65/55nm12寸无锡6 上海华力Fabs12寸上海04 华虹半导体Fab912寸无锈08 中芯上海 过样代工0.35um~0.15μm制程，主 S1(Fab123) 要0.11/0.13um 8寸上海 11.5 13.5建成 中芯南方SN1E祥代工FinFET14-7nm12寸上海1.53.5建成 中芯南方SN2通料术工FinFET14-7nm12寸上海3.5在建 中芯北京B1(Fab4.6)送样代工0.18m~55nm12寸北京 5.2 6建成 中总北方 B2返样代工65-24nm12寸北京6.210建点 中莎京城B3P1遵样代工45/40.32/38mm121北京05在建中芯京城B3P2返样代工45/40-32/38mm12寸北京5计列中芯京城B3P312寸北京0计列 中芯国际中芯京城B3P412寸北京05计划 深圳 中芯深划Fab15现样代工0.35gm~0.15μm，主要8寸 0.25um/0.35um 4.4建成 中芯深圳Fab16A/B返料代工28nm12寸深圳04建点 返样代工a.35μm~90mm，主委 中芯天津FabB7P2 0.15/0.18um 8寸天津9.518建点 合肥长鑫 中芯天津28~180nm逆样12寸天津010 中芯培兴MEMS、功率器件84绍兴4.2510建点 中艺宁政N10.18um射频及高压模报器件8寸中波1.51.5建成中芯宁波N2特种工艺模拟芯片8寸宁液02.75建成合肥长鑫FabiDRAM12寸合肥612.5建点合肥长鑫Fab2DRAM12寸合肥012.5 合肥长器Fab3DRAM12寸合肥012.5计刻 长江存绪Fabi3DNANDFLASH12寸武汉810建点 长江存站Fab23DNANDFLASH12寸武汉10在建 长江存储长江存储Fab33DNANDFLASH12寸武汉0计刻武汉新芯Fab1NorFLASH12寸武汉252.5建成武汉新芯Fab2NorFLASH12寸武汉2.511.5建点 合计 数据卖源： 93.35 236.757 1.3.大陆晶圆厂逆周期扩产，2023年扩产有望超预期 2东吴证券 SOOCHOWSECURITIES 3月8日，荷兰政府以“国家安全”为由，宣布将对包括“最先进的”深紫外光刻机（DUV）在内的 特定半导体制造设备实施新的出口管制，并加入美国对华芯片出口管制的阵营，ASMIL官网发布公 告对荷兰政府设备出口限制进行解读，ASMIL认为仅NXT：2000i以上高端机型将需要申请出口许可，成熟制程客户仍将可以使用1980及以下型号浸没式光刻机，我们认为DUV出口限制对当前国内成熟晶圆厂扩产影响不大，或将加速设备进口替代进程。 TWINSCANNXT:2000i专为与EUV混合使用而设计，可为高级逻辑和DRAM节点的大批量制造提 供出色的鑫盖、聚焦控制和交又匹配，比这款光刻机更先进的型号是TWINSCANNXT:2050i，该系 统满足多种图案化要求，为在高级逻辑和DRAM节点制造300毫米晶圆提供经济高效的解决方案。 图：DUV1980主要用于成熟制程，多重曝光可以实现14-10mm制程 光源 型号 效率 可实现制程 ArFimmersi