电子行业周报：荷兰设备出口管制落地，成熟制程扩产无虞

本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 1 电子行业周报 荷兰设备出口管制落地，成熟制程扩产无虞 2023年07月02日 ➢ 荷兰政府公布半导体设备出口管制新条例。当地时间6月30日，荷兰政府正式颁布有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例，管制范围内的先进半导体制造设备出口将需要申请许可。由于荷兰设备厂ASML是全球领先的光刻机制造厂商，本次新规对于光刻机的限制或将影响到国内晶圆厂的扩产进度。新规将满足以下条件的光刻机纳入出口管制范围：1、光源波长小于193nm；2、光源波长大于等于193nm，且a.分辨率小于等于45nm；b.套刻精度小于1.5nm。本次新规将于2023年9月1日生效。 ➢ ASML解读：NXT:2000i以下型号光刻机不受限。对于该出口管制新条例，荷兰光刻机龙头ASML当天发布公告，认为受限的光刻机将仅限于TWINSCAN NXT:2000i及更先进的浸没式光刻机。据ASML官网公布的参数，其主要型号的浸没式光刻机均符合波长小于等于193nm，且分辨率小于等于45nm（实际为38nm）的限制，但NXT:1980Di及更低端的型号套刻精度（single）大于1.5nm，因此ASML认为出口管制新规将只影响NXT:2000i及更高端型号光刻机的销售。在本次公告中ASML强调，对DUV光刻机的限制与其2023年3月公告预期的范围一致，因此本次新规并未扩大限制范围，预计将不会对其2023年财务产生重大影响。基于此我们认为本次荷兰出口管制新规的落地符合预期，而NXT:2000i以下型号光刻机若仍可顺利采购，将有利于国内成熟制程的扩产推进。 ➢ 大基金拟参与华虹科创板IPO战投，半导体制造国产化有望提速。6月28日，华虹半导体发布公告，宣布国家大基金二期将作为战略投资人参与公司人民币股份发行，拟认购不超过30亿元，不超过公司回A发行后总股本4.15%。大基金二期原持有华虹无锡29%股权，而华虹的科创板IPO拟募集资金共计180亿元，投向华虹无锡扩产项目、8英寸厂优化升级项目以及特色工艺技术创新研发项目。本次增资体现国有资本对本土晶圆厂扩产的持续支持，半导体制造国产化有望提速。 ➢ 投资建议：荷兰半导体设备出口管制新规落地，相较ASML前期公告并未升级限制范围，成熟制程制造所需光刻机仍有望持续供应。国家大基金二期亦通过增资华虹继续支持国产晶圆厂扩产。我们看好半导体制造国产化提速，以及下游扩产推进带来的半导体设备、半导体零部件投资机遇。建议关注：1）设备：中微公司、拓荆科技、北方华创、华海清科、芯源微等；2）零部件：新莱应材、富创精密、英杰电气等；3）晶圆厂：中芯国际、华虹半导体等。 ➢ 风险提示：半导体设备市场周期性波动；地缘政治冲突加剧；国产化验证不及预期。 重点公司盈利预测、估值与评级 代码 简称 股价（元） EPS（元） PE（倍） 评级 2022A 2023E 2024E 2022A 2023E 2024E 688012 中微公司 156.45 1.89 2.34 3.03 83 67 52 推荐 688072 拓荆科技 425.97 2.91 4.17 6.39 146 102 67 推荐 002371 北方华创 317.65 4.44 6.79 9.73 72 47 33 推荐 300260 新莱应材 39.52 0.85 0.94 1.34 46 42 29 推荐 688409 富创精密 109.00 1.18 1.57 2.22 92 69 49 推荐 资料来源：Wind，民生证券研究院预测; （注：股价为2023年6月30日收盘价） 推荐 维持评级 [Table_Author] 分析师 方竞 执业证书： S0100521120004 邮箱： fangjing@mszq.com 研究助理 张文雨 执业证书： S0100123030013 邮箱： zhangwenyu@mszq.com 相关研究 1.电子行业2023年中期投资策略：AI与电子共舞-2023/06/29 2.电子行业周报：设备投资额稳步修复，看好设备零部件国产化机遇-2023/06/19 3.电子行业点评：MXC500测试完成，沐曦加速AI训练布局-2023/06/15 4.电子行业专题：苹果发布Vision Pro，空间计算时代来临-2023/06/11 5.电子行业周报：AI盛会在即，AMD揭秘新品新方案-2023/06/11 行业定期报告/电子 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 2 目录 1 荷兰设备出口管制落地，成熟制程扩产无虞 ............................................................................................................. 3 1.1 荷兰政府公布半导体设备出口管制新条例 .................................................................................................................................... 3 1.2 ASML解读：NXT:2000i以下型号光刻机不受限 ....................................................................................................................... 3 1.3 大基金拟参与华虹科创板IPO战投，半导体制造国产化有望提速 ......................................................................................... 4 2 投资建议 ................................................................................................................................................................. 5 3 风险提示 ................................................................................................................................................................. 5 表格目录 ..................................................................................................................................................................... 6 行业定期报告/电子 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 3 1 荷兰设备出口管制落地，成熟制程扩产无虞 1.1 荷兰政府公布半导体设备出口管制新条例 当地时间6月30日，荷兰政府正式颁布了有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例，管制范围内的先进半导体制造设备出口将需要申请许可。 由于荷兰设备厂ASML是全球领先的光刻机制造厂商，本次新规对于光刻机的限制或将影响到国内晶圆厂的扩产进度。新规将满足以下条件的光刻机纳入出口管制范围： 1、光源波长小于193nm 2、光源波长大于等于193nm： a.分辨率小于等于45nm；和 b.套刻精度小于1.5nm 本次新规将于2023年9月1日生效。 表1：荷兰设备出口管制新条例限制出口的产品 编号 内容 3B001.l EUV光罩保护膜 3B001.m EUV光罩保护膜的制造设备 3B001.f.4 光刻机，满足以下条件： 1、光源波长小于193nm； 2、光源波长大于等于193nm： a.分辨率小于等于45nm，和 b.套刻精度小于1.5nm 3B001.d.12 金属原子层沉积 (ALD) 设备 3B001.a.4 硅（Si）、碳掺杂硅、硅锗（SiGe）、碳掺杂SiGe外延生长设备 3B001.d.19 Low K电介质沉积设备（用于宽度小于等于25nm，深宽比大于等于1沉积条件） 3D007 用于设备开发的软件 3E005 用于研发以上设备的技术 资料来源：荷兰政府官方网站，民生证券研究院 1.2 ASML解读：NXT:2000i以下型号光刻机不受限 对于上文出口管制新条例，荷兰光刻机龙头ASML当天发布公告，认为受限的光刻机将仅限于TWINSCAN NXT:2000i及更先进的浸没式光刻机。 据ASML官网公布的参数，其主要型号的浸没式光刻机均符合波长小于等于193nm，且分辨率小于等于45nm（实际为38nm）的限制，但NXT:1980Di及更低端的型号套刻精度（single）大于1.5nm，因此ASML认为出口管制新规将 行业定期报告/电子 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 4 只影响NXT:2000i及更高端型号光刻机的销售。 在本次公告中，ASML强调，EUV光刻机在此前就已经受到出口限制，而对DUV光刻机的限制与其2023年3月公告预期的范围一致，因此本次新规并未扩大限制范围，预计将不会对其2023年财务产生重大影响。 基于此我们认为本次荷兰出口管制新规的落地符合预期，而NXT:2000i以下型号光刻机若仍可顺利采购，将有利于国内成熟制程的扩产推进和半导体制造国产化。 表2：ASML主要型号浸没式光刻机参数 型号 光源波长 孔径数值 分辨率 套刻精度 WPH TWINSCAN NXT:2050i 193nm 1.35NA ≤38nm 2.5nm（match） 295 TWINSCAN NXT:2000i 193nm 1.35NA ≤38nm 2.5nm（match） ≥275 TWINSCAN NXT:1980Di 193nm 1.35NA ≤38nm 1.6nm（single） ≥275 TWINSCAN NXT:1965Ci 193nm 0.85-1.35NA ≤38nm 2.5nm（single） ≥250 资料来源：ASML，民生证券研究院 1.3 大基金拟参与华虹科创板IPO战投，半导体制造国产化有望提速 6月28日，华虹半导体发布公告，宣布国家大基金二期将作为战略投资人参与公司人民币股份发行，拟认购不超过30亿元，不超过公司回A发行后总股本4.15%。 大基金二期原持有华虹无锡29%股权，而华虹的科创板IPO拟募集资金共计180亿元，投向华虹无锡扩产项目、8英寸厂优化升级项目以及特色工艺技术创新研发项目。本次增资体现国有资本对本土晶圆厂扩产的持续支持，半导体制造国产化有望提速。 行业定期报告/电子 本公司具备证券投资咨询业务资格，请务必阅读最后一页免责声明 证券研究报告 5 2 投资建议 荷兰半导体设备出口管制新规落地，相较ASML前期公告并未升级限制范围，成熟制程制造所需光刻机仍有望持续供应。国家大基金二期亦通过增资华虹继续支持国产晶圆厂扩产。我们看好半导体制造国产化提速，以及下游扩产推进带来的半导体设备、半导体零部件投资机遇。 重点关注：1）设备：中微公司、拓荆科技、北方华创、华海清科、芯源微等；2）零部件：新莱应材、富创精密、英杰电气等；3）晶圆厂：中芯国际、华虹半导体等。 表3：重点公司盈利预测、估值与评级 代码 简称 股价（元） EPS（元） PE（倍） 评