半导体设备行业点评报告：中芯国际上调2022年资本开支，看好制裁升级下设备国产替代加速

事件：中芯国际发布2022年三季报，2022年全年资本支出计划从人民币320.5亿元上调为人民币456.0亿元。 中芯国际大幅上调2022年资本支出，逆周期扩产得到进一步体现 消费电子需求疲软背景下，全球半导体行业仍处在下行周期。然而，中芯国际拟将2022年资本开支计划从320.5亿元上调到456.0亿元，进一步加大逆周期投资力度。我们认为核心原因体现在：1）本土晶圆产能供需缺口依旧较大，2021年底中国大陆晶圆全球产能占比仅为16%（包含台积电、海力士等外资产能），远低于半导体销售额全球占比（35%），自主可控为逆周期扩产核心驱动力。我们统计发现，仅华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫四家晶圆厂未来合计扩产产能将过100万片/月。2022年8月26日，中芯国际拟在天津投资75亿美元建设12英寸产线，规划产能10万片/月，进一步验证逆周期扩产需求。2）随着美国对中国大陆半导体制裁持续升级，本土晶圆厂持续加大对核心设备采购力度。 Q3业绩兑现延续高速增长，自主可控链条业绩最确定板块 1）2022Q1-Q3十一家半导体设备企业合计实现营业收入246亿元，同比+52%；其中2022Q3合计营收102亿元，同比+69%，收入端增长提速。2）2022Q1-Q3十一家半导体设备企业归母净利润和扣非归母净利润分别达到47和40亿元，同比+73%和+129%，明显高于收入端增速。3）截至2022Q3末，十一家半导体设备企业存货和合同负债分别达到133和284亿元，分别同比+69%和+76%，达到历史最高点，验证在手订单饱满。考虑到已有订单取消概率不大，随着相关订单陆续交付，2022Q4和2023年行业业绩高增长有较强确定性。由此可见，无论是当前业绩还是未来业绩，半导体设备都是自主可控链条里面业绩确定性最强的细分板块之一。 制裁恐慌情绪逐步消除，看好半导体设备国产替代加速 随着美国对128层及以上NAND芯片、 18nm 及以下DRAM相关设备进一步管控，引发市场对于长江存储和合肥长鑫后续扩产的担忧。短期来看，我们认为2022-2023年扩产影响不大，对相关设备公司业绩影响较小。2024年后虽有一定不确定性，但我们认为随着美国对中国半导体产业持续打压，会加速半导体产业国产替代。参考2018年以来中国半导体设备的长足进步：1）在业务规模方面，本土半导体设备企业实现快速突破，最直观体现收入规模实现了数倍增长，我们预计2022年华海清科、长川科技、盛美上海、拓荆科技营业收入分别较2017年增长87、15、10、8倍。 2）在技术层面，拓荆科技、中微公司等企业在 14nm 及以下逻辑、128L 3D NAND、19/17 nm DRAM等先进制程领域已有技术储备。展望未来，在已经实现0-1突破的基础上，2024年之后本土半导体设备企业在 14nm 及以下逻辑、128L3D NAND、DRAM领域是否可以实现大规模突破，我们应该持有更加乐观的态度，看好制裁升级背景下设备国产替代进程加速。 盈利预测与投资评级：短期来看，本土半导体设备企业在手订单充足，2022-2023年业绩延续高速增长。中长期来看，看好制裁升级下国产替代进程加速，2024-2025年需求不必过分悲观。优先考虑存储收入占比较低及超跌品种，重点推荐【长川科技】、【至纯科技】、【拓荆科技-U】、【芯源微】、【华海清科】、【北方华创】、【中微公司】、【盛美上海】、【华峰测控】。建议关注【万业企业】、【精测电子】、【赛腾股份】。 风险提示：半导体行业投资不及预期、设备国产化进程不及预期。 1.逆周期扩产支撑设备需求，Q3板块业绩延续高速增长 1.1.全球半导体产业仍在下行周期，逆周期扩产支持设备需求 受消费电子市场需求持续疲软影响，全球半导体行业表现低迷。1）全球：2022年1-9月半导体销售额累计为4475亿美元，同比+14%；其中1-9月分别同比+27%、+26%、+23%、+21%、+18%、+12%、+7%、0%和-3%。2）中国大陆：2022年1-9月半导体销售额累计为1453亿美元，同比+6%，其中1-9月分别同比+24%、+22%、+17%、+13%、+8%、+3%、-2%、-10%和-14%，增速逐月下滑，验证半导体行业仍处于下行周期。 图1：2022年9月全球半导体销售额同比-3% 图2：2022年9月我国智能手机产量同比-2% 图3：2022年9月我国笔记本电脑销售量同比-17% 中国大陆晶圆产能缺口较大，自主可控驱动本土晶圆厂逆周期大规模扩产。据SEMI数据，2021-2022年全球新增晶圆厂29座中，中国大陆新增8座，占比达到27.59%。 然而，中国大陆市场晶圆产能缺口依旧较大，2021年底晶圆全球产能占比仅为16%（包含台积电、海力士、三星等外资企业在本土的晶圆产能），远低于半导体销售额全球占比（2021年约35%）。在自主可控驱动下，本土晶圆厂具备较强逆周期扩产诉求。 图4：2021年底中国大陆晶圆产能全球占比仅16% 图5：2021年中国大陆半导体销售额全球占比为35% 就具体晶圆厂而言，我们统计发现，仅华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫四家晶圆厂未来合计扩产产能将过100万片/月。在半导体行业下行周期中，2022年8月26日，中芯国际拟在天津投资75亿美元建设12英寸晶圆代工生产线项目，工艺节点为28- 180nm ，规划产能为10万片/月。此外，中芯国际拟将2022年资本开支计划从320.5亿元上调到456.0亿元，均进一步验证逆周期扩产需求。 图6：华虹集团、中芯国际、长江存储、合肥长鑫合计扩产空间超过100万片/月 1.2.2022Q3板块业绩表现出色，订单充足支撑2023年业绩高增 我们选取11家半导体设备标的【拓荆科技-U】【长川科技】【芯源微】【华海清科】【至纯科技】【北方华创】【中微公司】【华峰测控】【盛美上海】【万业企业】【精测电子】。 1）收入端：2022Q3半导体设备行业订单交付加速，收入端增长提速。2022Q1-Q3十一家半导体设备企业合计实现营收246亿元，同比+52%；其中2022Q3合计营收102亿元，同比+69%。若剔除精测电子和万业企业，2022Q1-Q3九家半导体设备企业合计实现营收225亿元，同比+63%；2022Q3合计实现营收94亿元，同比+70%。2022Q3半导体设备行业增长提速，我们判断主要系2021年新签订单较多，在2022Q2上海疫情影响下，部分半导体设备企业订单在2022Q3加速交付。 图7：2022Q1-Q3半导体设备行业营收同比+52% 图8：2022Q3万业企业、至纯科技营收同比增速居前 2）利润端：（1）2022Q1-Q3十一家半导体设备企业归母净利润合计47亿元，同比+73%；其中2022Q3为22亿元，同比+117%。若剔除万业企业和精测电子，2022Q1-Q3九家半导体设备企业归母净利润合计45亿元，同比+102%；其中2022Q3为21亿元，同比+117%，明显高于收入端增速。（2）2022Q1-Q3十一家半导体设备企业扣非归母净利润为40亿元，同比+129%；其中2022Q3为18亿元，同比+117%。若剔除万业企业和精测电子，2022Q1-Q3九家半导体设备企业扣非归母净利润合计39亿元，同比+178%； 其中2022Q3为17亿元，同比+112%，同样远高于收入端增速。 图9：2022Q1-Q3行业归母净利润同比+73% 图10：2022Q1-Q3行业扣非归母净利润同比+129% 3）盈利水平：2022Q1-Q3十一家半导体设备企业归母净利率为19.2%，同比+2.3pct。 若剔除万业企业和精测电子，2022Q1-Q3九家半导体设备企业归母净利率为20.0%，同比+3.8pct，大幅提升。若扣除非经常性损益，2022Q1-Q3十一家半导体设备企业扣非归母净利率为16.4%，同比+5.5pct。若剔除万业企业和精测电子，2022Q1-Q3九家半导体设备企业扣非归母净利率为17.3%，同比+7.2pct，真实盈利水平大幅提升。以下将从毛利端和费用端进行详细分析。 图11：2022Q1-Q3行业归母净利率达到19.2% 图12：2022Q1-Q3行业扣非归母净利率达到16.4% （1）毛利端：2022Q1-Q3十一家半导体设备企业销售毛利率为45.8%，同比+1.9pct。 若剔除万业企业和精测电子，2022Q1-Q3九家半导体设备企业销售毛利率为45.9%，同比+2.4pct。半导体设备行业毛利端快速提升，我们判断一方面受益于非Demo机台收入占比下降，产品均价有所提升；另一方面受益于零部件国产化、规模化采购的降本效应。 （2）费用端：2022Q1-Q3十一家半导体设备企业期间费用率为26.7%，同比-3.3pct。 若剔除万业企业和精测电子，2022Q1-Q3九家半导体设备企业期间费用率为25.5%，同比-4.8pct，主要受益于规模效应下研发费用率等快速下降，驱动盈利水平进一步上行。 图13：2022Q1-Q3半导体设备行业毛利率达到45.8% 图14：2022Q1-Q3半导体设备行业期间费用率下降至26.7% 受益于晶圆厂大规模扩建，半导体设备企业在手订单饱满。截至2022Q3末，十一家半导体设备企业存货和合同负债分别达到133和284亿元，分别同比+69%和+76%。 若剔除万业企业和精测电子，2022Q3末九家半导体设备企业存货和合同负债分别达到121和261亿元，分别同比+57%和+80%，均达到历史最高点。从订单角度来看：1）中微公司：2022Q1-Q3新签订单56.40亿元，同比+60.24%。2）至纯科技：2022Q1-Q3新增订单36.21亿元，我们判断其中半导体清洗设备订单超过10亿元，已经接近2021年全年规模。展望未来，考虑到已有订单取消概率不大，随着相关订单陆续交付，2022Q4和2023年半导体设备行业业绩高增长有较强确定性。 图15：2022Q3末半导体设备行业合同负债为133亿元 图16：2022Q3末半导体设备行业存货达到284亿元 2.制裁恐慌情绪逐步消除，看好设备国产替代加速 10月7日，美国对中国半导体产业制裁升级，引发市场恐慌，核心体现在： 1）对128层及以上3D NAND芯片、 18nm 半间距及以下DRAM内存芯片、 14nm 以下逻辑芯片相关设备进一步管控。考虑到本土 28nm 以下逻辑芯片扩产需求较少，市场担忧主要聚焦在2024年后存储扩产预期。 2）在没有获得美国政府许可的情况下，美国国籍公民禁止在中国从事芯片开发或制造工作，包括美国设备的售后服务人员，引发市场对于本土半导体设备企业美籍高管&技术人员担忧。 图17：本轮制裁升级对部分薄膜沉积设备实行较为严格管制 展望未来，我们认为市场对于本次制裁升级应该更加理智看待，2024年以后行业预期不必过分悲观。具体来讲，我们认为本次制裁升级对半导体设备行业的影响整体可控：1）短期来看，我们认为2022-2023年存储扩产影响不大，对相关设备公司业绩的影响较小，2022Q4和2023年业绩受制裁影响不大。2）中长期来看，2024年之后存储及14nm 或以下扩产需求虽有一定不确定性，但我们认为随着美国对中国半导体产业持续打压，会加速半导体产业国产替代。参照2017年以来中国半导体设备企业的长足进步，收入端实现数倍增长，技术层面上也在128L3D NAND、18nm DRAM领域已有一定储备。2024年后本土半导体设备企业在128L3D NAND、18nm DRAM是否可以实现突破，我们应该持有更加乐观的态度，看好制裁升级背景下设备国产替代加速。 2.1.半导体设备取得长足进步，对2024年存储扩产应保持乐观态度 国产替代驱动下，本土半导体设备企业实现快速突破，最直观体现在收入规模实现了数倍增长。2022年华海清科、长川科技、盛美上海、拓荆科技营业收入分别较2017年增长87、