���[华泰电子]荷兰出台半导体设备出口管制措施,ASML回应1980系列不受影响符合预期 ☀6月30日荷兰政府正式出台半导体制造设备的出口管制措施,主要针对先进的芯片制造技术,限制材料,设备及技术,包括1)EUV光罩保护膜,2)EUV光罩保护膜生产设备,3)光刻设备,4)符合特定条件的ALD设备,5)用于Si,碳掺杂硅,SiGe,或者碳掺杂SiGe外延生长的设备,6)lowk沉积设备,7)以上受限设备所需的软件,8) ���[华泰电子]荷兰出台半导体设备出口管制措施,ASML回应1980系列不受影响符合预期 ☀6月30日荷兰政府正式出台半导体制造设备的出口管制措施,主要针对先进的芯片制造技术,限制材料,设备及技术,包括1)EUV光罩保护膜,2)EUV光罩保护膜生产设备,3)光刻设备,4)符合特定条件的ALD设备,5)用于Si,碳掺杂硅,SiGe,或者碳掺杂SiGe外延生长的设备,6)lowk沉积设备,7)以上受限设备所需的软件,8)以上受限设备所需的技术 ☀1#受限制光刻机具有以下一项或两项特性: 1.光源波长小于193nm;或 2.光源波长等于或大于193nm: a.最小分辨率(MRF)小于或等于45nm b.在同一台设备上的套刻精度(DCO)小于或等于1.5nm 对此ASML回应仅2000i及后续的更先进的光刻机出口需要获得审批,从官网参数来看,ASMLNXT1980DiMRF=38nm,但DCO=1.6nm,1980系列不在限制范围内,新的荷兰出口管制条例将于2023年9月1日生效。 ASML可以在该日期之前开始提交出口许可证申请。 ☀2#条例中提及的ALD设备,外延生长设备,lowk沉积设备主要限制ASMI对外出口,ASMI是全球市占率最高的ALD设备供应商。条例中ALD设备限制①.具有以下所有特征: a.一种以上的金属源,其中一种已被开发用于铝(AI)前体;和b.原材料容器设计用于45°C以上的温度; ②.设计用于沉积具有以下所有特征的“台阶式”金属:a.沉积碳化钛铝(TiAlC);和 b.高于4.0eV的“特定功函数的金属”的可能性。 ☀荷兰出口管制措施力度与前期市场预期一致,目前的制裁主要卡位先进制程,不改国内成熟制程扩产趋势,看好设备国产化加速。 ���推荐关注:拓荆科技(薄膜沉积等)、中微公司(刻蚀、薄膜沉积等)、北方华创(薄膜沉积、氧化等)、盛美(清洗、薄膜沉积、涂胶显影等)