光刻机行业海外硬科技龙头复盘研究系列之九：国之重器，路虽远行则将至

光刻机行业分析报告总结

1. 光刻机行业概述

光刻机是半导体芯片生产的核心设备，其工艺水平直接决定芯片制程和性能。光刻机主要分为直写光刻机和掩膜光刻机，市场主流包括i-Line、KrF、ArF、ArFi、EUV五大类。其中，EUV为超高端，ArFi、ArF为高端，KrF、i-Line为中低端。光刻机产业链复杂，上游涉及众多核心组件和配套设备，下游应用主要为芯片制造、功率器件制造等。

2. 全球光刻机市场现状

全球光刻机市场规模平稳增长，2024年预计达295.7亿美元。市场以中低端KrF、i-Line产品为主，占比约71.5%，高端ArFi、ArF和超高端EUV占比较小。市场由国外企业主导，ASML占据绝对霸主地位，市场份额达82.1%，Canon和Nikon分别占比10.2%和7.7%。ASML垄断高端光刻机市场，国内光刻机国产化率仅2.5%，上海微电子为国内唯一巨头。

3. 海外龙头ASML的成长之路及启示

ASML通过四十年的发展，成为全球光刻机龙头企业。其发展历程可分为四个阶段：1980年代初出茅庐，1990年代推出PAS 5500名声大噪，2000年代凭借双工作台和浸没式光刻技术成为行业龙头，2010年代推出第一台EUV光刻机并持续收购领先厂商，2020年代将EUV技术推进至High NA时代。ASML的成功主要得益于持续的研发投入、技术创新、产业链上下游收购以及与客户、供应商、研究合作伙伴、同行共建创新生态系统。ASML的发展历程对国内光刻机企业发展的启示包括：持续高水平研发投入、重视产业链协同、深度绑定上下游。

4. 国产光刻机行业发展及展望

国内光刻机行业受益于政策大力支持和半导体行业发展红利，市场规模总体呈上涨态势。国内光刻机产业链携手共进，有望实现技术突围。上海微电子作为国产光刻机巨头，推出SSX600系列光刻机，可用于8寸线或12寸线大规模工业生产。炬光科技深耕激光元器件，激光雷达、泛半导体、医疗健康多产业布局。茂来光学领军国内工业级精密光学，实现九项核心技术产业化。福晶科技为光学晶体龙头，提供“晶体+光学元件+激光器件”一站式服务。波长光电是国内激光光学元件的主要供应商，以先进的光刻技术助力半导体产业发展。

5. 投资建议

光刻机是国之重器，国产光刻机行业有望通过技术攻坚和客户联合开发的形式实现弯道超车。关注上海微电子等相关公司的客户突破与产品突破，受益标的包括福晶科技、茂来光学、炬光科技、波长光电等。

6. 风险提示

技术迭代风险、行业景气度下行、行业竞争加剧、中美贸易摩擦加剧。