光刻是半导体微纳加工的核心工艺,光刻胶作为其关键材料,在半导体材料领域具有重要地位。光刻胶按显影效果可分为正性光刻胶和负性光刻胶,其中正性光刻胶应用更广泛,其市场验证周期为2-3年。当前光刻胶市场主要由东京应化、杜邦、JSR、住友化学等国外巨头垄断,日企在全球市场占据主导地位,其中东京应化以26%的市场份额位居首位,杜邦、JSR和住友化学分别占17%、16%和10%。
东京应化(TOK)是全球半导体光刻胶龙头,拥有世界领先的微处理和高纯度加工技术。其在EUV、KrF、g/i线及ArF光刻胶细分领域的市占率分别为38.0%、36.6%、22.8%和16.2%,其中ArF光刻胶市占率全球第四。TOK通过两次历史性机遇成长为行业巨头:1995年研发KrF光刻胶并随Nikon和Canon光刻机崛起抢占市场;2010年代伴随EUV光刻机商用,TOK凭借快速实现know-how成为EUV光刻胶龙头。此外,日系设备厂商Lasertec在EUV掩膜版检测技术上的突破也加速了EUV技术的商用化。
复盘TOK的成长之路,对国内半导体光刻胶行业具有重要借鉴意义:一是光刻胶行业需持续进行技术攻坚与精益化管理,TOK在图像传感器、MEMS及EUV产品研发上均投入十年以上;二是光刻胶与光刻机、光检测设备密切相关,需工艺与量测设备端的协同突破。目前,国内低端光刻胶自给率较高,但高端光刻胶仍依赖进口,高端光刻胶国产化迫在眉睫。
投资建议:光刻胶是半导体材料自主可控的关键环节,看好光刻胶领域国产化进程,受益标的包括容大感光、彤程新材、晶瑞电材、上海新阳、华懋科技、南大光电。