全球半导体设备与零部件行业2022年三季报总结：技术主权之争主导设备需求，半导体设备进口替代是主旋律

2022年11月6日 行业研究 技术主权之争主导设备需求，半导体设备进口替代是主旋律 ——全球半导体设备与零部件行业2022年三季报总结 要点 国内半导体设备上市公司业绩加速增长。3Q22半导体设备行业总收入同比增长65%，其中芯源微单季度收入增速最快，达到100%，盛美上海单季度收入同比增长91%，拓荆科技单季度收入同比增长79%，北方华创单季度收入45.68亿元，同比增长78%。 国内半导体设备盈利能力持续提升。3Q22半导体设备行业的扣非净利率平均值19.0%，2017-2021、1H2022扣非净利率依次是-4.3%、3.4%、4.5%、4.4%、 11.1%、17.7%，逐年上升趋势显著。3Q22，国内半导体设备行业平均毛利率达到45.4%，2017-2021、1H2022毛利率依次是41.4%、41.1%、41.6%、40.4%、 43.9%、48.7%，第三季度毛利率略有下降。 国内半导体设备上市公司订单普遍高增长。盛美上海2022年第三季度末，在手 订单总金额46.44亿元，去年三季末22.62亿元，同比增长105%；中微公司 2022年前三季度新签订单金额56.40亿元，同比增长60.2%；晶盛机电2022年第三季度末，未完成半导体设备合同（含税）24.6亿元，相比去年末在手订单10.68亿元增加1倍以上。 合同负债、存货均大幅增长。2022年三季度末，各家前道设备的合同负债普遍延续增长趋势，对比二季度末仍有增幅较大的是盛美、中微、北方华创，而后道封装测试设备长川科技、华峰测控的合同负债均有一定下滑。2022年三季度末，各家上市公司存货较二季度末均有较大幅度增长，其中增幅较大的依次是拓荆科技、中微公司、长川科技、盛美上海、华海清科、芯源微、北方华创。 半导体零部件布局成形，业绩显著放量。市场上有两类半导体零部件企业，一类是主营业务全部来自半导体零部件业务，例如富创精密、珂玛科技、沈阳中 机械行业 买入（维持） 作者分析师：杨绍辉 执业证书编号：S0930522060001021-52523860 yangshaohui@ebscn.com 分析师：陈佳宁 执业证书编号：S0930512120001 021-52523851 chenjianing@ebscn.com 联系人：林映吟 linyingyin@ebscn.com 行业与沪深300指数对比图 10% -1% -11% -22% -33% 09/2112/2104/2207/22 科仪，一类是半导体零部件是企业的新业务板块，例如江丰电子、神工股份、机械行业沪深300 新莱应材等，此类零部件企业中的零部件收入占比持续提升。经历多年技术储 备和验证后，2022年起半导体零部件业务呈现快速增长趋势。 22年前三季度国际制程设备业绩保持较快增速，但封测设备业绩普遍下行。根据各公司最新公告及四季度业绩预告中值计算，预计2022自然年ASML、TEL、LamResearch、KLA销售收入增速依次是13%、20%、14%、26%，单片ALD设备龙头ASM收入增速保持30%以上，成长性高，离子注入机Axcelis也保持了较高增速。测试设备方面，2022自然年前三季度日本测试机龙头Advantest保持了高速增长，与美国测试机龙头Teradyne负增长形成鲜明对比。封装设备中，Besi、K&S、ASMPacific的第三季度收入呈现大幅负增长，且在第四季度仍持续下滑，体现全球封装行业显著收缩了资本开支计划。 投资建议：关注半导体设备厂商中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科、北方华创、芯源微、华峰测控、长川科技、万业企业、精测电子、天准科技、华兴源创、快克股份、德龙激光、光力科技；关注半导体零部件厂商新莱应材、英杰电气、正帆科技、富创精密、汉钟精机、江丰电子、盛剑环境、华亚智能。 风险分析：外部环境不确定性风险，技术迭代风险，美国进一步限制关键设备和零部件出口的风险。 资料来源：Wind 相关研报光伏设备和半导体设备业绩表现强劲，国内晶圆代工龙头逆周期加大投资力度 ——机械行业周报2022年第35周（8.21-8.27新能源汽车拉动碳化硅快速增长，四川工业企业让电于民反映电力系统配储紧迫 ——机械行业周报2022年第34周（8.14-8.20中微公司陆续布局LPCVD等新产品，美国芯片法案后再次加大EDA、半导体材料的出口限制— —机械行业周报2022年第33周（8.7-8.13） （2022-08-15） 目录 1、国内半导体设备行业Q3收入同比增长65%，扣非净利润同比增长114%4 2、国内半导体设备行业Q3扣非净利率达到19%7 2.1、半导体设备扣非净利率显著上升，规模效应明显7 2.2、半导体设备净利率逐年显著上升8 2.3、半导体设备行业前道制程设备毛利率略有下降10 2.4、半导体设备行业各项费用率逐年下降11 3、订单充足，备货积极，合同负债持续攀升12 3.1、国内半导体设备订单普遍高增长12 3.2、国内半导体前道设备的合同负债普遍攀升13 3.3、国内半导体设备的存货普遍攀升13 4、半导体设备新产品研发：从横向、纵向两大维度加大新产品研发15 5、半导体零部件布局成形，收入放量明显18 6、光伏设备公司进军半导体设备：保持技术相通性19 7、国际半导体设备业绩：3Q22部分制程设备保持强劲增长，封测设备单季收入同比下降21 8、风险提示23 图目录 图1：中国半导体设备上市公司2022年前三季度收入排名（亿元）5 图2：中国半导体设备上市公司2022年前三季度收入的占比5 图3：国内半导体设备企业单季度收入创新高（亿元）6 图4：国内半导体设备上市公司扣非净利率对比7 图5：国内半导体设备企业3Q2022扣非净利率对比7 图6：国内半导体设备上市公司净利率8 图7：国内半导体设备企业3Q2022净利率对比9 图8：国内半导体设备企业近年来毛利率普遍升至45%左右10 图9：国内半导体设备企业3Q2022毛利率对比10 图10：国内半导体设备企业各项费用率均呈现下降趋势11 图11：上半年晶盛机电的半导体设备订单大幅上升（亿元）12 图12：半导体设备合同负债持续上升（亿元）13 图13：半导体设备存货持续上升（亿元）14 图14：光伏设备公司布局半导体设备环节列举19 图15：ASML单季度订单统计（百万欧元）22 图16：第三季度全球半导体设备市场的地域分布22 图17：历年来全球半导体设备市场的地域分布22 图18：第三季度主要国际半导体设备企业收入分布比较23 表目录 表1：半导体设备上市公司2022年前三季度收入比较4 表2：半导体设备上市公司2022年前三季度扣非净利润比较5 表3：中国半导体设备上市公司前三季度收入收入排名6 表4：半导体设备上市公司扣非净利率8 表5：半导体设备上市公司净利率9 表6：半导体设备上市公司毛利率比较11 表7：半导体设备上市公司合同负债及相应增幅对比13 表8：半导体设备上市公司存货及相应增幅对比14 表9：半导体设备上市公司发出商品及相应增幅14 表10：半导体设备上市公司新产品研发进度15 表11：拓荆科技产品布局16 表12：半导体设备企业产品布局17 表13：国内主要半导体零部件公司主要客户及研发进展统计18 表14：主要半导体零部件上市公司业绩表现19 表15：光伏设备公司进军半导体设备的具体情况20 表16：国际半导体设备龙头业绩对比21 1、国内半导体设备行业Q3收入同比增长 65%，扣非净利润同比增长114% 今年前三季度，国内主要半导体设备上市公司（北方华创、中微、长川、拓荆、华海清科、芯源微、盛美、华峰测控、联动科技，下同）总收入209亿元，超 过2021年全年行业收入195亿元，同比增长64%。 从前三季度收入增速来看，拓荆科技、华海清科、盛美上海的当前成长速度最快。拓荆科技的收入增长最快，达到165%，其次是华海清科，同比增长108%，盛美上海的收入增速82%。 单季度看，今年第三季度主要半导体设备上市公司总收入87亿元，同比增长64.9%，相比一季度增速62.5%、二季度增速62.6%来说略有加快，主要原因是三季度加快了收入确认而二季度受到了疫情影响。 单从第三季度收入增速来看，芯源微、盛美上海、拓荆科技、北方华创的增速较快。其中： (1)芯源微单季度收入增速最快，达到100%； (2)盛美上海单季度收入8.83亿元，同比增长91%； (3)拓荆科技单季度收入接近5亿元，同比增长79%； (4)北方华创单季度收入45.68亿元，同比增长78%，相比上半年平均增速50%左右，短期内显著加快。 ） 表1：半导体设备上市公司2022年前三季度收入比较 代码 公司 2021年收入 （亿元） 年度增速（同比） 2022Q1-Q3收入（亿元 年度增速（同比） 1Q2022收入 （亿元） 季度增速（同比） 2Q2022收入 （亿元） 季度增速（同比） 3Q2022收入 （亿元） 季度增速（同比） 688072.SH 拓荆科技 7.58 74.0% 9.92 165.2% 1.08 86.2% 4.16 658.4% 4.68 79.2% 688120.SH 华海清科 8.05 108.6% 11.33 108.4% 3.48 192.9% 3.69 111.2% 4.16 66.3% 688082.SH 盛美上海 16.21 60.9% 19.78 81.9% 3.54 28.5% 7.42 111.9% 8.83 90.9% 688037.SH 芯源微 8.29 152.0% 8.97 63.9% 1.84 62.0% 3.21 35.0% 3.92 99.9% 688012.SH 中微公司 31.08 36.7% 30.43 46.8% 9.49 57.3% 10.23 39.1% 10.71 45.9% 002371.SZ 北方华创 96.83 59.9% 100.12 62.2% 21.36 50.0% 33.08 51.4% 45.68 78.1% 300604.SZ 长川科技 15.11 88.0% 17.54 64.1% 5.38 82.4% 6.51 72.0% 5.65 42.9% 688200.SH 华峰测控 8.78 121.0% 7.78 22.1% 2.59 124.0% 2.82 35.0% 2.37 -24.2% 301369.SZ 联动科技 3.44 70.1% 2.71 24.6% 0.67 73.2% 1.27 0.0% 0.76 -10.2% 合计 195.37 64.3% 208.57 63.9% 49.43 62.5% 72.37 62.6% 86.78 64.9% 资料来源：Wind，光大证券研究所 今年前三季度，国内主要半导体设备上市公司的扣非净利润合计38亿元，已超 过2021年全年行业扣非净利润21.75亿元，同比增长189%。 从前三季度扣非净利润增速来看，拓荆科技实现扭亏，盛美上海、华海清科、中微、北方华创、长川科技的扣非净利润均同比增长100%以上。 从前三季度扣非净利润金额来看，北方华创位居行业第一，达到15亿元，占全行业的比例为40%，中微公司位居行业第二，达到6.44亿元，占比17%，盛美上海位居行业第三，达到4.8亿元，占比13%。 ） 表2：半导体设备上市公司2022年前三季度扣非净利润比较 代码 公司 2021年利润（亿元） 年度增速（同比） 2022Q1-Q3利润（亿元 年度增速（同比） 1Q2022利润 （亿元） 季度增速（同比） 2Q2022利润 （亿元） 季度增速（同比） 3Q2022利润 （亿元） 季度增速（同比） 688072.SH 拓荆科技 -0.82 -44% 1.12 扭亏 -0.22 亏损 0.71 扭亏 0.63 40% 688120.SH 华海清科 1.14 680% 2.66 239% 0.78