半导体设备行业2023年报、2024一季报总结：国产设备龙头业绩高增，先进扩产、进口替代正当时

证券研究报告 半导体设备行业2023年报&2024一季报总结：国产设备龙头业绩高增；先进扩产&进口替代正当时 证券分析师：周尔双 执业证书编号：S0600515110002 zhouersh@dwzq.com.cn 研究助理：李文意 执业证书编号：S0600122080043 liwenyi@dwzq.com.cn 2024年5月30日 请务必阅读正文之后的免责声明部分 收入端延续高速增长态势，盈利水平进一步提升。我们选取15家半导体设备行业重点标的【北方华创】【中微公司】【拓荆科技】【华海清科】【长川科技】【芯源微】【至纯科技】【华峰测控】【盛美上海】【万业企业】【精测电子】【赛腾股份】【微导纳米】【晶升股份】【金海通】。1）收入端，2023&2024Q1十�家半导体设备企业合计实现营业收入分别为550.51亿元、129.21亿元，分别同比+31.43%、+29.50%，收入端延续高速增长势头。2）利润端，2023&2024Q1十�家半导体设备企业合计归母净利润分别为103.21亿元、18.92亿元 ，分别同比+32.72%、+19.02%。2023&2024Q1十�家半导体设备企业销售净利率分别为18.71%、14.14%，分别同比-0.13pct、-1.82pct，盈利水平有所下降。进一步分析：�毛利端，2023&2024Q1十�家半导体设备企业整体毛利率分别为44.64%、44.82%，分别同比-1.11pct、+0.41pct；②费用端，2023&2024Q1十�家半导体设备企业期间费用率分别为28.41%、30.52%，分别同比+0.68pct、+1.47pct。3）订单方面，2023&2024Q1十�家半导体设备企业合同负债分别达到165.68亿元、183.97亿元，分别同比+7.75%、+8.24%，进一步验证在手订单充足，保障半导体设备行业业绩延续高速增长。 我们认为（1）2024年国产晶圆厂仍将积极扩产：头部存储企业2023年受政策和需求影响扩产放缓，2024年有望重启资本开支，逻辑企业受AI需求带动也有望持续扩产，叠加先进制程需求，国产半导体设备商2024年新签订单仍将保持高速增长；（2）薄膜和刻蚀在先进制程中用量不断增加；（3）设备国产化率仍有提升空间，尤其 是涂胶显影设备和量测设备仍有较大提升空间；（4）封测设备行业有望回暖，先进制程助推需求：供需关系改善有望重回平衡点，封测厂景气度有望在2024Q2-Q3传导至封测设备企业。 投资建议：1）存储扩产：2023年受行业景气下行、海外制裁等影响存储厂未进行大规模招标，后续随着国产设备突破资本开支有望重启，重点推荐北方华创、中微公司、芯源微、微导纳米；2）低国产化率低的环节：主要为薄膜沉积&涂胶显影环节，国产设备商已有突破，重点推荐拓荆科技、微导纳米、芯源微；3）景气度向上的封测设备：华峰测控。4）聚焦磨划+先进封装：迈为股份 风险提示：半导体行业投资不及预期、设备国产化进程不及预期等。 表：半导体设备行业重点公司2023&2024Q1主要业绩情况 资料来源：Wind，东吴证券研究所 3 一、行业业绩增速：前道设备业绩高增，后道设备短期承 压 二、行业未来展望：关注先进制程扩产&设备国产化率提升，继续看好半导体设备投资机会 三、投资建议与风险提示 2023年十�家半导体设备企业合计实现营业收入550.51亿元，同比+31.43%；2024Q1十�家半导体设备企业合计实现营业收入129.21亿元，同比+29.50%，收入端延续高速增长势头，表现十分亮眼。 分环节来看，前道设备维持高增，后道测试设备短期承压。1）【前道设备】：微导纳米、北方华创、中微公司23&24Q1营收维持较高增速，同比均超过30%，系下游需求强劲同时覆盖客群扩大致订单高速增长进入收获期。24Q1拓荆科技、芯源微营收出现下降系新品订单占比高收入确认节奏慢，以及23年订单季节性波动影响所致。2）【后道设备】：长川科技、金海通、华峰测控23年营收同比出现下滑，主 要系后道封测行业景气短期仍然承压所致，24Q1订单回暖行业复苏，长川科技已显露上升势头。 图：2023&2024Q1半导体设备行业营收同比+31.43%、 +29.50% 图：2023&2024Q1薄膜沉积、晶体生长、刻蚀等设备环节营收增速表现出色 600 500 400 300 200 100 0 营业收入（亿元）同比增速 49.01% 550.51 30.04% 49.98% 418.87 279.28 31.43% 29.50% 187.42 144.13 129.21 201920202021202220232024Q1 70% 40% 10% -20% -50% 160% 140% 120% 100% 80% 60% 40% 20% 0% -20% -40% -60% 中位数 10.40% 2023营收同比2024Q1营收同比 2023年十�家半导体设备企业合计归母净利润103.21亿元，同比+32.72%；2024Q1十�家半导体设备企业合计归母净利润18.92亿元，同比+19.02%； 分环节来看：1）【前道设备】：微导纳米、北方华创23&24Q1归母净利润增速均超65%，盈利能力持续大幅提升，主要系产品竞争力增强，市场份额提升带来业务规模增长所致，中微公司、芯源微、拓荆科技24Q1净利润同比出现下滑，主要原因是业务规模增长致相关股份支付、研发费用增长幅度高于收入增长幅度。2）【后道设备】：金海通、华峰测控23&24Q1归母净利润出现下滑，同比-40%以上，受 行业波动影响，主营业务收入有所下降；同时增大市场开拓和研发投入,导致报告期利润下降。 图：2023&2024Q1半导体设备行业归母净利润同比+32.72%、 中位数 -9.53% +19.02% 图：2023和2024Q1晶升股份、北方华创、赛腾股份等归母利润端增速表现突出 120 100 80 60 40 20 0 归母净利润（亿元）同比增速 66.52% 103.21 61.02% 67.84% 77.76 46.33 32.72% 19.02% 27.82 17.28 18.92 201920202021202220232024Q1 100% 70% 40% 10% -20% -50% 600% 500% 400% 300% 200% 100% 0% -100% -200% -300% 2023归母净利润同比2024Q1归母净利润同比 2023年十�家半导体设备企业合计实现扣非归母净利润81.05亿元，同比+24.30%；2024Q1十�家半导体设备企业合计实现扣非归母净利润17.32亿元，同比+36.38%。 分环节来看：1）【前道设备】：北方华创、中微公司23&24Q1扣非归母净利润同比增速分别超70%、15%，且扣非归母利润增速高于归母净利润增速，真实盈利水平大幅提升；微导纳米24Q1扣非归母净利润增速降速明显，主要系计入当期的政府补助达1764万元，高于归母净利润。2）【后道设备】：长川科技、金海通、华峰测控23&24Q1扣非归母净利润同比-50%以上，行业短期承压。 图：2023年&2024Q1半导体设备行业扣非归母净利润同比 中位数 -22.36% +24.30%、+36.38% 图：2023年&2024Q1北方华创、赛腾股份、中微公司扣非归母净利润增速表现突出 扣非归母净利润(亿元）同比增速 81.05 118.54%122.51% 65.20 36.38% 6.28% 29.30 12.62 13.41 24.30%17.32 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 201920202021202220232024Q1 160% 130% 100% 70% 40% 10% -20% -50% 1000% 800% 600% 400% 200% 0% -200% -400% -600% -800% 2023年扣非归母净利润同比2024Q1扣非归母净利润同比 2023年十�家半导体设备企业销售净利率为18.71%，同比-0.13pct，2024Q1十�家半导体设备企业销售净利率为14.14%，同比-1.82pct，盈利水平略有降低。 分环节来看，1）【前道设备】：微导纳米23年销售净利率同比+8.19pct，领跑半导体设备行业，主要系布局光伏打开成长空间规模效应显著，芯源微、拓荆科技24Q1销售净利率同比-10pct以上，主要系业务规模增长带来相关费用增幅短期上升。2）【后道设备】：华峰测控、长川科技23年销售净利 率同比-10pct以上，主要系研发费用大幅增加所致，24Q1长川科技同比+17.64pct，出现改善。 图：2023&2024Q1半导体设备行业净利率分别同比-0.68pct、 -11.42pct 图：2023&2024Q1华海清科、北方华创、晶升股份、华峰测控净利率靠前 20% 净利率 40% 2023销售净利率2024Q1销售净利率 15% 10% 30% 中位数 8.70% 20% 10% 18.83% 18.71% 16.88% 15.14% 15.97% 14.14% 12.39% 0% 5% -10% 0% 2019 2020 2021 2022 2023Q1 2023 2024Q1 -20% 2023年十�家半导体设备企业扣非归母净利率为14.72%，同比-0.84pct，盈利水平基本持平，2024Q1 十�家半导体设备企业扣非归母净利率为13.41%，同比+0.68pct，盈利水平略有提升。 分环节来看：1）【前道设备】：扣非归母净利率基本持平，芯源微、拓荆科技、微导纳米扣非归母净利润率分别同比-16.29pct、-14.25pct、-7.83pct，其中拓荆科技、微导纳米24Q1计入当期的政府补助分别同比+52.8%、+291%，高于归母净利润。2）【后道设备】：长川科技、华峰测控23年扣非归母净利率同比-19.63pct、-10.58pct，主要系封测行业景气度下降利润降低同时增加市场开拓和研发投入所致， 其中长川科技24Q1扣非归母净利率同比+21.19pct，出现复苏迹象。 图：2023&2024Q1半导体设备行业扣非后归母净利率分别同比 -5.42pct、+5.31pct 图：2023&2024Q1华海清科、华峰测控、北方华创扣非归母净利率靠前 20% 16% 12% 8% 4% 扣非后归母净利率 15.57% 14.72% 12.73% 13.41% 10.49% 8.75% 7.15% 40% 20% 0% 2023扣非后归母净利率2024Q1扣非后归母净利率 0% 2019 中位数 9.56% 2020 2021 2022 2023Q1 2023 2024Q1 -20% 资料来源：Wind，东吴证券研究所 资料来源：Wind，东吴证券研究所9 2023年十�家半导体设备企业销售毛利率为44.64%，同比-1.11pct，整体基本持平，略有下滑；2024Q1十�家半导体设备企业销售毛利率为44.82%，同比+0.41pct，同比出现一定提升。 分环节来看，1）【前道设备】：受益于产品结构优化和规模效应毛利率稳中有升，芯源微、拓荆科技、微导纳米、中微公司23年毛利率略有提升，北方华创、万业企业、精测电子、华海清科24Q1毛利率出现提升。2）【后道设备】：行业承压致使毛利率有所下滑，但整体水平依然出色，华峰测控、长川科技、金海通23&24Q1毛利率均超过49%，在半导体设备中遥遥领先。 图：2023&2024Q1半导体设备行业整体毛利率分别同比 -1.11pct、+0.41pct 图：2023&2024Q1万业企业、华峰测控、长川科技毛利率表现较为出色 48% 46% 44% 42% 40