北交所首次覆盖报告：中科院真空设备龙头：打破海外垄断，半导体+光伏双驱迎来高增长

中科仪是一家主营干式真空泵和真空科学仪器设备研发、生产、销售及相关技术服务的企业，拥有三个国家级研发平台，是中科院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业。公司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。

公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设备关键部件的自主可控和供应链安全。公司自主研发形成的无油真空获得及精密加工技术、干泵抽气结构技术等8大核心技术构筑了护城河。

公司干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售。根据WSTS预计，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元；中国大陆集成电路产业对干式真空泵的需求为5.21万台，市场规模约52.11亿元；2024年我国光伏产业对干式真空泵的需求约6.7-8.2万台，市场规模约47.0-57.2亿元。

公司募投项目包括“干式真空泵产业化建设项目”、“高端半导体设备扩产及研发中心建设项目”和“新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目”3个项目，旨在提升公司干式真空泵的生产能力和技术水平，进一步拓展干泵产品的应用范围，拓宽市场发展空间。

公司2022-2025年营业收入整体呈快速增长趋势，2025年营收、归母净利润双增。预计2026-2028年公司营业收入分别为15.97/22.89/29.94亿元，对应EPS分别为1.01/1.18/1.40元/股，对应PE为87.6/75.2/63.3X，首次覆盖，给予“增持”评级。