CMP设备龙头业绩稳步增长，设备+服务打开未来成长空间

业绩持续增长，平台化产品陆续放量

• 2025年公司营收46.48亿元，同比+36.46%，主要系CMP装备市场占有率和销售规模持续提高，减薄、离子注入、湿法、晶圆再生、关键耗材和维保服务等业务发展良好。
• 归母净利润10.84亿元，同比+5.9%；扣非归母净利润9.65亿元，同比+12.7%。
• 2026Q1单季营收12.01亿元，同比+31.7%，环比-17.4%；归母净利润2.47亿元，同比+5.9%，环比-15.4%。

2026Q1盈利能力略有下降，持续维持高研发投入

• 2025年毛利率41.81%，同比-1.39pct；销售净利率23.3%，同比-6.74pct；期间费用率22.1%，同比+2.4pct。
• 研发费用率11.6%，同比+0.3pct，2025年研发投入5.37亿元，同比+40.63%。
• Q1单季毛利率42.3%，同环比-4.1pct/+5.5pct；销售净利率20.6%，同环比-5.0pct/+0.5pct。

合同负债和存货大幅增长

• 截至2026Q1，合同负债18.33亿元，同比+11.7%；存货42.3亿元，同比+21.3%。
• 2025年经营活动现金流净额8.0亿元，同比-30.73%，主要系采购付款及职工薪酬增加。

CMP基本盘稳固，离子注入、先进封装、湿法设备打开成长空间

• CMP装备：Universal-300FS获批量订单，P510新品布局先进封装、玻璃基板等应用。
• 减薄/抛光装备：Versatile-GP300累计出机量达20台，Versatile-GM300已完成批量供应，Versatile-GH300首台装备出机，覆盖国内多数头部企业，在3D IC、HBM领域有先发优势。
• 划切装备：核心机型已进入工艺验证，获部分客户认可。
• 离子注入装备：iPUMA-LT已向国内头部客户出货，12英寸大束流离子注入机已批量交付。
• 湿法设备：多台清洗设备通过验证并确收，SDS/CDS供液系统获批量采购。
• 晶圆再生服务：依托CMP与清洗设备能力，成为晶圆再生领域专业代工厂，天津20万片月产能，昆山扩产40万片，完成南北客户全面覆盖。

盈利预测与投资评级

• 下调2026-2027年归母净利润为14.3/19.1亿元，预计2028年归母净利润24.4亿元。
• 当前市值对应动态PE分别为48/36/28倍，维持“买入”评级。

风险提示

• 下游需求不及预期，新品研发&下游扩产不及预期等。