半导体设备行业2023年报、2024一季报总结：国产设备龙头业绩高增，先进扩产、进口替代正当时

证券研究报告 半导体设备行业2023年报2024一季报总结：国产设备龙头业绩高增；先进扩产进口替代正当时 证券分析师：周尔双 执业证书编号：S0600515110002 zhouershdwzqcomcn 研究助理：李文意 执业证书编号：S0600122080043 liwenyidwzqcomcn 2024年5月30日 请务必阅读正文之后的免责声明部分 收入端延续高速增长态势，盈利水平进一步提升。我们选取15家半导体设备行业重点标的【北方华创】【中微公司】【拓荆科技】【华海清科】【长川科技】【芯源微】【至纯科技】【华峰测控】【盛美上海】【万业企业】【精测电子】【赛腾股份】【微导纳米】【晶升股份】【金海通】。1）收入端，20232024Q1十家半导体设备企业合计实现营业收入分别为55051亿元、12921亿元，分别同比3143、2950，收入端延续高速增长势头。2）利润端，20232024Q1十家半导体设备企业合计归母净利润分别为10321亿元、1892亿元 ，分别同比3272、1902。20232024Q1十家半导体设备企业销售净利率分别为1871、1414，分别同比013pct、182pct，盈利水平有所下降。进一步分析：毛利端，20232024Q1十家半导体设备企业整体毛利率分别为4464、4482，分别同比111pct、041pct；费用端，20232024Q1十家半导体设备企业期间费用率分别为2841、3052，分别同比068pct、147pct。3）订单方面，20232024Q1十家半导体设备企业合同负债分别达到16568亿元、18397亿元，分别同比775、824，进一步验证在手订单充足，保障半导体设备行业业绩延续高速增长。 我们认为（1）2024年国产晶圆厂仍将积极扩产：头部存储企业2023年受政策和需求影响扩产放缓，2024年有望重启资本开支，逻辑企业受AI需求带动也有望持续扩产，叠加先进制程需求，国产半导体设备商2024年新签订单仍将保持高速增长；（2）薄膜和刻蚀在先进制程中用量不断增加；（3）设备国产化率仍有提升空间，尤其 是涂胶显影设备和量测设备仍有较大提升空间；（4）封测设备行业有望回暖，先进制程助推需求：供需关系改善有望重回平衡点，封测厂景气度有望在2024Q2Q3传导至封测设备企业。 投资建议：1）存储扩产：2023年受行业景气下行、海外制裁等影响存储厂未进行大规模招标，后续随着国产设备突破资本开支有望重启，重点推荐北方华创、中微公司、芯源微、微导纳米；2）低国产化率低的环节：主要为薄膜沉积涂胶显影环节，国产设备商已有突破，重点推荐拓荆科技、微导纳米、芯源微；3）景气度向上的封测设备：华峰测控。4）聚焦磨划先进封装：迈为股份 风险提示：半导体行业投资不及预期、设备国产化进程不及预期等。 表：半导体设备行业重点公司20232024Q1主要业绩情况 资料来源：Wind，东吴证券研究所 3 一、行业业绩增速：前道设备业绩高增，后道设备短期承 压 二、行业未来展望：关注先进制程扩产设备国产化率提升，继续看好半导体设备投资机会 三、投资建议与风险提示 2023年十家半导体设备企业合计实现营业收入55051亿元，同比3143；2024Q1十家半导体设备企业合计实现营业收入12921亿元，同比2950，收入端延续高速增长势头，表现十分亮眼。 分环节来看，前道设备维持高增，后道测试设备短期承压。1）【前道设备】：微导纳米、北方华创、中微公司2324Q1营收维持较高增速，同比均超过30，系下游需求强劲同时覆盖客群扩大致订单高速增长进入收获期。24Q1拓荆科技、芯源微营收出现下降系新品订单占比高收入确认节奏慢，以及23年订单季节性波动影响所致。2）【后道设备】：长川科技、金海通、华峰测控23年营收同比出现下滑，主 要系后道封测行业景气短期仍然承压所致，24Q1订单回暖行业复苏，长川科技已显露上升势头。 图：20232024Q1半导体设备行业营收同比3143、 2950 图：20232024Q1薄膜沉积、晶体生长、刻蚀等设备环节营收增速表现出色 600 500 400 300 200 100 0 营业收入（亿元）同比增速 4901 55051 3004 4998 41887 27928 3143 2950 18742 14413 12921 201920202021202220232024Q1 70 40 10 20 50 160 140 120 100 80 60 40 20 0 20 40 60 中位数 1040 2023营收同比2024Q1营收同比 2023年十家半导体设备企业合计归母净利润10321亿元，同比3272；2024Q1十家半导体设备企业合计归母净利润1892亿元，同比1902； 分环节来看：1）【前道设备】：微导纳米、北方华创2324Q1归母净利润增速均超65，盈利能力持续大幅提升，主要系产品竞争力增强，市场份额提升带来业务规模增长所致，中微公司、芯源微、拓荆科技24Q1净利润同比出现下滑，主要原因是业务规模增长致相关股份支付、研发费用增长幅度高于收入增长幅度。2）【后道设备】：金海通、华峰测控2324Q1归母净利润出现下滑，同比40以上，受 行业波动影响，主营业务收入有所下降；同时增大市场开拓和研发投入导致报告期利润下降。 图：20232024Q1半导体设备行业归母净利润同比3272、 中位数 953 1902 图：2023和2024Q1晶升股份、北方华创、赛腾股份等归母利润端增速表现突出 120 100 80 60 40 20 0 归母净利润（亿元）同比增速 6652 10321 6102 6784 7776 4633 3272 1902 2782 1728 1892 201920202021202220232024Q1 100 70 40 10 20 50 600 500 400 300 200 100 0 100 200 300 2023归母净利润同比2024Q1归母净利润同比 2023年十家半导体设备企业合计实现扣非归母净利润8105亿元，同比2430；2024Q1十家半导体设备企业合计实现扣非归母净利润1732亿元，同比3638。 分环节来看：1）【前道设备】：北方华创、中微公司2324Q1扣非归母净利润同比增速分别超70、15，且扣非归母利润增速高于归母净利润增速，真实盈利水平大幅提升；微导纳米24Q1扣非归母净利润增速降速明显，主要系计入当期的政府补助达1764万元，高于归母净利润。2）【后道设备】：长川科技、金海通、华峰测控2324Q1扣非归母净利润同比50以上，行业短期承压。 图：2023年2024Q1半导体设备行业扣非归母净利润同比 中位数 2236 2430、3638 图：2023年2024Q1北方华创、赛腾股份、中微公司扣非归母净利润增速表现突出 扣非归母净利润亿元）同比增速 8105 1185412251 6520 3638 628 2930 1262 1341 24301732 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0 201920202021202220232024Q1 160 130 100 70 40 10 20 50 1000 800 600 400 200 0 200 400 600 800 2023年扣非归母净利润同比2024Q1扣非归母净利润同比 2023年十家半导体设备企业销售净利率为1871，同比013pct，2024Q1十家半导体设备企业销售净利率为1414，同比182pct，盈利水平略有降低。 分环节来看，1）【前道设备】：微导纳米23年销售净利率同比819pct，领跑半导体设备行业，主要系布局光伏打开成长空间规模效应显著，芯源微、拓荆科技24Q1销售净利率同比10pct以上，主要系业务规模增长带来相关费用增幅短期上升。2）【后道设备】：华峰测控、长川科技23年销售净利 率同比10pct以上，主要系研发费用大幅增加所致，24Q1长川科技同比1764pct，出现改善。 图：20232024Q1半导体设备行业净利率分别同比068pct、 1142pct 图：20232024Q1华海清科、北方华创、晶升股份、华峰测控净利率靠前 20 净利率 40 2023销售净利率2024Q1销售净利率 15 10 30 中位数 870 20 10 1883 1871 1688 1514 1597 1414 1239 0 5 10 0 2019 2020 2021 2022 2023Q1 2023 2024Q1 20 2023年十家半导体设备企业扣非归母净利率为1472，同比084pct，盈利水平基本持平，2024Q1 十家半导体设备企业扣非归母净利率为1341，同比068pct，盈利水平略有提升。 分环节来看：1）【前道设备】：扣非归母净利率基本持平，芯源微、拓荆科技、微导纳米扣非归母净利润率分别同比1629pct、1425pct、783pct，其中拓荆科技、微导纳米24Q1计入当期的政府补助分别同比528、291，高于归母净利润。2）【后道设备】：长川科技、华峰测控23年扣非归母净利率同比1963pct、1058pct，主要系封测行业景气度下降利润降低同时增加市场开拓和研发投入所致， 其中长川科技24Q1扣非归母净利率同比2119pct，出现复苏迹象。 图：20232024Q1半导体设备行业扣非后归母净利率分别同比 542pct、531pct 图：20232024Q1华海清科、华峰测控、北方华创扣非归母净利率靠前 20 16 12 8 4 扣非后归母净利率 1557 1472 1273 1341 1049 875 715 40 20 0 2023扣非后归母净利率2024Q1扣非后归母净利率 0 2019 中位数 956 2020 2021 2022 2023Q1 2023 2024Q1 20 资料来源：Wind，东吴证券研究所 资料来源：Wind，东吴证券研究所9 2023年十家半导体设备企业销售毛利率为4464，同比111pct，整体基本持平，略有下滑；2024Q1十家半导体设备企业销售毛利率为4482，同比041pct，同比出现一定提升。 分环节来看，1）【前道设备】：受益于产品结构优化和规模效应毛利率稳中有升，芯源微、拓荆科技、微导纳米、中微公司23年毛利率略有提升，北方华创、万业企业、精测电子、华海清科24Q1毛利率出现提升。2）【后道设备】：行业承压致使毛利率有所下滑，但整体水平依然出色，华峰测控、长川科技、金海通2324Q1毛利率均超过49，在半导体设备中遥遥领先。 图：20232024Q1半导体设备行业整体毛利率分别同比 111pct、041pct 图：20232024Q1万业企业、华峰测控、长川科技毛利率表现较为出色 48 46 44 42 40 38 毛利率 4575 4441 4464 4482 4333 4321 4114 20192020202120222023Q120232024Q1 90 80 70 60 50 40 30 20 10 10 0 2023毛利率2024Q1毛利率 中位数 4632 2023年十家半导体设备企业期间费用率为2841，同比068pct，2024Q1十家半导体设备企业期间费用率为3052，同比147pct，期间费用率上升，主要系研发力度不断加码所致。 分环节来看：1）【前道设备】：微导纳米232024Q1期间费用率同比881pct、1067pct，核心在于规模效应，拓荆科技、芯源微24Q1期间费用率分别同比1425pct、1391pct，系研发费用增幅较快所致。2）【后道设备】：长川科技、华峰测控23年费用同比2311pct、1458pct，主要系市场开拓和研发投入致使费用率上升，其中长川科技规模