万业企业机构调研纪要

调研日期: 2024-07-01 上海万业企业股份有限公司是一家成立于1991年的高科技上市公司,具有新兴产业基因。近年来,公司通过“外延并购+产业整合”的双轮驱动,陆续收购了凯世通、CompartSystems和嘉芯半导体等公司,加大了集成电路在公司业务中的比重。2017年,公司成为上海半导体装备材料产业投资基金主要LP,并参与了多个集成电路领域整合项目。2021年,万业企业与半导体领域杰出人士共同成立嘉芯半导体,加速产业整合进程,推动行业蝶变跃升,成为中国集成电路产业链的发展而打造成为最完整的装备材料平台公司。 主要交流问答: Q:请领导介绍一下凯世通目前的主要产品订单情况? A:万业企业旗下凯世通凭借持续的创新实力和自主研发能力,已成长为国产高端离子注入机产业化领跑企业。基于模块化、平台化产品开发模式,凯世通离子注入机产品矩阵快速迭代、不断完善产品布局。近四年来,凯世通累计签署12英寸集成电路离子注入机设备订单总数近60台,订单总金额近14亿元,并且已完成交付30台,涵盖先进逻辑、存储、功率器件、CIS图像传感器四大应用领域。目前,公司的低能大束流离子注入机客户已超过10家,超低温离子注入机客户已突破6家。 Q:请领导介绍一下公司的研发及技术情况? A:公司在原有深厚的技术储备基础上,持续聚焦客户产业化需求和最新技术趋势,保持高水平的研发投入,不断进行产品开发和优化。2024年上半年公司研发投入为0.76亿元,相较去年同期增长41.24%,占收入比例为37.81%。大量研发投入带来的技术成果为公司后续发展提供了坚实后盾,成为市场竞争力进一步提升的重要保障。在离子注入设备领域,旗下控股子公司凯世通致力于集成电路离子注入设备的自主研发创新,形成了一系列具有自主知识产权的核心技术,创建了包括基础技术和应用技术在内的“通用平台+关键技术模块化+系列化产业化发展”的完整技术体系,解决了高端芯片实际生产过程中面临的极低能量大剂量注入、高角度均匀性、颗粒污染控制、低能量注入能量污染、设备高产能等技术挑战。公司的核心技术如大束流离子源、离子束光学系统、低能减速装置、高真空高精度离子注入平台等,均可满足不同芯片产线应用的工艺与良率要求,助力客户提升产线产能,降低生产成本。基于上述开发模式,公司已成功开发了低能大束流、高能离子注入机系列产品,其稳定性、可靠性、先进性通过了国内多家晶圆厂客户验证验收,收获商业化订单,积累了大量宝贵的产业化经验。 Q:请问公司在人才培养上有什么优势? A:万业企业采取双轮驱动的人才战略,既注重内部人才培养,又积极引进国内外在半导体设备技术和运营管理领域的资深专家,打造了由高端人才领衔的技术研发团队。公司以合作共赢为核心价值观,通过持续完善的长效激励机制,保障既有人才团队稳定的同时,不断增强对外部人才的吸引力,为全面构建具有创造力和竞争力的技术研发人才梯队持续增添力量。截至2024年上半年,公司旗下凯世通的研发技术人员总数达到168名,占其员工总数的62.68%。凯世通作为公司的重要业务板块,其核心技术团队成员拥有20-30年在半导体设备开发领域的丰富经验,具备离子注入设备全系统的工程实现能力与实践经验。公司的研发与管理团队汇集了一批来自国内外著名高等学府的博士和硕士研究生,专业领域覆盖等离子体物理、半导体技术、机械工程、自动控制、软件工程等诸多学科。该团队在离子注入和半导体工艺领域拥有深厚的专业知识和丰富的产线量产经验,同时研发团队与生产和售后等职能部门深度融合,确保了产品端与市场端无缝 衔接,进一步增强了公司产品和服务的创新改进及市场竞争力。 Q:请问今年公司是否会在并购资产加速转型方面有突破? A:万业企业始终致力于通过内生增长与外延并购并举的战略,加速推进企业的转型升级。作为上海半导体装备材料基金一、二期的主要有限合伙人(LP),公司依托该基金在集成电路产业领域的深厚资源布局,积极促进产业链的深度融合与协同发展。公司致力于筛选能够突破产业发展瓶颈的优质项目,在深化公司在集成电路业务领域的竞争力的同时可以拓宽整体半导体产业链的覆盖范围,为公司的快速成长注入协同升级的动能。 Q:请问凯世通的CIS离子注入机产品有哪些领先行业的优势吗?A:今年一季度,凯世通自主研发生产的应用于CIS器件掺杂的低能大束流 离子注入机已进入国内领先的CIS器件制造客户开展产线验证,目前进展顺利,实现了国产CIS离子注入机的突破,同时也成为国内首家获得CIS低能大束流离子注入机订单的国产设备供应商。根据Yole的数据分析,全球CIS市场的规模预计将从2022年的213亿美元增长至2028年的290亿美元,年复合增长率达到5.1%。CIS产品对金属污染与注入角度有很高的要求,凯世通CIS低能大束流离子注入机基于公司已批量产业化应用的通用注入平台与光路系统,通过多项技术创新满足了CIS器件制造对金属污染物控制与注入角度控制的严格要求,有效应对了暗电流产生的白噪点问题,现已交付客户并获得重复订单。 Q:公司目前房地产业务还有多少存量,今年公司如何规划房地产业务带来的影响? A:公司房地产业务目前主要是存量房产的销售和经营,已无新的住宅开发项目。目前存量房产业务范围主要集中在上海及长三角区域。2024年度公司的房地产业务依然是按照去库存化进行规划,无新增土储,存量房产已经进入收尾阶段。公司主要资产集中在上海及长三角 区域,因前期开发投入较少具有较好的成本优势,为公司的房地产业务和半导体行业转型提供了良好的财务基础。 Q:请问凯世通在离子注入机领域的技术发展和产品应用情况如何? A:作为国产低能大束流离子注入机产业化的领军者,凯世通专注于为下游晶圆厂客户提供性能卓越、稳定可靠的量产型产品,覆盖逻辑、存储、功率、CIS四大应用领域。公司自主研发生产的低能大束流离子注入机和超低温离子注入机,已经率先通过了国内多家重点12英寸晶圆厂的严苛验证验收,并成功实现了产业化应用。凯世通凭借其深厚的技术积累和创新能力,持续积累经验曲线,不断优化精进产品,持续赢得战略客户的重复订单以及新客户的新订单。在新产品研发方面,凯世通以市场需求和前沿技术为导向,除不断积极推动低能大束流离子机及高能离子注入机的客户应用,公司自去年开始研发投入多款面向细分领域的离子注入机,形成全系列的产品矩阵布局,包括SOI氢离子注入机、6/8吋SiC高温离子注入机、中束流离子注入机、超高能离子注入机等特色工艺设备,持续提升离子注入机重大装备自主可控水平 ,加速离子注入机在新工艺、新材料等领域的广泛应用。 Q:作为半导体科技型企业,公司的研发情况如何? A:随着芯片工艺进步及结构复杂化演进,对于集成电路设备的要求日益提升。一直以来,万业企业持续加大自主研发力度,通过高强度的研发投入,不断开发满足、引导市场需求的自研前沿技术及产品,增强自身的核心竞争力。2024年上半年公司研发投入0.76亿元,相较去年同期增长41.24%,占收入比例37.81%。截至2024年6月30日,公司累计申请专利321项(其中发明专利178项),已授权专利209项。