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国金证券李阳团队:自主可控背景下的直写光刻投资分析

2026-08-17 未知机构 睿扬
国金证券李阳团队:自主可控背景下的直写光刻投资分析

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直写光刻是什么技术?

直写光刻是一种无需掩模板,直接将电路图形曝光到光刻胶上的曝光技术。它并非替代传统掩模光刻,而是适用于大尺寸、高曲率、工艺频繁调整的领域。直写光刻具备无需掩模板、适配大尺寸基板、可全局/局部对准等优势,能解决掩模板成本、大尺寸基板桥支变形等问题,当前应用场景正处于爆发期。

直写光刻行业发展趋势如何?

直写光刻行业正处于快速发展阶段,主要受先进封装技术发展推动。随着ReRAM、M3等先进封装技术的发酵,直写光刻(LDI)的估值得到提升,其卡位优势及前景空间被释放。直写光刻作为先进封装设备组合的一部分,短期内不会被替代,需与传统掩模光刻长期共存,按场景分层分工:稳定标准层偏向传统掩模,复杂对准、快速迭代、大尺寸场景偏向直写光刻。海外竞争对手包括奥宝、耐威、尼康、screen等,国内企业在精度上有差距,但交期、本地化服务具备优势。

报告重点分析了哪些方向?

本报告重点分析了直写光刻在自主可控背景下的投资机会。报告指出,直写光刻的需求主要拉动因素为AI服务器及相关先进封装需求,包括芯片增大、HBM堆叠、大尺寸布线互联、布线层数增加、板级封装、玻璃基板(CoWoS等)、再封装F3等工艺升级。其中,CoWoS已开始使用国产直写光刻设备。报告还分析了国内外直写光刻企业的竞争格局,以及国内企业在交期、本地化服务上的优势。

当前直写光刻市场现状如何?

当前直写光刻市场正处于爆发期,主要应用场景包括先进封装、AI服务器等领域。直写光刻具备无需掩模板、适配大尺寸基板、可全局/局部对准等优势,能解决掩模板成本、大尺寸基板桥支变形等问题。海外竞争对手包括奥宝、耐威、尼康、screen等,国内企业在精度上有差距,但交期(国内4-6个月 vs 海外10个月以上)、本地化服务具备优势。国内先进封装领域直写光刻应用领先,CoWoS已开始使用国产直写光刻设备。

报告提示了哪些风险?

本报告提示了直写光刻领域的几项风险。首先,需关注传统掩模技术成熟后是否会挤压直写光刻的应用空间,台积电等企业因掩模技术成熟、量产规模大,更多采用传统掩模光刻。其次,直写光刻核心部件(如高端光栅尺、运动平台)依赖海外采购,供应链配套、磨合及精度控制是核心壁垒,并非单一技术能力决定,还需供应链管理能力。此外,玻璃基板是否需配套直写光刻设备,该环节受前期其他环节影响更大,进程存在不确定性。