2023年中国半导体设备产业现状及发展趋势研究报告

CONTENT 半导体设备行业相关概述 021中国半导体设备行业发展现状分析 中国半导体设备行业投融资动态分析 智研咨询 精品行研报告·专项定制·月度专题·可研报告·商业计划书·产业规划三 最全面的产业分析·可预见的行业趋势 www.chyxx.com 服务热线：400-600-8596010-60343812 半导体设备种类繁多，应用领域较为广泛 重要的角色，对干实现高效、高质量的半导体器件生产尤为重要。 当前、以半导体设备为代表的半导体产业已经成为我国战略性产业，它不仅仅是我国经济发展的战略方向，更是大国间 人工智能等新兴产业的崛起，推动半导体设备行业快速发展 全球化与技术创新阶段 早期发展阶段 快速发展阶段 （1980-1990年） 1950-1970年） （2000年-至今） 早期发展阶段（1950-1970年）：集成电路等技术发展，推动半导体设备行业起步 半导体设备行业作为现代科技的核心支柱之一，其发展对于全球信息技术和电子工业格局产生了深远影响。从晶体体本设备的发展历程不仅推动了科技进步，更是为各国经济增长和社会发展带来了前所未有的机遇。 半导体设备行业的起源可追溯至20世纪50年代，1950年，贝尔实验室成功研制出第一颗硅晶体管，标志着半导体 技术的诞生。随后，集成电路、平面工艺等关键技术的问世和不断进步，有力地推动了半导体设备行业的初步形成和持续发展。在这一阶段，光刻机、扩散炉、薄膜沉积设备和蚀刻设备等关键生产设备，为日后大规模集成电路的生产奠定坚实的基础。 人工智能等新兴产业的崛起，推动半导体设备行业快速发展 ·快速发展阶段（1980-1990年）：半导体设备行业向精细化、自动化方向发展 1980年，随看微处理器和存储器等复杂集成电路的天规模应用，对半导体设备提出了更高的要求。在这一时期，半 导体设备行业开始向精细化、自动化方向迈进，涌现出深紫外光刻机、离子注入机等精密设备，这些设备的出现， 使得芯片线宽不断缩小，集成度大幅提高，推动了整个行业的技术进步。与此同时，全球半导体设备市场也在速扩大，形成了以美国、日本为主导，欧洲、亚洲新兴市场快速崛起的竞争格局。这一时期的半导体设备行业经历了前所未有的发展机遇和挑战，为未来的技术革新和市场拓展奠定了坚实的基础。 全球化与技术创新阶段（2000年-至今）：人工智能等产业兴起，推动半导体设备行业革新与发展 进入21世纪以来，随着人工智能、互联网、移动通信等新兴产业的蓬勃发展，半导体设备行业迎来了前所未有的新机遇。一方面，由于全球产业链深度整合，中国、韩国等地逐渐崛起为全球半导体设备产业的重要基地，并成为技术创新和产业发展的新引擎。另一方面，原子层沉积（ALD）、极紫外光刻（EUV）、3D封装等前沿技术的研发与 应用不断突破，为半导体设备行业带来了革新与发展的新动力。这些技术的不断进步不仅推动了半导体设备行业的发展，也为各国经济增长和社会进步注入了强大的动力。 产业链：半导体设备上游原材料种类繁多，下游主要应用于半导体行业 从我国半导体设备产业链来看，半导体设备产业链上游主要为零部件及系统，零部件主要包括轴承、传感器、反应腔喷林头、射频发生器、石英、机械臂、泵等：核心子系统主要包括气液流量控制系统、真空系统、制程诊断系统、光学系统、热管理系统、集成系统等。产业链中游主要为半导体设备，主要包括光刻机、刻蚀机、清洗设备、量测设备、分选机等。产业链下游主要为半导体制造，企业主要包括华润微电子、士兰微、通富微电、水晶光电等。 上游 清洗设备 机械臂、泵等。 分选机 核心子系统：气液流量控制系统、真空系光学系统、热管理系 统、制程诊断系统、统、集成系统等。 薄膜沉积设备 产业链上游：上游原材料产量持续增加，为半导体设备稳定供应提供保障 抽承作为半导体设备行业重要零部件，主要功能是支撑机械旋转体，减少运动摩擦，确保回转精度和生产销量。近年来于半导体行业持续发展，我国对半导体设备需求增加，带动轴承产量增长。随看半导体设备等行业需求持续增长，我国 我国轴承产量持续增长，中国轴承工业协会数据显示，2022年我国轴承产量较上年同期增长11.16%，为259亿套。得益 轴承产量有望继续增长，预计2023年我国轴承产量将增长至270亿套。 传感器主要分为温度传感器、压力传感器、图像传感器、烟雾传感器等，这传感器在半导体制造过程中能够实现设备 的自动调节和优化，从而提高生产效率和质量控制水平。据统计，2022年我国传感器市场规模较上年同期增长10.82%， 为3297亿元，得益于社会持续进步，叠加传感器相关扶持政策不断出台，推动传感器市场规模增长。预计2023年我国传 感器市场规模有望增长至3324.9亿元。 2018-2023年我国轴承产及预测（单位：亿 2019年 2021年 2020年 2022年 2023年E 2019年 2020年 2021年 2022年 2023年E 2018年 2018年 产业链中游：光刻机销量持续增长，有助于建立和完善半导体设备产业供应链 得益干下游晶圆巨大需求、5G基础设 从半导体设备细分产品来看，光刻机、 封装设备， 6.00% 200 测试设备， 100 刻蚀设备， 9.00% 20.00% 薄膜沉积设 2019年 2020年 2018年 备，20.00% 产业链下游：半导体设备需求快速增长，带动全球半导体行业销售额持续增加 半导体设备主要应用于半导体行业，半导体行业不仅是高新技术产业的基础和关键，同时也是全球经济发展的核心动力之一。当前，半导体行业在5G、物联网、人工智能等领域都有着广的应用前景。与此同时，全球各国数字化转型和科 技创新步伐加快，对半导体设备需求不断提升，带动了全球半导体行业销售额增长。SIA数据显示，2023年1-10月，全 球半导体行业销售额虽然呈现增长趋势，但与上年同期相比，各月销售额均有所下滑。然而，2023年11月，全球半导体行业销售额较上年同期增长5.3%，达到480亿美元，这是自2022年8月以来首次实现同比增长，这一数据表明，全球芯 片市场在2024年有望继续走强，SIA预测，2024年全球半导体市场将实现双位数增长。 Gartner数据显示，2022年全球半导体总收入较上年同期增长1.1%，为6016.94亿美元。其中，前十天半导体厂商分别 为三星电子、英特尔、SK海力王、高通、美光科技、博通、AMD、德州仪器、联发科技以及苹果，合计占上比为46.1%在前十大半导体厂商中，AMD表现最好，2022年收入同比增长42.9%，为232.85亿美元：英特尔表现相对较差，2022年 收入较上年同期下降19.5%，为583.73亿美元。 2023年1-11月全球半导体产业销售额（单位：亿美元） 600 500 300 200 100 智研咨询 精品行研报告·专项定制·月度专题·可研报告·商业计划书·产业规划三 最全面的产业分析·可预见的行业趋势 服务热线：400-600-8596010-60343812 www.chyxx.com 》政策持续利好行业发展，推动半导体设备国产化进程 我国半导体设备行业受到政策的持续利好，发展势头强劲。在“十二五”期间，太阳能光伏、平板显示等新领域的崛起 我国半导体行业逐步走向整体发展。2015年，国家出台《中国制造2025》，提出要形成关键制造设备的供货能力。 2021年，国家出台《“十四五”国家信息化规划》，提出要加快集成电路设计工具等特色工艺的突破，并加强集成电路 等关键前沿领域的战略研究布局和技术融通创新。政策的不断出台，为我国半导体设备行业的发展提供了强有力的支撑。 我国半导体设备政策发展历程 《中国制2025》 “十三五”期间 《集成电路产业“十三 “十四五”期间 《“十四五”国家信息 “十二五”期间 2015年，《中国制造 政府对集成电路产业大 化规划》提出加强集成 政策持续利好行业发展，半导体设备行业竞争力不断突破 体设备行业竞争力不断突破。 2023年国家层面半导体设备行业相关政策 国家发展改革委印发《关于做好2023年享受税收优惠政策的集成电路企业或项目、软件企业清单制定工作有关要求的 通知》：提出本通知所称清单是指《若干政策》第（一）条提及的国家鼓励的集成电路线宽小于28纳米（含）、线宽小于 2023年3月 65纳米（含）、线宽小于130纳米（含）的集成电路生产企业或项目的清单。 财政部、税务总局印发《关于集成电路企业增值税加计抵减政策的通知》：自2023年1月1日至2027年12月31日，充 许集成电路设计、生产、封测、装备、材料企业（以下称集成电路企业），按照当期可抵扣进项税额加计15%抵减应纳增值税税额（以下称加计抵减政策）。 2023年4月 工信部等五部门发布《制造业可靠性提升实施意见》：重点提升电子整机装备用SoC/MCU/GPU等高端通用芯片、氮 化/碳化硅等宽禁带半导体功率器件、新型敏感元件及传感器、高适应性传感器模组、北斗芯片与器件、高端射频器 2023年6月 件、高端机电元器件、LED芯片等电子元器件的可靠性水平。 中国电子科技集团公司第四十八研究所，中国电子技术标准化研究院，湖南楚微半导体科技有限公司，中微半导体设 2023年11月 备（上海）有限公司等。 政策持续利好行业发展，半导体设备行业竞争力不断突破 我国地方也不断出台半导体设备相关政策，包括支持电子信息制造业发展、建设若干集成电路公共服务平台等，并及时掌握相关企业经营状况，统计细分领域分类不够准确等突出问题等，进一步推动我国半导体设备行业的健康发展，为其提供更广阔的市场前景。 2023年地方层面半导体设备行业相关政策 内蒙古自治区人民政府印发《关于加快推进数字经济发展若干政策的通知》：支持电子信息制造业发展，服务器及数据中心相关设备、半导体、通信设备、智能终端、消费电子产品、传感器、光电、显示、元器件等列入自治区数字经 全球现状：前端设备占半导体设备比重最大，全球半导体设备出货金额出现下滑 SEM数据显示，2022年全球半导体设备市场规模小幅增长4.27%，达到1074亿美元。其中，品圆制造设备市场规 200 2021年 2023年E 2024年E 2022年 封装设备测试设备品圆制造设备 根据各地区半导体设备季度变化数据来看，中国大陆半导体设备销售额逆势增长，已经连续在2023年第二季度和第三季度位居全球最大半导体设备市场。2023年第一季度，在宏观经济逆风以及行业环境充满挑战的背景下，中国大陆半导体 中国大陆半导体设备销售额达75.5亿美元，成为全球半导体设备销售最多的地区。2023年第三季度，由于芯片需求短缺全球半导体设备销售额出现下滑。但由于中国对于成熟制程技术需求强劲，在半导体行业具有弹性和长期增长潜力。 2023年各李度全球半导体设备销售额地域分布（单位：亿美元） 由内到外依次是 2023年Q1→2023年Q2→2023年Q3 》中国现状：半导体设备市场规模不断扩大，国产化率有望持续提升 半导体设备作为半导体产业的基础和先导产业，具有研发周期长、设备价值高、技术壁垒高等特点，是半导体产业的关键环节。近年来，在下游快速发展的推动下，我国半导体设备行业保持快速增长。据统计，2022年中国大陆半导体设备 市场规模较上年同期小幅下降4.6%至282.7亿美元：中国台湾半导体设备市场规模较上年同期增长8%至268.2亿美元。 2023年前三季度，中国大陆半导体设备市场规模达到244.7亿美元：中国台湾半导体设备市场规模达到153.2亿美元。 随着A、物联网、5G等科技的崛起、中国大陆对半导体设备需求猛增。据统计，2022年中国大陆半导体设备市场规模占全球的26.32%，仅次千中国台湾，我国天陆地区已经连续三