2023年中国半导体设备产业现状及发展趋势研究报告

CONTENT 半导体设备行业相关概述 中国半导体设备行业发展现状分析 中国半导体设备行业投融资动态分析 中国半导体设备行业重点企业分析 目·录 中国半导体设备行业潜在风险分析 中国半导体设备行业发展趋势分析 www.chyxx.com 服务热线：400-600-8596010-60343812 智研咨询 精品行研按告·专项定刷·月度专题·可研报告·商业计划一·产业观划三 INTELI6ENCE RESEARC4 GRSU 最全面的产业分析·可预见的行业趋势 www.chyxx.com 服务热线：400-600-8596010-60343812 半导体设备种类繁多，应用领域较为广泛 半导体设备是制造半导体器件所必需的精密仪器和设备，是半导体行业的基石。半导体设备在半导体制造中扮演着至关重要的角色，对干实现高效、高质量的半导体器件生产尤为重要。 当前，以半导体设备为代表的半导体产业已经成为我国战略性产业，它不仅仅是我国经济发展的战略方向，更是大国间 科技竞争的战略制高点。 半导体设备分类 根据用于工艺流程的不同，半导体 制造设备 封测设备 设备通常分为制造设备（前道设备】）和封测设备（后道设备】。 贴片机 光刻机 刻蚀机 划片机 前道设备主要包括光刻机、刻蚀机薄膜沉积设备、CMP设备、清洗设备、离子注入机设备、热处理设备等。后道设备主要分为封装设备和测试设备，封装设备主要包括划片机、贴片机、裂片机、引线键合机切筋成型机等；测试设备主要包括分选机、测试机、探针台等。 薄膜沉积设备 裂片机 分选机 CMP设备 测试机 探针台 清洗设备 离子汪入机． L 资栏来源：公开资格、智研咨询整理WW.ChyXX.COM 人工智能等新兴产业的崛起，推动半导体设备行业快速发展 ·早期发展阶段（1950-1970年）：集成电路等技术发展，推动半导体设备行业起步 半导体设备行业作为现代科技的核心支柱之一，其发展对于全球信息技术和电子工业格局产生了深远影响：从品体管的诞生到现今的纳来级芯片制造技术，半导体设备行业的每一次创新和突破都引领了信息时代的巨大飞跃。半导体本设备的发展历程不仅推动了科技进步，更是为各国经济增长和社会发展带来了前所未有的机遇。 半导体设备行业的起源可追溯至20世纪50年代，1950年，贝尔实验室成功研制出第一颗硅晶体管，标志看半导体 技术的诞生。随后，集成电路、平面工艺等关键技术的问世和不断进步，有力地推动了半导体设备行业的初步形成和持续发展。在这一阶段，光刻机、扩散炉、薄膜沉积设备和蚀刻设备等关键生产设备，为日后大规模集成电路的生产奠定坚实的基础。 资料天源：公开资料、智分咨询整理wWw.chyxx.com 人工智能等新兴产业的崛起，推动半导体设备行业快速发展 ·快速发展阶段（1980-1990年）：半导体设备行业向精细化、自动化方向发展 1980年，随着微处理器和存储器等复杂集成电路的大规模应用，对半导体设备提出了更高的要求。在这一时期，半导体设备行业开始向精细化、自动化方向迈进，通现出深紧外光刻机、离子注人机等精密设备，这些设备的出现：更得芯片线宽不断缩小，集成度大幅提高，推动了整个行业的技术进步。与此同时，全球半导体设备市场也在计速铲大，形成了以美国、白本为主导，欧洲、亚洲新兴市场快速崛起的竞争格局：这一时期的半导体设备行业经历了前所未有的发展机遇和挑战，为未来的技术革新和市场拓展奠定了坚实的基础： ·全球化与技术创新阶段（2000年-至今）：人工智能等产业兴起，推动半导体设备行业革新与发展 进入21世纪以来，随者人工智能、互联网、移动通信等新兴产业的蓬勃发展，半导体设备行业迎来了前所未有的新机遇。一方面，由于全球产业链深度整合，中国、韩国等地逐渐崛起为全球半导体设备产业的重要基地，并成为技术创新和产业发展的新引擎。另一方面，原子层沉积（ALD）、极紫外光刻（EUV）、3D封装等前沿技术的研发与 应用不断突破，为半导体设备行业带来了革新与发展的新动力。这些技术的不断进步不仅推动了半导体设备行业的发展，也为各国经济增长和社会进步注入了强大的动力。 资料文源：公开资料、智计咨询整理wrw.chyxx.com 》产业链：半导体设备上游原材料种类繁多，下游主要应用于半导体行业 从我国半导体设备产业链来看，半导体设备产业链上游主要为零部件及系统，零部件主要包括轴承、传感器、反应腔喷淋头、射频发生器、石英、机械臂、泵等；核心子系统主要包括气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、热管理系统、集成系统等。产业链中游主要为半导体设备，主要包括光刻机、刻蚀机、清洗设备、量测设备、分选机等。产业链下游主要为半导体制造，企业主要包括华润微电子、士兰微、通富微电、水晶光电等。 上游 机械臂、泵等。 分选机 核心子系统：气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、热管理系统、集成系统等。 薄膜沉积设备 》产业链上游：上游原材料产量持续增加，为半导体设备稳定供应提供保障 轴承作为半导体设备行业重要零部件，主要功能是支撑机械旋转体，减少运动摩擦，确保回转精度和生产销量。近年来，我国轴承产量持续增长，中国轴承工业协会数据显示，2022年我国轴承产量较上年同期增长11.16%，为259亿套。得益 于半导体行业持续发展，我国对半导体设备需求增加，带动轴承产量增长。随着半导体设备等行业需求持续增长，我压 轴承产量有望继续增长，预计2023年我国轴承产量将增长至2了0亿套 传感器主要分为温度传感器、压力传感器、图像传感器、烟雾传感器等，这些传感器在半导体制造过程中能够实现设备 的自动调节和优化，从而提高生产效率和质量控制水平。据统计，2022年我国传感器市场规模较上年同期增长10.82%，为329了亿元，得益于社会持续进步，叠加传感器相关扶持政策不断出台，推动传感器市场规模增长。预计2023年我国传 感器市场规模有望增长至3324.9亿元。 2018-2023年我国轴承产量及预测（单位：亿 2018-2023年中国传感器市场规模及预测（单 套} 位：亿元1 :i 250 200 0007. 150 1500 100 1000 500 2918 3:14 333.34F 资料米源：中国轩承工业协会、工信部智研咨询整理ww.chyxx.com 》产业链中游：光刻机销量持续增长，有助于建立和完善半导体设备产业供应链 从半导体设备细分产品来看，光刻机、得益于下游晶圆巨大需求、5G基础设 0264 381 含,.005% 》产业链下游：半导体设备需求快速增长，带动全球半导体行业销售额持续增加 半导体设备主要应用于半导体行业，半导体行业不仅是高新技术产业的基础和关键，同时也是全球经济发展的核心动力之一。当前，半导体行业在5G、物联网、人工智能等领域都有看广阔的应用前景。与此同时，全球客国数字化转型和科技创新步伐加快，对半导体设备需求不断提升，带动了全球半导体行业销售额增长。S1A数据显示，2023年1-10月，全 半导体行业销售额虽然呈现增长趋势，但与上年同期相比，客月销售额均有所下滑。然而，2023年11月，全球半导体行业销售额较上年同期增长5.3%，达到480亿美元，这是自2022年8月以来首次实现同比增长，这一数据表明，全球芯 片市场在2024年有望继续走强，S1A预测，2024年全球半导体市场将实现双位数增长。 Gartner数据显示，2022年全球半导体总收入较上年同期增长1.1%，为6016.94亿美元。其中，前十大半导体厂商分别 为三星电子、英特尔、SK海力士、高通、美光科技、博通、AMD、德州仪器、联发科技以及苹果，合计占比为461%：在前十大半导体厂商中，AMD表现最好，2022年收入同比增长42.9%，为232.85亿美元；英特尔表现相对较差，2022年 收入较上年同期下降19.5%，为583.73亿美元： 2023年1-11月全球半导体产业销售额【单位：亿美元 2022年全球T0P10半导体厂商收人（单位：亿美元） 400 SK海力 200 100 AM[: ：州 联发科表 共他 资料米温：SlA、Gartner、智研咨询整理ww.chyxx.con 智研咨询 精品行研按告·专项定刷·月度专题·可研报告·商业计划一·产业观划三 YTEL_IGENCE RESEARC4 GROU 最全面的产业分析·可预见的行业趋势 www.chyxx.com 服务热线：400-600-8596010-60343812 >政策持续利好行业发展，推动半导体设备国产化进程 我国半导体设备行业受到政策的持续利好，发展势头强劲。在“十二五”期间，太阳能光伏、平板显示等新领域的崛起 我国半导体行业逐步走向整体发展。2015年，国家出台《中国制造2025》，提出要形成关键制造设备的供货能力。 2021年，国家出台《“十四五”国家信息化规划》，提出要加快集成电路设计工具等特色工艺的突破，并加强集成电路 等关键前沿领域的战略研究布局和技术融通创新。政策的不断出台，为我国半导体设备行业的发展提供了强有力的支撑。 我国半导体设备政策发展历程 《中国制2025》 “十二五”期间 “十三五”期间 《集成电路产业“十二 “十四五”期间 2015年《中国制造 政策持续利好行业发展，半导体设备行业竞争力不断突破 集成电路政策红利释放为半导体设备行业注入强大动力，并为行业发展提供有力保障。在集成电路政策的持续支持下：半导体设备作为关键环节，为下游产业提供优质的加工与制造环境。随着产业支持、信息化发展等政策的鼓励下，半导本设备行业竞争力不断突破。 2023年国家层面半导体设备行业相关政第 国家发展改革委印发关于做好2023年享受税收优惠政策的集成电路企业或项自、软件企业清单制定工作有关要求的 通知》：提出本通知所称清单是指若干政策》第一条提及的国家鼓励的集成电路线宽小于28纳米含}、线宽小于65纳米（含、线宽小于130纳来含的集成电路生产企业或项自的清单。 2023年3月 财政部、税务总局印发关于集成电路企业增值税加计抵减政策的通知》：自2023年1月1日至2027年12月31日，允 许集成电路设计，生产、封测、装备、材料企业（以下称集成电路企业）：按照当期可抵扣进项税额加计15%抵臧应纳增值税税额（以下称加计抵减政第）。 2023年4月 工信部等五部门发布《制造业可靠性提升实施意见》：革点提升电子机装备用SOC/MCU/GPU等高端通用芯片、氮化镓/碳化硅等宽禁带半导体功率器件、新型敏感元件及传感器、高适应性传感器模组、北斗芯片与器件、高端射频器件、高端机电元器件、LED芯片等电子元器件的可靠性水平。 2023年6月 工信部就半导体设备集成电路制造用干法刻蚀设备测试方法》等196项行业标准公开征集意见：主要起草单位包括中国电子科技团公司第四十八研究所，中国电子技术标准化研究院，湖南楚微半导体科技有限公司，中微半导体设备（上海）有限公司等 2023年11月 资料文源：政府官网、智研咨询整理wirw.chyxx.com >政策持续利好行业发展，半导体设备行业竞争力不断突破 掌握相关企业经营状况，统计细分领域分类不够准确等突出问题等，进一步推动我国半导体设备行业的健康发展，为其提供更广阔的市场前景。 2023年地方层面半导体设备行业相关政 内蒙古自治区人民政府印发关于加快推进数字经济发展若干政策的递知：支持电子信息制造业发展，服务器及数 据中心相关设备、半导体、通信设备、智能终端、消费电子产品、传感器、光电、显示、元器件等列入自治区数字经 全球现状：前端设备占半导体设备比重最大，全球半导体设备出货金额出现下滑 SEM1数据显示，2022年全球半导体设备市场规模小幅增长4.27%，达到1074亿美元