全球半导体设备与零部件行业2022年及23Q1业绩总结：国际设备厂商周期下行，但中国设备厂商逆势上行

国际半导体设备订单：封装设备23Q1环比改善但同比大幅下滑，制程设备订单高位下降。Besi 23Q1新接订单1.42亿欧元，同比下滑31%，环比上升21%。 ASMPT23Q1新接订单4.53亿美元，同比下滑50%，环比上升14%。ASM23Q1新接订单6.47亿欧元，同比下滑8%，环比下滑22%。ASML23Q1新接订单37.52亿欧元，同比下滑46%，环比下滑41%。 国际半导体设备收入增速放缓，大部分封测设备和零部件销售收入同比下滑。 23Q1，前道制程设备ASML、ASM、Axcelis单季度收入增速保持在15%以上，但Lam Research、Onto单季度收入增速由正转负。23Q2，Lam Research单季度收入将大幅下滑30%左右，KLA单季度收入增速将由正转负。封装设备、测试设备和半导体零部件上市公司在23Q1及23Q3也将延续负增长趋势。 国内半导体设备企业销售额增速保持在50%以上。2022年中国半导体设备16家上市公司的总收入达到335亿元，同比增长57%。22Q4、23Q1，本土半导体设备上市公司的单季度收入继续保持55%、57%的强劲增长，拓荆科技、华海清科、盛美上海的收入增速弹性较大。 国内半导体设备盈利能力持续提升。2022年国内前道制程设备企业扣非净利率平均值15.7%，2017-2021年扣非净利率依次是-8.3%、-0.1%、2.4%、2.6%、8.3%，逐年上升趋势显著。2022年，国内前道制程设备企业的平均毛利率 45.1%，2017-2021年毛利率依次是37.8%、38.2%、39.1%、37.8%、41.0%，2022年相比2021年提升4.1个百分点。 国内半导体设备上市公司订单普遍高增长，拓荆、华海清科2022年BBRatio大于2。晶盛机电23Q1未完成半导体设备合同（含税）35.2亿元，创历史新高。中微公司2022年新订单63.2亿元同比增长53%。拓荆科技2022年新订单43.62亿元同比增长95.36%，2022年末在手订单46.02亿元。华海清科2022年新订单35.71亿元。芯源微2022年新订单22亿元（含税）。 国内半导体制程设备合同负债、存货、发出商品均大幅增长。尽管美国2022年10月7日颁布半导体出口管制升级新规落地，拓荆科技、华海清科、盛美上海、中微公司、北方华创的合同负债、存货数据在2022年第四季度和2023年第一季度，依然呈现上行趋势，大部分交付节奏和新接订单受到的冲击并不显著。 国内半导体设备企业的人均创收逐年提升，中微公司一直领先。半导体设备上市公司的2022年人均收入中，中微公司国内最高达到391万元/人，其次是盛美上海、拓荆科技、华峰测控，依次达到278万元/人、271万元/人、240万元/人。但相比全球第一大半导体设备公司Applied Materials的人均收入86万美元/人（参考2023年4月28日汇率收盘价6.9284折算为RMB595万元/人），中微公司仍有1/3的差距。 国内主要半导体零部件企业23Q1业绩表现一般。富创精密Q1收入3.41亿元，仅同比增长22%，扣非净利润0.04亿元，同比下滑88%；江丰电子Q1收入5.65亿元，仅同比增长15%，扣非净利润0.36亿元，同比下滑15%；新莱应材Q1收入6.39亿元，仅同比增长2%，扣非净利润0.51亿元，同比下滑36%。 投资建议：关注半导体设备厂商中微公司、盛美上海、拓荆科技、微导纳米、华海清科、北方华创、芯源微、华峰测控、长川科技、万业企业、精测电子、天准科技、华兴源创、快克股份、德龙激光、光力科技；关注半导体零部件厂商新莱应材、英杰电气、正帆科技、富创精密、汉钟精机、江丰电子、盛剑环境、华亚智能。 风险分析：外部环境不确定性风险，技术迭代风险，美国进一步限制关键设备和零部件出口的风险。 1、业绩表现：国内半导体设备行业收入增速保持在50%以上 1.1、2022年国内半导体设备整体保持强劲增长，Q4延续高增长 2022年中国半导体设备16家上市公司的总收入达到335亿元，同比增长57%。 其中： （1）2022年收入增速最高是拓荆科技，同比增长125%，其次是华海清科，同比增长105%； （2）制程设备（拓荆科技、华海清科、盛美上海、芯源微、中微公司、北方华创、中科飞测、上海精测、凯世通）2019-2022年同比增速依次是28%、42%、61%、60%； （3）封测设备（长川科技、华峰测控、联动科技、金海通）2019-2022年同比增速依次是26%、82%、99%、40%。 表1：半导体设备上市公司2022年销售额比较 中国半导体设备16家上市公司的合计收入，从2017年41亿元，增长至2022年335亿元，2017-2022年复合平均增速为52%，2018-2022年复合平均增速为50%。 图1：中国半导体设备上市公司历年收入合计 根据中国半导体设备企业已披露的2022年收入数据排名（屹唐股份未披露数据），北方微（北方华创子公司）、中微公司、盛美上海位居前三名。拓荆科技从2021年排名从第8位攀升至2022年的第5位。华海清科从2021年排名从第7位攀升至2022年的第6位。 图2：中国半导体设备企业2022年收入排名 表2：中国半导体设备企业2021-2022年收入排名 根据中国半导体设备企业已披露的2022年收入数据统计（屹唐股份未披露数据），本土设备厂商龙头北方微在国内大部分设备厂商的份额达到36.0%，行业前三名的份额达到60%，前五名份额达到74%，前八名的份额达到86%，国内市场竞争格局也比较集中在头部设备企业。 图3：中国半导体设备企业按2022年收入的份额 根据中国半导体设备上市公司已披露的2022年扣非净利润数据（屹唐股份未披露数据），全行业扣非净利润56.25亿元，同比增长133%，扣非净利润率达到17.3%。其中： （1）拓荆科技：实现2022年扣非净利润扭亏为盈； （2）北方华创：扣非净利润21.06亿元位居行业第一； （3）中微公司：扣非净利润9.19亿元位居行业第二； （4）盛美上海：扣非净利润6.90亿元位居行业第三。 表3：半导体设备上市公司2022年扣非净利润比较 1.2、季度数据：22Q4、23Q1行业收入同比增长50%以上 2022年第四季度、2023年第一季度，本土半导体设备上市公司的单季度收入继续保持55%、57%的强劲增长，其中： (1)制程设备：23Q1单季度收入同比增长73%，而22Q1-22Q4增速依次是58%、66%、74%、49%： a)拓荆科技：22Q4确认7亿元收入同比增长86%，23Q1确认4亿元收入同比增长274%； b)华海清科：22Q4确认5亿元收入同比增长97%，23Q1确认6亿元收入同比增长77%； c)北方华创：23Q1单季度收入39亿元，同比增长81%。 (2)封测设备：23Q1单季度收入大幅下滑34%，其中长川科技、华峰测控单季度收入分别下滑40%、23%。 表4：半导体设备上市公司22Q1-23Q1单季度收入比较 参考12家半导体设备上市公司（北方华创、中微公司、长川科技、拓荆科技、华海清科、芯源微、盛美上海、华峰测控、晶升股份、联动科技、中科飞测、广立微）的合计季度收入，22Q4国内半导体设备上市公司的单季度收入创历史新高，达到100亿元以上。 图4：国内半导体设备企业单季度收入创新高 2、盈利能力：半导体制程设备行业毛利率和扣非净利率逐年上升趋势显著 2.1、扣非净利率：显著上升，规模效应明显 2022年，主要半导体设备上市公司扣非净利率的平均值达到17.2%，2017-2021年扣非净利率依次是-4.3%、2.8%、3.4%、4.9%、11.5%，逐年上升趋势显著。 2022年，主要半导体制程设备（也有称“前道设备”）上市公司扣非净利率的平均值达到15.7%，2017-2021年扣非净利率依次是-8.3%、-0.1%、2.4%、2.6%、8.3%，逐年上升趋势显著。 图5：国内半导体设备上市公司扣非净利率对比 拓荆科技、华海清科、中科飞测成立时间相较于中微、北方华创、盛美较晚，产品验证和批量订单释放节奏晚于中微、北方华创、盛美，收入规模效应主要体现在2020年及以后，扣非净利润率持续上升，拓荆、华海清科2022年分别实现10.4%、23.0%的扣非净利率，相比2021年分别有21.3个百分点、8.9个百分点的提升。 图6：国内半导体制程设备上市公司扣非净利率对比 从2022年度扣非净利率看，制程设备上市公司华海清科、盛美上海、中微公司的扣非净利率超过15%，拓荆科技、芯源微的扣非净利率位于10%上下；后道测试设备的扣非净利率普遍位于30%以上，仅长川科技的扣非净利率低于20%。 图7：国内半导体设备上市公司2022年扣非净利率对比 从2022年相比2021年的扣非净利率变动幅度看，半导体设备行业平均上升5.6个百分点，前道制程设备平均上升7.4个百分点，其中上升幅度从大到小，依次是拓荆科技、盛美上海、中微公司、华海清科、北方华创，其中拓荆科技上升21.3个百分点，盛美上海上升12.0个百分点。 表5：半导体设备上市公司年度扣非净利率 2023年第一季度，部分主要半导体设备上市公司的平均扣非净利率达到14.8%，相比2022年第一季度扣非净利率13.1%，上升了1.8个百分点； 2023年第一季度，部分主要半导体前道制程设备上市公司的平均扣非净利率达到15.9%，相比2022年第一季度扣非净利率11.1%，上升了4.8个百分点； 上升幅度最大的是拓荆科技，收入规模效应最为显著；其次是盛美上海，单季度扣非净利率提升了11个百分点。 表6：半导体设备上市公司单季度扣非净利率 2.2、净利率：逐年显著上升 2022年，国内半导体设备行业平均净利率达到21.0%，2017-2021年净利率依次是8.8%、7.6%、7.1%、15.5%、18.8%，逐年上升趋势显著。 2022年，国内半导体前道制程设备行业平均净利率19.8%，2017-2021年净利率依次是6.0%、5.2%、6.0%、13.9%、16.7%，逐年上升趋势显著。 图8：国内半导体设备上市公司平均净利率 从2022年净利率看，制程设备企业华海清科、中微、拓荆、盛美净利率超过20%。 图9：国内半导体设备企业2022年净利率对比 2.3、半导体前道制程设备毛利率逐年上升 2022年，国内半导体设备行业平均毛利率达到47.4%，2017-2021年毛利率依次是41.4%、41.2%、41.7%、40.8%、44.3%，2022年提升了3.1个百分点。 2022年，国内前道制程设备企业的平均毛利率45.1%，2017-2021年毛利率依次是37.8%、38.2%、39.1%、37.8%、41.0%，2022年提升了4.1个百分点。 图10：国内半导体设备企业近年来毛利率普遍升至45%左右 制程设备企业拓荆科技、华海清科、盛美、中微公司、中科飞测的毛利率均超过45%，芯源微因前道Track收入占比暂时较低以致于总体毛利率不高但也达到38%。 图11：国内半导体设备企业2022年毛利率对比 从2022年相比2021年的毛利率变动幅度看，半导体设备行业平均上升3.1个百分点，制程设备企业平均上升4.1个百分点。制程设备毛利率上升幅度从高到低，依次是盛美上海、拓荆科技、北方华创、华海清科。 从2022年相比2018年的毛利率变动幅度看，半导体设备行业平均上升6.1个百分点，制程设备企业平均上升6.9个百分点。制程设备毛利率上升幅度从高到低，依次是中科飞测、华海清科、拓荆科技、中微公司、北方华创、盛美上海。 表7：半导体设备上市公司毛利率比较 制程设备企业拓荆科技、华海清科、中科飞测毛利率，2018年分别为31.7%、25.3%、23.7%，逐年攀升至2022年的49.3%、47.