引领涂胶显影设备国产替代，积极开拓清洗设备市场

芯源微是一家国内涂胶显影设备公司，成立于2002年，由中科院沈阳自动化研究所发起创建。公司主要产品包括涂胶显影设备和清洗设备，覆盖半导体前道设备市场达10%以上的需求。公司设备过去主要应用于先进封装、小尺寸设备领域，市场空间2-3亿美元，突破前道设备（Track、清洗）将使公司下游市场空间拓展至80亿美元以上。公司积极拓展清洗设备业务，物理清洗设备已取得国内领先地位，未来化学清洗设备新品将进一步打开公司成长空间。公司后道/小尺寸设备已成国内应用主力机型，产品应用于长电科技、三安光电等一线大厂，并持续开拓中国台湾以及海外市场，目前已进入台积电供应链。预计公司22-24年每股收益分别为1.58、2.40、3.73元，首次给予买入评级。