️中信主题策略刘易团队-技术跃迁专题系列之“EUV光源”主题新鲜出炉：源头活水

⚡中信主题策略刘易团队-技术跃迁专题系列之“EUV光源”主题新鲜出炉：源头活水，换道超车□ #引子：光源决定光刻机高度，回顾光刻机发展历史，ASML正是选择了激进光源技术才实现了换道超车。 SR光源和EUV光源均属于软X射线波段，但由于SR光源束团长度较长，产生的光相干性较差功率较小，限制了其在工业领域的大规模量产，SR光刻仅停留在实验室阶段。 #SSMB方案极具潜力， ⚡中信主题策略刘易团队-技术跃迁专题系列之“EUV光源”主题新鲜出炉：源头活水，换道超车□ #引子：光源决定光刻机高度，回顾光刻机发展历史，ASML正是选择了激进光源技术才实现了换道超车。 SR光源和EUV光源均属于软X射线波段，但由于SR光源束团长度较长，产生的光相干性较差功率较小，限制了其在工业领域的大规模量产，SR光刻仅停留在实验室阶段。 #SSMB方案极具潜力，SSMB存储环中的自由电子激光具有束团品质高、波长连续可调、相干性强，有望大幅提高光束相干性，克服SR光源功率不足的问题，是极具潜力的EUV光源方案之一。 #参照同步辐射光源、若SSMB方案实施有望基本实现自主可控。 HEPS加速器的电子枪、微波功率源、配套仪器等供应商基本以国内厂商为主，但真空系统配套设备组件采购仍较大程度依赖海外厂商。#投资策略：建议关注项目基础设施供应商、光刻机关键零部件供应商。 我国在同步辐射光源领域基础较好，HEPS项目已完成光源出束。 虽然SSMB方案仍未进入建设期，项目仍有较大不确定性，但我们认为HEPS供应商与SSMB具有可比性，梳理HEPS项目供应商具有一定合理性 ��� ���主线一，项目基础设施供应商，推荐英杰电气、宝胜股份，建议关注爱科赛博、国光电气； ���主线二，光刻机关键零部件供应商，建议关注福晶科技、腾景科技、茂莱光学、波长光电。