涂胶显影保持领先，先进封装&化学清洗拓展空间

芯源微公司年度及季度业绩总结

一、整体业绩表现

• 2022年：营收达到13.85亿元，同比增长67%；归母净利润2.00亿元，同比增长159%；扣非归母净利润1.37亿元，同比增长115%。
• 第四季度：实现收入4.88亿元，同比增长73%；归母净利润0.57亿元，同比增长135%。

二、业务板块亮点

• 光刻工序涂胶显影设备：全年营收7.57亿元，同比增长50%，受益于清洗、去胶、湿法刻蚀产品的收入增长。
• 单片湿法设备：全年营收5.50亿元，同比增长90%，展现强劲增长势头。

三、设备布局与技术进展

• 前道涂胶显影设备：完成28nm及以上工艺节点全覆盖，实现offline、I-line、KrF机台批量销售，浸没式机台已获多份订单，超高温Barc机台成功导入市场。
• 后道设备应用：后道涂胶显影设备、单片湿法设备批量应用于台积电、长电科技等大厂，开发出适用于Chiplet封装技术的键合机。
• 物理清洗机：前道物理清洗机市场领先，已广泛应用于一线大厂；化学清洗机正在沈阳厂区研发测试中，芯源微上海子公司建设进入机电设备安装阶段，预计2023年四季度投产。

四、投资建议与风险提示

• 投资建议：预计2023-2025年营收分别达19.95亿、27.05亿、36.55亿，PS分别为13、10、7倍；归母净利润分别为2.65亿、3.58亿、5.10亿，PE分别为102、75、53倍。维持“买入”评级。
• 风险提示：新产品研发进度低于预期、下游晶圆厂扩产放缓、市场竞争加剧。

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