电子行业周报：荷兰设备出口管制落地，成熟制程扩产无虞

电子行业周报 荷兰设备出口管制落地，成熟制程扩产无虞2023年07月02日 荷兰政府公布半导体设备出口管制新条例。当地时间6月30日，荷兰政府正式颁布有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例，管制范围内的先进半导体制造设备出口将需要申请许可。由于荷兰设备厂ASML是全球领先的光刻机制造厂商，本次新规对于光刻机的限制或将影响到国内晶圆厂的扩产进度。新规将满足以下条件的光刻机纳入出口管制范围：1、光源波长小于193nm；2、光源波长大于等于193nm，且a.分辨率小于等于45nm；b.套刻精度小于1.5nm。本次新规将于2023年9月1日生效。 ASML解读：NXT:2000i以下型号光刻机不受限。对于该出口管制新条例，荷兰光刻机龙头ASML当天发布公告，认为受限的光刻机将仅限于TWINSCANNXT:2000i及更先进的浸没式光刻机。据ASML官网公布的参数，其主要型号的浸没式光刻机均符合波长小于等于193nm，且分辨率小于等于45nm（实际为38nm）的限制，但NXT:1980Di及更低端的型号套刻精度（single）大于1.5nm，因此ASML认为出口管制新规将只影响NXT:2000i及更高端型号光刻机的销售。在本次公告中ASML强调，对DUV光刻机的限制与其2023年3月公告预期的范围一致，因此本次新规并未扩大限制范围，预计将不会对其2023年财务产生重大影响。基于此我们认为本次荷兰出口管制新规的落地符合预期，而NXT:2000i以下型号光刻机若仍可顺利采购，将有利于国内成熟制程的扩产推进。 大基金拟参与华虹科创板IPO战投，半导体制造国产化有望提速。6月28日，华虹半导体发布公告，宣布国家大基金二期将作为战略投资人参与公司人民币股份发行，拟认购不超过30亿元，不超过公司回A发行后总股本4.15%。大基金二期原持有华虹无锡29%股权，而华虹的科创板IPO拟募集资金共计180亿元，投向华虹无锡扩产项目、8英寸厂优化升级项目以及特色工艺技术创新研发项目。本次增资体现国有资本对本土晶圆厂扩产的持续支持，半导体制造国产化有望提速。 投资建议：荷兰半导体设备出口管制新规落地，相较ASML前期公告并未升级限制范围，成熟制程制造所需光刻机仍有望持续供应。国家大基金二期亦通过增资华虹继续支持国产晶圆厂扩产。我们看好半导体制造国产化提速，以及下游扩产推进带来的半导体设备、半导体零部件投资机遇。建议关注：1）设备：中微公司、拓荆科技、北方华创、华海清科、芯源微等；2）零部件：新莱应材、富创精密、英杰电气等；3）晶圆厂：中芯国际、华虹半导体等。 风险提示：半导体设备市场周期性波动；地缘政治冲突加剧；国产化验证不及预期。 代码简称股价EPS（元）PE（倍）评级 （元）2022A2023E2024E2022A2023E2024E 688012 中微公司 156.45 1.89 2.34 3.03 83 67 52 推荐 688072 拓荆科技 425.97 2.91 4.17 6.39 146 102 67 推荐 002371 北方华创 317.65 4.44 6.79 9.73 72 47 33 推荐 300260 新莱应材 39.52 0.85 0.94 1.34 46 42 29 推荐 688409 富创精密 109.00 1.18 1.57 2.22 92 69 49 推荐 重点公司盈利预测、估值与评级 资料来源：Wind，民生证券研究院预测; （注：股价为2023年6月30日收盘价） 推荐维持评级 分析师方竞 执业证书：S0100521120004 邮箱：fangjing@mszq.com 研究助理张文雨 执业证书：S0100123030013 邮箱：zhangwenyu@mszq.com 相关研究 1.电子行业2023年中期投资策略：AI与电子共舞-2023/06/29 2.电子行业周报：设备投资额稳步修复，看好设备零部件国产化机遇-2023/06/19 3.电子行业点评：MXC500测试完成，沐曦加速AI训练布局-2023/06/15 4.电子行业专题：苹果发布VisionPro，空间计算时代来临-2023/06/11 5.电子行业周报：AI盛会在即，AMD揭秘新品新方案-2023/06/11 目录 1荷兰设备出口管制落地，成熟制程扩产无虞3 1.1荷兰政府公布半导体设备出口管制新条例3 1.2ASML解读：NXT:2000i以下型号光刻机不受限3 1.3大基金拟参与华虹科创板IPO战投，半导体制造国产化有望提速4 2投资建议5 3风险提示5 表格目录6 1荷兰设备出口管制落地，成熟制程扩产无虞 1.1荷兰政府公布半导体设备出口管制新条例 当地时间6月30日，荷兰政府正式颁布了有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例，管制范围内的先进半导体制造设备出口将需要申请许可。 由于荷兰设备厂ASML是全球领先的光刻机制造厂商，本次新规对于光刻机的限制或将影响到国内晶圆厂的扩产进度。新规将满足以下条件的光刻机纳入出口管制范围： 1、光源波长小于193nm 2、光源波长大于等于193nm：a.分辨率小于等于45nm；和 b.套刻精度小于1.5nm 本次新规将于2023年9月1日生效。 编号内容 表1：荷兰设备出口管制新条例限制出口的产品 3B001.lEUV光罩保护膜 3B001.mEUV光罩保护膜的制造设备光刻机，满足以下条件： 1、光源波长小于193nm； 3B001.f.4 2、光源波长大于等于193nm：a.分辨率小于等于45nm，和 b.套刻精度小于1.5nm 3B001.d.12金属原子层沉积(ALD)设备 3B001.a.4硅（Si）、碳掺杂硅、硅锗（SiGe）、碳掺杂SiGe外延生长设备 LowK电介质沉积设备（用于宽度小于等于25nm，深宽比大于等于1沉积条 3B001.d.19 件） 3D007用于设备开发的软件 3E005用于研发以上设备的技术 资料来源：荷兰政府官方网站，民生证券研究院 1.2ASML解读：NXT:2000i以下型号光刻机不受限 对于上文出口管制新条例，荷兰光刻机龙头ASML当天发布公告，认为受限的光刻机将仅限于TWINSCANNXT:2000i及更先进的浸没式光刻机。 据ASML官网公布的参数，其主要型号的浸没式光刻机均符合波长小于等于193nm，且分辨率小于等于45nm（实际为38nm）的限制，但NXT:1980Di及更低端的型号套刻精度（single）大于1.5nm，因此ASML认为出口管制新规将 只影响NXT:2000i及更高端型号光刻机的销售。 在本次公告中，ASML强调，EUV光刻机在此前就已经受到出口限制，而对 DUV光刻机的限制与其2023年3月公告预期的范围一致，因此本次新规并未扩 大限制范围，预计将不会对其2023年财务产生重大影响。 基于此我们认为本次荷兰出口管制新规的落地符合预期，而NXT:2000i以下型号光刻机若仍可顺利采购，将有利于国内成熟制程的扩产推进和半导体制造国产化。 型号 光源波长 孔径数值 分辨率 套刻精度 WPH TWINSCANNXT:2050i 193nm 1.35NA ≤38nm 2.5nm（match） 295 TWINSCANNXT:2000i 193nm 1.35NA ≤38nm 2.5nm（match） ≥275 TWINSCANNXT:1980Di 193nm 1.35NA ≤38nm 1.6nm（single） ≥275 TWINSCANNXT:1965Ci 193nm 0.85-1.35NA ≤38nm 2.5nm（single） ≥250 资料来源：ASML，民生证券研究院 表2：ASML主要型号浸没式光刻机参数 1.3大基金拟参与华虹科创板IPO战投，半导体制造国产化有望提速 6月28日，华虹半导体发布公告，宣布国家大基金二期将作为战略投资人参与公司人民币股份发行，拟认购不超过30亿元，不超过公司回A发行后总股本4.15%。 大基金二期原持有华虹无锡29%股权，而华虹的科创板IPO拟募集资金共计180亿元，投向华虹无锡扩产项目、8英寸厂优化升级项目以及特色工艺技术创新研发项目。本次增资体现国有资本对本土晶圆厂扩产的持续支持，半导体制造国产化有望提速。 2投资建议 荷兰半导体设备出口管制新规落地，相较ASML前期公告并未升级限制范围，成熟制程制造所需光刻机仍有望持续供应。国家大基金二期亦通过增资华虹继续支持国产晶圆厂扩产。我们看好半导体制造国产化提速，以及下游扩产推进带来的半导体设备、半导体零部件投资机遇。 重点关注：1）设备：中微公司、拓荆科技、北方华创、华海清科、芯源微等；2）零部件：新莱应材、富创精密、英杰电气等；3）晶圆厂：中芯国际、华虹半导体等。 代码 简称 股价 EPS（元） PE（倍） 评级 表3：重点公司盈利预测、估值与评级 688012 中微公司 （元） 156.45 2022A 1.89 2023E 2.34 2024E 3.03 2022A83 2023E67 2024E52 推荐 688072 拓荆科技 425.97 2.91 4.17 6.39 146 102 67 推荐 002371 北方华创 317.65 4.44 6.79 9.73 72 47 33 推荐 300260 新莱应材 39.52 0.85 0.94 1.34 46 42 29 推荐 688409 富创精密 109.00 1.18 1.57 2.22 92 69 49 推荐 资料来源：Wind，民生证券研究院预测; （注：股价为2023年6月30日收盘价） 3风险提示 半导体设备市场周期性波动：半导体设备市场具有周期性，若下行周期持续时间超预期、周期回暖不及预期，可能对板块公司业绩造成不利影响。 地缘政治冲突加剧：当前国内半导体设备进口比例较大，若地缘政治冲突加剧，可能对国内晶圆厂扩产造成不利影响，从而影响上游设备及零部件需求。 国产化验证不及预期：半导体设备及关键零部件研发难度较大，若研发、验证进度不及预期，将会对板块公司业绩造成不利影响。 表格目录 重点公司盈利预测、估值与评级1 表1：荷兰设备出口管制新条例限制出口的产品3 表2：ASML主要型号浸没式光刻机参数4 表3：重点公司盈利预测、估值与评级5 分析师承诺 本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格并登记为注册分析师，基于认真审慎的工作态度、专业严谨的研究方法与分析逻辑得出研究结论，独立、客观地出具本报告，并对本报告的内容和观点负责。本报告清晰准确地反映了研究人员的研究观点，结论不受任何第三方的授意、影响，研究人员不曾因、不因、也将不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接收到任何形式的补偿。 评级说明 投资建议评级标准评级说明 以报告发布日后的12个月内公司股价（或行业指数）相对同期基准指数的涨跌幅为基准。其中：A股以沪深300指数为基准；新三板以三板成指或三板做市指数为基准；港股以恒生指数为基准；美股以纳斯达克综合指数或标普500指数为基准。 免责声明 公司评级行业评级 推荐相对基准指数涨幅15%以上 谨慎推荐相对基准指数涨幅5%～15%之间中性相对基准指数涨幅-5%～5%之间 回避相对基准指数跌幅5%以上 推荐相对基准指数涨幅5%以上 中性相对基准指数涨幅-5%～5%之间 回避相对基准指数跌幅5%以上 民生证券股份有限公司（以下简称“本公司”）具有中国证监会许可的证券投资咨询业务资格。 本报告仅供本公司境内客户使用。本公司不会因接收人收到本报告而视其为客户。本报告仅为参考之用，并不构成对客户的投资建议，不应被视为买卖任何证券、金融工具的要约或要约邀请。本报告所包含的观点及建议并未考虑个别客户的特殊状况、目标或需要，客户应当充分考虑自身特定状况，不应单纯依靠本报告所载的内容而取代个人的独立判断。在任何情况下，本公司不对任何人