高研发投入助力产品升级闭环，合同负债大幅增长

核心观点与关键数据

• 公司业绩：2025年第一季度实现营业收入22亿元（同比增35%），归母净利润3亿元（同比增26%）；2024年营业收入91亿元（同比增45%），归母净利润16亿元（同比降10%）。
• 设备增长：刻蚀设备收入73亿元（同比增55%），LPCVD设备实现2亿元收入突破，12寸高端刻蚀设备应用于5nm及以下器件，3D NAND芯片等离子体刻蚀设备应用于128层以上量产。
• 研发投入：2024年研发投入25亿元（同比增94%），研发费率16%，推进超20款新设备开发，新品研发时间缩短至2年或更短。
• 合同负债：一季度合同负债31亿元（同比增162%），验证在手订单充沛。

投资建议与预测

• 投资评级：维持“买入”评级。
• 盈利预测：预计2025-2027年归母净利润分别为24.76、34.13、42.94亿元，EPS分别为3.96、5.46、6.87元，对应PE分别为45x、33x、26x。

风险提示

• 研发进度不及预期、产业竞争加剧、贸易摩擦加剧。

研究结论

公司高研发投入助力产品升级，刻蚀设备增长迅速，合同负债大幅增长验证订单充沛，未来业绩有望持续提升。