半导体设备行业年报一季报总结：2020业绩高增，晶圆厂新一轮扩产周期利好设备商

本研报总结了2020年和2021年一季度半导体设备行业的业绩表现和行业发展趋势。2020年，半导体设备行业在疫情背景下实现了业绩的正向高速增长，营收和归母净利润分别增长了26%和47%。2021年一季度，行业延续了高增长态势，营收和归母净利润分别增长了61%和273%。报告还预测了半导体设备行业的未来发展趋势，认为半导体行业处于上升周期，设备厂商将持续受益。晶圆厂资本开支持续扩张，带动设备需求上升。各关键设备的国产化水平差异明显，总体来看，氧化设备实现50%以上的国产化率；而薄膜沉积、测试设备国产化水平较低，分别为3%和4%，国产化率上升空间大。报告推荐了中微公司、北方华创、至纯科技、华峰测控和华兴源创等公司。