气体行业月报：利好事件持续落地晶圆厂逆周期扩产，2023年半导体行业景气度扭转，推动电子特气价格整体上涨

重点推荐：凯美特气。 建议关注：华特气体，和远气体，硅烷科技，侨源股份，雅克科技，正帆科技。 需求回暖各类气体价格好转，5N纯度氪气3月均价较2月+39.94%。截止2023年3月31日，1）氙气：5N纯度氙气3月均价20.35万元/立方米，较2月均价上升7.33%；2）氪气：5N纯度氪气3月均价2633.87元/立方米，较2月均价上升39.94%；3）氖气：5N纯度氖气3月均价550元/立方米，较2月均价上升14.07%；4）氦气：40L瓶装高纯氦气3月均价2126.44元/瓶，较2月均价下降4.12%。受下游需求回暖影响，价格有望持续上升。 利好事件持续落地晶圆厂逆周期扩产，2023年半导体行业景气度扭转。 近期利好事件频出：1）大基金二期入股长江存储。长江存储注册资本金由562.7亿余元，大幅增加至1052.7亿余元。其中大基金二期认缴出资近128.87亿元，持股比例为12.24%。大基金的入股增资有望支持长江存储恢复扩产。2）国务院副总理调研集成电路企业发展。国务院副总理刘鸽在北京调研集成电路企业发展并主持召开座谈会，指出发展集成电路产业必须发挥新型举国体制优势，凸显出国家发展半导体行业的决心。3）ASML发布《关于额外出口管制的声明》称，当前荷兰政府出台的额外出口管制仅包括“最先进”的设备。此次ASML的官方声明好于市场整体悲观预期，证实全面禁售浸没式DUV的概率较低，先进制程扩产有望恢复正轨。2023年扩产有望超预期，受益于当前大背景，国产化率低的设备及材料板块将充分受益，推动国产替代进入加速期。 PMI持续位于扩张区间，制造业景气面扩大，半导体景气度扭转。2023年2月份，中国制造业采购经理指数（PMI）为52.6%，较1月增长2.5个百分点，持续位于扩张区间，制造业景气面继续扩大，拉动生产经营活动恢复势头。2月份，稳经济政策措施效应进一步显现，叠加疫情影响消退、企业复工复产加速等有利因素，我国经济景气水平将继续回升，推动大宗气体及特种气体在内的工业气体需求有力上涨。 关注双碳环保产业安全系列投资机遇。供应链安全：电子特气国产替代迫切，保障半导体产业链安全。电子特气为晶圆制造中第二大耗材，占晶圆制造材料成本13%。我国电子特气国产化率仅15%。受下游产业蓬勃发展和国家政策的双重驱动，我国特气企业正加快攻克瓶颈问题，打破国外厂商垄断。重点推荐：【凯美特气】充盈特气品类&加速突破客户认证订单有望放量，巴陵9万 Nm3 稀有气体提取装置2023Q2投产实现稀有气体原料自给。建议关注：【华特气体】。 最新研究：凯美特气：获头部光刻机激光设备厂商认证，彰显综合实力电子特气驱动新一轮成长。安全系列研究1：被忽略的强逻辑：双碳环保显著的“安全价值”。凯美特气深度：食品级二氧化碳龙头，电子特气发展势头强劲驱动公司新一轮成长期。氦气：气体黄金进口依赖97.5%，国产替代加速，碳中和约束供应资源端重估。 风险提示：下游需求不及预期，项目研发不及预期，市场价格波动风险 1.工业气体价格复盘 需求回暖各类气体价格好转，5N纯度氪气3月均价较2月+39.94%。截止2023年3月31日，5N纯度氙气3月均价20.35万元/立方米，较2月均价上升7.33%；5N纯度氪气3月均价2633.87元/立方米，较2月均价上升39.94%；5N纯度氖气3月均价550元/立方米，较2月均价上升14.07%；40L瓶装高纯氦气3月均价2126.44元/瓶，较2月均价下降4.12%。 图1：氪、氖、氙气2023年3月价格走势（元/立方米） 图2：40L瓶装高纯氦气2023年3月价格走势（元/瓶） 2.近期热点新闻 2.1.工信部：壮大数字经济核心产业，推动集成电路、工业软件产业高质量发展 2023年3月14日，工业和信息化部党组书记、部长金壮龙主持召开党组会议和干部大会，传达学习贯彻习近平总书记重要讲话精神和全国两会精神，研究部署贯彻落实举措。 金壮龙要求，要抓好开局之年工作，坚决落实《党和国家机构改革方案》，加强协同配合，强化履职能力，不折不扣把机构改革任务落到实处。健全产业科技创新体系，强化企业创新主体地位，推进创新链产业链资金链人才链深度融合，促进科技成果高效转化。加快实施“十四五”规划重大工程项目，发挥重点地区作用，稳住重点行业发展，巩固工业经济回升向好势头。提升产业链供应链韧性和安全水平，稳步实施关键核心技术攻关工程，加快推进产业基础再造工程和重大装备攻关工程，加强产业链关键环节产能储备和备份。推动制造业高端化、智能化、绿色化发展，大力发展战略性新兴产业，加快传统产业和中小企业数字化转型，深化质量品牌建设，积极推行绿色制造、智能制造，扎实推进重点领域节能降碳。切实落实“两个毫不动摇”，持续优化中小企业发展环境，促进大中小企业融通创新，激发涌现更多专精特新企业。加快5G、工业互联网等新型信息基础设施建设和应用，壮大数字经济核心产业，推动集成电路、工业软件产业高质量发展，积极培育新业态新模式。深化“放管服”改革，优化产业政策实施方式，更大力度吸引和利用外资，为产业发展营造良好环境。 2.2.国资委：更大力度布局前瞻性战略性新兴企业，在集成电路等领域加快补短板强弱项 3月16日，国资委在人民论坛发表署名文章《国企改革三年行动的经验总结与未来展望》，国资国企将全面贯彻党的二十大精神和中央经济工作会议部署，以提高企业核心竞争力和增强核心功能为重点，深入实施新一轮国企改革深化提升行动，坚定不移推动国有资本和国有企业做强做优做大，在建设现代化产业体系、构建新发展格局中发挥更大作用。其中，围绕增强产业引领力深化改革，更好推动现代化产业体系建设。更大力度布局前瞻性战略性新兴产业。加大新一代信息技术、人工智能、新能源、新材料、生物技术、绿色环保等产业投资力度，在集成电路、工业母机等领域加快补短板强弱项，促进支撑国家算力的相关产业发展，推动传统产业数字化智能化绿色化转型升级。 2.3.ASML发布声明称，当前荷兰政府出台的额外出口管制仅包括“最先进”的设备。 当地时间3月8日晚间，荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔在致荷兰议员的一封信中称，“鉴于技术发展和地缘政治背景，政府得出结论，为了（国际）国家安全，有必要扩大对特定半导体制造设备的现有出口管制。”施赖纳马赫尔宣称，荷兰政府希望阻止荷兰技术被用于军事系统或大规模杀伤性武器（这与美国去年10月实施出口管制的理由类似），同时希望保持“荷兰的技术领先地位”，为此将建立国家出口管制清单。 这封信并未提及任何国家和公司，但美国政治新闻网站《政客》（Politico）认为，荷兰此举是迫于美国的压力。就在本月初中荷外长会面时，荷兰外交大臣胡克斯特拉还表示，荷兰将继续根据本国利益在具体项目上独立作出判断。实施新出口管制，显然会对荷兰半导体设备企业造成影响，尤其是光刻机巨头ASML。施赖纳马赫尔在前述信中透露，新的出口管制措施包括最先进的DUV，这些措施将在今年夏天之前实施。 3月9日上午，荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)发布声明表示，ASML预计必须申请许可证方可出口最先进的浸润式DUV设备。同时公司还表示“新的出口管制措施并不针对所有浸润式光刻系统，先进程度相对较低的浸润式光刻系统已能很好满足成熟制程为主的客户的需求。 2.4.集成电路：国务院副总理刘鹤调研集成电路企业并主持召开座谈会 新华社北京3月2日电国务院副总理刘鹤2日在北京调研集成电路企业发展并主持召开座谈会。 刘鹤指出，习近平总书记高度重视集成电路产业发展，多次作出重要指示批示，我们一定要认真学习领会、深入贯彻落实。集成电路是现代化产业体系的核心枢纽，关系国家安全和中国式现代化进程。我国已形成较完整的集成电路产业链，也涌现了一批优秀企业和企业家，在局部已形成了很强的能力。尤其是我国拥有庞大的芯片消费市场和丰富的应用场景，这是市场经济下最宝贵的资源，是推动集成电路产业发展的战略性优势。 刘鹤强调，发展集成电路产业必须发挥新型举国体制优势，用好政府和市场两方面力量。政府要制定符合国情和新形势的集成电路产业政策，设定务实的发展目标和发展思路，帮助企业协调和解决困难，在市场失灵的领域发挥好组织作用，引导长期投资，对国内人才给予一视同仁的优惠政策，对外籍专家给予真正的国民待遇，帮助企业加快引进和培养人才。与此同时，必须高度重视发挥市场力量和产业生态的重要作用，建立企业为主体的攻关机制，依靠企业家实现集成电路产业的健康发展，特别要善于发现和珍惜既懂技术又有很强组织能力的领军人才，给予他们充分的发挥空间。必须始终坚持国际合作，广交朋友，扩大开放，坚定维护全球产业链供应链稳定。 3.制造业景气面扩大，半导体行业景气度扭转 PMI持续位于扩张区间，制造业景气面扩大，工业气体行业需求高涨。根据国家统计局数据显示，2023年2月份，中国制造业采购经理指数（PMI）为52.6%，较1月增长2.5个百分点，持续位于扩张区间，各分类指数均高于1月，制造业景气面继续扩大，拉动生产经营活动恢复势头。2月份，稳经济政策措施效应进一步显现，叠加疫情影响消退、企业复工复产加速等有利因素，我国经济景气水平将继续回升，推动大宗气体及特种气体在内的工业气体需求有力上涨。 图3：我国制造业采购经理指数（PMI） 利好事件持续落地晶圆厂逆周期扩产，2023年半导体行业景气度扭转。近期利好事件频出：1）大基金二期入股长江存储。长江存储注册资本金由562.7亿余元，大幅增加至1052.7亿余元。其中大基金二期认缴出资近128.87亿元，持股比例为12.24%。 大基金的入股增资有望支持长江存储恢复扩产，存储芯片产能放量与国产替代有望加速。 2）国务院副总理调研集成电路企业发展。国务院副总理刘鸽在北京调研集成电路企业发展并主持召开座谈会，指出发展集成电路产业必须发挥新型举国体制优势，用好政府和市场两方面力量，凸显出国家发展半导体行业的决心。3）ASML发布声明好于市场悲观预期。ASML发布《关于额外出口管制的声明》称，当前荷兰政府出台的额外出口管制仅包括“最先进”的设备。此次ASML的官方声明好于市场整体悲观预期，证实全面禁售浸没式DUV的概率较低，先进制程扩产有望恢复正轨。此外，自美国制裁以来，市场悲观情绪目前已经得到充分释放，叠加大陆部分头部晶圆厂逆周期扩产，2023年扩产有望超预期，受益于当前大背景，国产化率低的设备及材料板块将充分受益，从而推动国产替代进入加速期。 当前全球正在进行第三次半导体产业转移，这无疑是我国半导体产业发展的重要机遇。据SEMI预测，2020-2024年全球8寸晶圆总产能将增长18%，12寸晶圆总产能将增长48%。我国晶圆厂国产化水平急需提升，众多国内半导体企业纷纷布局晶圆厂扩产。半导体材料与晶圆厂具备伴生性，随着晶圆厂的加速扩建与产能的持续放量，本土材料厂商将直接受益于中国大陆晶圆制造产能扩张。 图4：2015-2020年全球晶圆产能转移情况 晶圆厂扩产明确，拉动上游电子特气需求不断增长。据JW Insights预计，2022年我国大陆共有23座12寸晶圆厂正在投入生产，总计月产能约为104.2万片，同时JW Insighsts预计未来五年我国大陆还将新增25座12寸晶圆厂，这些晶圆厂总规划月产能将超过160万片。截至2026年底，中国12英寸晶圆厂的总月产能有望超过276.3万片，相比2022年提高165.1％，对应四年CAGR为28.8%。晶圆厂扩产明确，拉动上游电子特气需求不断增长。 表1：2023年国内主要晶圆厂扩产情况 国内主流面板制造商TFT-LCD产能均在持续扩张。据omdia预测，我国大陆面板总产能将自2022年的216.8百万平方米增长至2025年的255.4百万平方米，四年大陆面板复合增速将达到4.18%，全球半导体产业正在积极向中国转移。 表2：2023年大陆面板制造商TFT-LCD产能（百万平方米） 国内主流面板厂大力投入项目扩产，以求在未来半导体市场抢占先机。京东方20