中原机械2021年第3周周报：台积电加大资本开支，半导体设备迎来投资机遇

本周（2021年1月11日至1月15日），CS机械板块上涨1.94%，跑赢沪深300（-0.34%）2.28pct，排在30个CS一级行业第5名。本周行业观点：台积电加大资本开支，半导体设备迎来投资机遇。重点关注国内半导体设备龙头企业北方华创、中微公司，同时也关注切入晶圆制造设备并在部分产品有较大突破的晶盛机电、至纯科技等。锂电设备龙头受益于十四五新能源汽车渗透加速。