全球半导体设备与零部件行业2022年三季报总结：技术主权之争主导设备需求，半导体设备进口替代是主旋律

国内半导体设备上市公司业绩加速增长。3Q22半导体设备行业总收入同比增长65%，其中芯源微单季度收入增速最快，达到100%，盛美上海单季度收入同比增长91%，拓荆科技单季度收入同比增长79%，北方华创单季度收入45.68亿元，同比增长78%。 国内半导体设备盈利能力持续提升。3Q22半导体设备行业的扣非净利率平均值19.0%，2017-2021、1H2022扣非净利率依次是-4.3%、3.4%、4.5%、4.4%、11.1%、17.7%，逐年上升趋势显著。3Q22，国内半导体设备行业平均毛利率达到45.4%，2017-2021、1H2022毛利率依次是41.4%、41.1%、41.6%、40.4%、43.9%、48.7%，第三季度毛利率略有下降。 国内半导体设备上市公司订单普遍高增长。盛美上海2022年第三季度末，在手订单总金额46.44亿元，去年三季末22.62亿元，同比增长105%；中微公司2022年前三季度新签订单金额56.40亿元，同比增长60.2%；晶盛机电2022年第三季度末，未完成半导体设备合同（含税）24.6亿元，相比去年末在手订单10.68亿元增加1倍以上。 合同负债、存货均大幅增长。2022年三季度末，各家前道设备的合同负债普遍延续增长趋势，对比二季度末仍有增幅较大的是盛美、中微、北方华创，而后道封装测试设备长川科技、华峰测控的合同负债均有一定下滑。2022年三季度末，各家上市公司存货较二季度末均有较大幅度增长，其中增幅较大的依次是拓荆科技、中微公司、长川科技、盛美上海、华海清科、芯源微、北方华创。 半导体零部件布局成形，业绩显著放量。市场上有两类半导体零部件企业，一类是主营业务全部来自半导体零部件业务，例如富创精密、珂玛科技、沈阳中科仪，一类是半导体零部件是企业的新业务板块，例如江丰电子、神工股份、新莱应材等，此类零部件企业中的零部件收入占比持续提升。经历多年技术储备和验证后，2022年起半导体零部件业务呈现快速增长趋势。 22年前三季度国际制程设备业绩保持较快增速，但封测设备业绩普遍下行。根据各公司最新公告及四季度业绩预告中值计算，预计2022自然年ASML、TEL、LamResearch、KLA销售收入增速依次是13%、20%、14%、26%，单片ALD设备龙头ASM收入增速保持30%以上，成长性高，离子注入机Axcelis也保持了较高增速。测试设备方面，2022自然年前三季度日本测试机龙头Advantest保持了高速增长，与美国测试机龙头Teradyne负增长形成鲜明对比。封装设备中，Besi、K&S、ASM Pacific的第三季度收入呈现大幅负增长，且在第四季度仍持续下滑，体现全球封装行业显著收缩了资本开支计划。 投资建议：关注半导体设备厂商中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科、北方华创、芯源微、华峰测控、长川科技、万业企业、精测电子、天准科技、华兴源创、快克股份、德龙激光、光力科技；关注半导体零部件厂商新莱应材、英杰电气、正帆科技、富创精密、汉钟精机、江丰电子、盛剑环境、华亚智能。 风险分析：外部环境不确定性风险，技术迭代风险，美国进一步限制关键设备和零部件出口的风险。 1、国内半导体设备行业Q3收入同比增长65%，扣非净利润同比增长114% 今年前三季度，国内主要半导体设备上市公司（北方华创、中微、长川、拓荆、华海清科、芯源微、盛美、华峰测控、联动科技，下同）总收入209亿元，超过2021年全年行业收入195亿元，同比增长64%。 从前三季度收入增速来看，拓荆科技、华海清科、盛美上海的当前成长速度最快。 拓荆科技的收入增长最快，达到165%，其次是华海清科，同比增长108%，盛美上海的收入增速82%。 单季度看，今年第三季度主要半导体设备上市公司总收入87亿元，同比增长64.9%，相比一季度增速62.5%、二季度增速62.6%来说略有加快，主要原因是三季度加快了收入确认而二季度受到了疫情影响。 单从第三季度收入增速来看，芯源微、盛美上海、拓荆科技、北方华创的增速较快。其中： (1)芯源微单季度收入增速最快，达到100%； (2)盛美上海单季度收入8.83亿元，同比增长91%； (3)拓荆科技单季度收入接近5亿元，同比增长79%； (4)北方华创单季度收入45.68亿元，同比增长78%，相比上半年平均增速50%左右，短期内显著加快。 表1：半导体设备上市公司2022年前三季度收入比较 今年前三季度，国内主要半导体设备上市公司的扣非净利润合计38亿元，已超过2021年全年行业扣非净利润21.75亿元，同比增长189%。 从前三季度扣非净利润增速来看，拓荆科技实现扭亏，盛美上海、华海清科、中微、北方华创、长川科技的扣非净利润均同比增长100%以上。 从前三季度扣非净利润金额来看，北方华创位居行业第一，达到15亿元，占全行业的比例为40%，中微公司位居行业第二，达到6.44亿元，占比17%，盛美上海位居行业第三，达到4.8亿元，占比13%。 表2：半导体设备上市公司2022年前三季度扣非净利润比较 根据各公司公告，今年前三季度，国内半导体设备龙头北方华创收入达到100亿元，在有数据统计在内的半导体设备企业合计收入的占比48%，中微公司收入30亿元，占比15%，盛美上海收入20亿元，占比10%。 图1：中国半导体设备上市公司2022年前三季度收入排名（亿元） 图2：中国半导体设备上市公司2022年前三季度收入的占比 表3：中国半导体设备上市公司前三季度收入收入排名 参考8家半导体设备企业（北方华创、中微、长川、拓荆、华海清科、芯源微、盛美、华峰测控）第三季度总收入，2022年第三季度国内半导体设备行业市场规模创历史新高，单季度收入86亿元，同比增长66%。从Wind一致预期看，这8家半导体设备企业总收入2022年全年将达到300亿元，同比增长56%。 图3：国内半导体设备企业单季度收入创新高（亿元） 2、国内半导体设备行业Q3扣非净利率达到19% 2.1、半导体设备扣非净利率显著上升，规模效应明显 2022年第三季度，部分主要半导体设备公司扣非净利率的平均值达到19%， 2017-2021、1H2022扣非净利率依次是-4.3%、3.4%、4.5%、4.4%、11.1%、17.7%，逐年上升趋势显著。 图4：国内半导体设备上市公司扣非净利率对比 从第三季度扣非净利率看，前道设备企业华海清科、盛美上海、中微、北方华创的扣非净利率超过15%。 图5：国内半导体设备企业3Q2022扣非净利率对比 从3Q2022相比1H2022年的扣非净利率变动幅度看，行业平均上升1.3个百分点，其中上升幅度从大到小，依次是华海清科、北方华创、拓荆科技等。 表4：半导体设备上市公司扣非净利率 2.2、半导体设备净利率逐年显著上升 今年第三季度，国内半导体设备行业平均净利率达到21.7%，2017-2021、 1H2022净利率依次是8.8%、8.2%、8.4%、15.1%、18.4%、20.8%，逐年上升趋势显著。 图6：国内半导体设备上市公司净利率 从第三季度净利率看，前道设备企业华海清科、中微、拓荆、盛美净利率超过20%。 图7：国内半导体设备企业3Q2022净利率对比 从3Q2022相比1H2022年的净利率变动幅度看，行业平均上升0.8个百分点，其中上升幅度从大到小，依次是华海清科、拓荆科技、北方华创、中微、芯源微等。 表5：半导体设备上市公司净利率 2.3、半导体设备行业前道制程设备毛利率略有下降 2022年第三季度，国内半导体设备行业平均毛利率达到45.4%，2017-2021、1H2022毛利率依次是41.4%、41.1%、41.6%、40.4%、43.9%、48.7%，第三季度毛利率略有下降。 2022年第三季度，国内半导体设备中，前道制程设备的行业平均毛利率达到 43.3%，2017-2021、1H2022毛利率依次是37.8%、38.2%、39.2%、37.7%、40.8%、46.0%，第三季度略有下降。 图8：国内半导体设备企业近年来毛利率普遍升至45%左右 从今年第三季度毛利率看，前道设备企业拓荆、华海清科、盛美、中微的毛利率均超过45%，芯源微因前道Track收入占比暂时较低以致于总体毛利率不高但也达到40%。 图9：国内半导体设备企业3Q2022毛利率对比 从3Q2022相比1H2022年的毛利率变动幅度看，行业平均下降3.3个百分点，其中下降幅度从大到小，依次是长川科技、北方华创、华峰测控、联动科技。 表6：半导体设备上市公司毛利率比较 2.4、半导体设备行业各项费用率逐年下降 2022年第三季度，国内半导体设备行业平均毛利率达到45.4%，扣非净利率19.0%，研发投入占收入比例为14.0%（个别企业研发支出资本化），管理费用率7.0%，销售费用率（不含研发）为6.5%。 规模效应摊薄各项费用率。2017年-2022年上半年，国内半导体设备行业研发费用占收入比例从29.7%降至21.5%，累计下降8.2pct；管理费用率从15.0%降至7.5%，销售费用率从10.1%降至6.9%。2022年第三季度，研发费用率、销售费用率、管理费用率继续呈下降趋势。 图10：国内半导体设备企业各项费用率均呈现下降趋势 3、订单充足，备货积极，合同负债持续攀升 3.1、国内半导体设备订单普遍高增长 主要半导体设备公司订单增长情况列举如下： 盛美上海：2022年第三季度末，在手订单总金额46.44亿元，去年三季度末为22.62亿元，同比增长105%； 中微公司：2022年前三季度新签订单金额56.40亿元，同比增长60.2%； 晶盛机电：2022年第三季度末，未完成半导体设备合同（含税）24.6亿元，相比去年末在手订单10.68亿元增加了1倍。 图11：上半年晶盛机电的半导体设备订单大幅上升（亿元） 3.2、国内半导体前道设备的合同负债普遍攀升 2022年三季度末，各家前道设备的合同负债普遍延续增长趋势，对比二季度末仍有增幅较大的是盛美、中微、北方华创，而后道封装测试设备长川科技、华峰测控的合同负债均有一定下滑。 表7：半导体设备上市公司合同负债及相应增幅对比 历年数据看，拓荆科技、华海清科的合同负债数据表现比较一致，而盛美、芯源微类似。 图12：半导体设备合同负债持续上升（亿元） 3.3、国内半导体设备的存货普遍攀升 2022年三季度末，各家上市公司（除华峰测控外）存货较二季度末均有较大幅度增长，其中增幅较大的依次是拓荆科技、中微公司、长川科技、盛美上海、华海清科、芯源微、北方华创。 表8：半导体设备上市公司存货及相应增幅对比 图13：半导体设备存货持续上升（亿元） 2022年二季度末，多家上市公司的发出商品较年初有较大幅度增长，其中增幅较大的依次是长川科技、拓荆科技、华海清科、中微公司、盛美上海，而华峰测控、联动科技、芯源微略有下降。 表9：半导体设备上市公司发出商品及相应增幅 4、半导体设备新产品研发：从横向、纵向两大维度加大新产品研发 一是继续提升已有核心产品的竞争力，例如，拓荆科技推出六站式PECVD和六站式PE-ALD，以及多边形高产能平台，芯源微推出高产能架构平台，盛美拟推出超临界清洗设备。 二是进行新产品线扩张，对比美国应用材料产品横跨CVD、PVD、刻蚀、CMP、离子注入、量测、RTP等除光刻机外的几乎大部分半导体设备，中微在epi、LPCVD、ALD、ALE加大新产品研发力度，而盛美在原有清洗设备基础上，加大电镀、炉管、另两款关键设备上的布局，打开新的发展空间。 表10：半导体设备上市公司新产品研发进度 表11：拓荆科技产品布局 对比美国应用材料，国内半导体设备厂商的产品多样性有待提高，但本土半导体设备布局基本完善。应用材料（AMAT）是全球最大的半导体设备公司，产品横跨CVD、PVD、刻蚀、CMP、离子注入、量测、R