半导体设备行业点评：行业持续景气、国产替代加速，持续看好半导体设备板块

半导体设备龙头经营数据超预期，半导体设备维持高景气。北方华创发布1-2月经营数据，实现营收近14亿元，同比增长约135%；新增订单超过30亿元，同比增长超60%，业绩增速超市场预期以及在手订单充足。此外，芯源微此前发布21年报，全年营收大幅增长152%，半导体设备行业高景气度持续验证。根据IC Insights最新数据，2022年全球半导体资本支出将增长23.7%，较去年中预测增速大幅上调19.2pct，全球半导体设备行业维持高景气。考虑到设备板块行业高景气维持、国产替代加速、板块估值出现明显回落，我们认为，国内半导体设备具有极好的投资价值。 国产半导体设备渗透率极低，国产替代空间巨大。利用最新国内主要上市半导体设备企业营收及预测估算，2021年国产半导体厂商预计营收约41亿美元，2021年我国半导体设备渗透率仅为13.9%，我国半导体设备国产替代空间依然巨大。分设备类别来看，干法去胶、涂胶显影、热处理、刻蚀、清洗、CMP、PVD等领域国产化率可达20%，而离子注入、ALD、CVD、光刻、膜厚及CD量测、缺陷检测等国产化率较低。 国产替代不断向中高端领域加速，坚定看好半导体设备板块。国内以北方华创、中微公司、芯源微、长川科技等为代表的半导体设备企业，持续加大研发投入，快速推进产品性能升级与下游客户导入验证，国产替代不断打破国外厂商垄断，向中高端领域加速。中信半导体设备指数较去年7月高点已回落近34%，叠加半导体设备行业景气度持续、国产替代加速，我们持续看好半导体设备板块后续行情。 建议关注：【北方华创】国内半导体设备龙头，多业务布局，ICP刻蚀、PVD、热处理、清洗设备；【中微公司】国产刻蚀设备龙头，CCP刻蚀、CVD、量测设备； 【至纯科技】清洗设备龙头，清洗机、高纯工艺系统；【盛美上海】国内清洗设备龙头，清洗机、电镀/湿法封装设备、炉管设备；【长川科技】测试设备平台布局，数字测试机有望带来新一轮高增长，分选机、AOI、模拟测试机、数字测试机；【华峰测控】模拟测试机龙头，模拟测试机、数字测试机；【芯源微】国内涂胶显影设备龙头，涂胶/显影机、去胶机、清洗机；【万业企业】国内离子注入龙头，离子注入机。 风险提示：半导体下游景气度不及预期；国内晶圆厂及封测厂受政策影响发展不及预期；中美贸易摩擦影响部分核心零部件进口；国内设备厂商研发进展不及预期。