气体行业月报：利好事件持续落地晶圆厂逆周期扩产，2023年半导体行业景气度扭转，推动电子特气价格整体上涨

证券研究报告·行业月报·环保 东吴证券研究所 1 / 18 请务必阅读正文之后的免责声明部分 气体行业月报 利好事件持续落地晶圆厂逆周期扩产，2023年半导体行业景气度扭转，推动电子特气价格整体上涨 2023年04月13日 证券分析师 袁理 执业证书：S0600511080001 021-60199782 yuanl@dwzq.com.cn 研究助理 朱自尧 执业证书：S0600121080040 zhuzy@dwzq.com.cn 行业走势 相关研究 《《湖北省新污染物治理工作方案》发布，加强新污染物治理能力》 2023-04-12 《中特估推动环保国企价值重估，CCER方法学公开征集重启渐行渐近》 2023-04-12 增持（维持） [Table_Tag] [Table_Summary] 投资要点 ◼ 重点推荐：凯美特气。 ◼ 建议关注：华特气体，和远气体，硅烷科技，侨源股份，雅克科技，正帆科技。 ◼ 需求回暖各类气体价格好转，5N纯度氪气3月均价较2月+39.94%。截止2023年3月31日，1）氙气：5N纯度氙气3月均价20.35万元/立方米，较2月均价上升7.33%；2）氪气：5N纯度氪气3月均价2633.87元/立方米，较2月均价上升39.94%；3）氖气：5N纯度氖气3月均价550元/立方米，较2月均价上升14.07%；4）氦气：40L瓶装高纯氦气3月均价2126.44元/瓶，较2月均价下降4.12%。受下游需求回暖影响，价格有望持续上升。 ◼ 利好事件持续落地晶圆厂逆周期扩产，2023年半导体行业景气度扭转。近期利好事件频出：1）大基金二期入股长江存储。长江存储注册资本金由562.7亿余元，大幅增加至1052.7亿余元。其中大基金二期认缴出资近128.87亿元，持股比例为12.24%。大基金的入股增资有望支持长江存储恢复扩产。2）国务院副总理调研集成电路企业发展。国务院副总理刘鸽在北京调研集成电路企业发展并主持召开座谈会，指出发展集成电路产业必须发挥新型举国体制优势，凸显出国家发展半导体行业的决心。3）ASML发布《关于额外出口管制的声明》称，当前荷兰政府出台的额外出口管制仅包括“最先进”的设备。此次ASML的官方声明好于市场整体悲观预期，证实全面禁售浸没式DUV的概率较低，先进制程扩产有望恢复正轨。2023年扩产有望超预期，受益于当前大背景，国产化率低的设备及材料板块将充分受益，推动国产替代进入加速期。 ◼ PMI持续位于扩张区间，制造业景气面扩大，半导体景气度扭转。2023年2月份，中国制造业采购经理指数（PMI）为52.6%，较1月增长2.5个百分点，持续位于扩张区间，制造业景气面继续扩大，拉动生产经营活动恢复势头。2月份，稳经济政策措施效应进一步显现，叠加疫情影响消退、企业复工复产加速等有利因素，我国经济景气水平将继续回升，推动大宗气体及特种气体在内的工业气体需求有力上涨。 ◼ 关注双碳环保产业安全系列投资机遇。供应链安全：电子特气国产替代迫切，保障半导体产业链安全。电子特气为晶圆制造中第二大耗材，占晶圆制造材料成本13%。我国电子特气国产化率仅15%。受下游产业蓬勃发展和国家政策的双重驱动，我国特气企业正加快攻克瓶颈问题，打破国外厂商垄断。重点推荐：【凯美特气】充盈特气品类&加速突破客户认证订单有望放量，巴陵9万Nm3稀有气体提取装置2023Q2投产实现稀有气体原料自给。建议关注：【华特气体】。 ◼ 最新研究：凯美特气：获头部光刻机激光设备厂商认证，彰显综合实力电子特气驱动新一轮成长。安全系列研究1：被忽略的强逻辑：双碳环保显著的“安全价值”。凯美特气深度：食品级二氧化碳龙头，电子特气发展势头强劲驱动公司新一轮成长期。氦气：气体黄金进口依赖 97.5%，国产替代加速，碳中和约束供应资源端重估。 ◼ 风险提示：下游需求不及预期，项目研发不及预期，市场价格波动风险 -15%-13%-11%-9%-7%-5%-3%-1%1%3%5%7%2022/4/132022/8/122022/12/112023/4/11环保沪深300 请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所 行业月报 2 / 18 内容目录 1. 工业气体价格复盘 ..................................................................................................................... 4 2. 近期热点新闻 ............................................................................................................................. 4 2.1. 工信部：壮大数字经济核心产业，推动集成电路、工业软件产业高质量发展 ................ 4 2.2. 国资委：更大力度布局前瞻性战略性新兴企业，在集成电路等领域加快补短板强弱项 5 2.3. ASML发布声明称，当前荷兰政府出台的额外出口管制仅包括“最先进”的设备。 ............ 5 2.4. 集成电路：国务院副总理刘鹤调研集成电路企业并主持召开座谈会 ................................ 6 3. 制造业景气面扩大，半导体行业景气度扭转 ............................................................................ 7 4. 最新研究 .................................................................................................................................. 12 4.1. 凯美特气获头部光刻机激光设备厂商认证，彰显综合实力电子特气驱动新一轮成长 .. 12 4.2. 被忽略的强逻辑：双碳环保显著的“安全价值” ................................................................... 13 4.3. 凯美特气：食品级二氧化碳龙头，电子特气发展势头强劲驱动公司新一轮成长期 ...... 14 4.4. 九丰能源：LNG“海陆双气源”布局完善，制氢&加氢优势打开广东、川渝氢能市场 ....... 15 4.5. 氦气：气体黄金进口依赖 97.5%，国产替代加速，碳中和约束供应资源端重估 .......... 16 5. 投资建议 .................................................................................................................................. 17 6. 风险提示 .................................................................................................................................. 17 oPnOnNxOxPtMqPsNmPqPmOaQ9RbRpNrRnPoNiNpPnRkPqRsO9PqRnRxNqMoNvPnOwP 请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所 行业月报 3 / 18 图表目录 图1： 氪、氖、氙气2023年3月价格走势（元/立方米）............................................................... 4 图2： 40L瓶装高纯氦气2023年3月价格走势（元/瓶）................................................................ 4 图3： 我国制造业采购经理指数（PMI）............................................................................................. 7 图4： 2015-2020年全球晶圆产能转移情况........................................................................................ 8 表1： 2023年国内主要晶圆厂扩产情况.............................................................................................. 9 表2： 2023年大陆面板制造商TFT-LCD产能（百万平方米）........................................................ 10 表3： 2023年国内主流面板厂扩产情况............................................................................................ 11 请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所 行业月报 4 / 18 1. 工业气体价格复盘 需求回暖各类气体价格好转，5N纯度氪气3月均价较2月+39.94%。截止2023年3月31日，5N纯度氙气3月均价20.35万元/立方米，较2月均价上升7.33%；5N纯度氪气3月均价2633.87元/立方米，较2月均价上升39.94%；5N纯度氖气3月均价550元/立方米，较2月均价上升14.07%；40L瓶装高纯氦气3月均价2126.44元/瓶，较2月均价下降4.12%。 图1：氪、氖、氙气2023年3月价格走势（元/立方米） 图2：40L瓶装高纯氦气2023年3月价格走势（元/瓶） 数据来源：卓创资讯，东吴证券研究所 数据来源：卓创资讯，东吴证券研究所 2. 近期热点新闻 2.1. 工信部：壮大数字经济核心产业，推动集成电路、工业软件产业高质量发展 2023年3月14日，工业和信息化部党组书记、部长金壮龙主持召开党组会议和干部大会，传达学习贯彻习近平总书记重要讲话精神和全国两会精神，研究部署贯彻落实举措。 金壮龙要求，要抓好开局之年工作，坚决落实《党和国家机构改革方案》，加强协同配合，强化履职能力，不折不扣把机构改革任务落到实处。健全产业科技创新体系，强化企业创新主体地位，推进创新链产业链资金链人才链深度融合，促进科技成果高效转化。加快实施“十四五”规划重大工程项目，发挥重点地区作用，稳住重点行业发展， 请务必阅读正文之后的免责声明部分 东吴证券研究所 行业月报 5 / 18 巩固工业经济回升向好势头。提升产业链供应链韧性和安全水平，稳步实施关键核心技术攻关工程，加快推进产业基础再造工程和重大装备攻关工程，加强产业链关键环节产能储备和备份。推动制造业高端化、智能化、绿色化发展，大力发展战略性新兴产业，加快传统产业和中小企业数字化转型，深化质量品牌建设，积极推行绿色制造、智能制造，扎实推进重点领域节能降碳。切实落实“两个毫不动摇”，持续优化中小企业发展环境，促进大中小企业融通创新，激发涌现更多专精特新企业。加快5G、工业互联网等新型信息基础设施建设和应用，壮大数字经济核心产业，推动集成电路、工业软件产业高质量发展，积极培育新业态新模式。深化“放管服”改革，优化产业政策实施方式，更大力度吸引和利用外资，为产业发展营造良好环境。 2.2. 国资委：更大力度布局前瞻