拓荆科技电子公司业绩稳健增长,实现营收10.04亿元,同比增长91.83%。其中PECVD设备实现销售收入9.08亿元,同比增长94.35%。公司研发投入持续增加,达2.10亿元,同比增长78.77%。公司薄膜系列产品在晶圆制造产线的量产应用规模持续扩大,PECVD通用介质薄膜材料和先进介质薄膜材料已实现产业化应用,PECVD(NF-300H)型号设备已实现产业化应用。此外,公司持续获得客户订单,并出货至客户端进行验证,验证进展顺利。
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