电子行业：半导体设备中报业绩增速亮眼，下游逆周期投资提振设备需求

半导体设备公司中报业绩增速亮眼。根据各半导体设备公司披露的半年报来看，设备公司普遍都有较好的营收增长，其中北方华创今年的单季度营收增速稳定保持在50%左右的水平，中微公司增速也较为稳定；盛美上海因为疫情影响，Q1增速较低，但部分延迟的设备在Q2出货，使得Q2增速反弹；拓荆科技Q2单季度营收规模明显增大；芯源微上半年新签订单同比大幅增长。 国产量测设备取得中标。8月部分晶圆厂公布的设备中标中：1）量测与测试设备，上海精测和东方晶源分别中标1台量测设备，其中上海精测中标晋华集成的12吋扫描式电子显微镜，显示国内厂商在逐步突破壁垒较高的量测环节。另外，宁波舜宇仪器中标积塔半导体的4台检测设备，而广立微中标华虹无锡的1台电特性测试仪。2）刻蚀设备中，北方华创中标浙江创芯的1台多晶硅刻蚀系统。3）清洗设备中，创微微电子继续在积塔半导体中标3台槽式清洗机。 上海精测OCD设备通过客户 28nm 工艺验证，多款设备交付客户。今年7月，上海精测半导体的光学关键尺寸（OCD）测量设备再度通过关键客户 28nm 工艺验证，顺利进入量产生产线并全面投入使用。OCD设备是图形晶圆检测中基于光学技术的重要设备。精测的突破显示国产量测设备取得积极进展。8月，精测向客户交付了第三批前道光学测量设备，包括光学膜厚测量和OCD设备，其中光学膜厚测量设备适用于28nm FEOL和14nm BEOL节点制程，而OCD设备主要应用于28nm 及以上制程。 日本半导体设备销售增速回升，国内晶圆厂逆周期投资提升设备需求。根据SEAJ数据，7月日本半导体设备厂商销售额（3个月移动平均）环比恢复增长，同比增速也提升到约32%，显示半导体设备需求在7月表现较好。近期，中芯国际宣布将在天津新投资一条规划产能10万片/月的12英寸晶圆代工生产线，提供28~180nm 的代工服务。中芯国际继续扩产显示国内晶圆厂投资热度不减，对于半导体设备需求也将带来提振。 投资建议：建议关注设备平台型公司北方华创、中微公司等，以及细分赛道领先公司，包括拓荆科技、芯源微、华海清科、盛美上海等；关注量测环节的国产公司突破，标的包括精测电子、中科飞测（未上市）。 风险提示：下游需求不及预期、行业竞争加剧、贸易摩擦风险。 1.半导体设备公司中报业绩增速亮眼 半导体设备公司上半年增速亮眼。根据各半导体设备公司披露的半年报来看，设备公司普遍都有较好的营收增长，其中北方华创今年的单季度营收增速稳定保持在50%左右的水平，中微公司增速也较为稳定；盛美上海因为疫情影响，Q1增速较低，但部分延迟的设备在Q2出货，使得Q2增速反弹；拓荆科技Q2单季度营收规模明显增大；芯源微上半年新签订单同比大幅增长。 图1：半导体设备公司营收及同比 设备公司毛利率稳定。各设备公司的毛利率基本保持稳定在较高的水平。今年上半年，设备公司毛利率基本都在45%及以上，显示半导体设备的较好盈利水平。芯源微Q2毛利率约41%，也较前几个季度有所提升。预计随着芯源微前道涂胶显影设备的上量，毛利率将继续提升。从销售净利率来看，22Q2大部分设备公司的净利率在20%左右，其中部分公司会更高。随着设备公司营收规模的增大，预计将导致费用率的下降，从而使得利润率稳定在较好水平。 图2：半导体设备公司季度销售毛利率 图3：半导体设备公司季度销售净利率 在手订单饱满奠定未来营收高增长的基础。因为半导体设备交期长、占用资金大，所以一般客户采购时会提前预付一定比例的预付款，而其反映在设备厂商报表中就体现在合同负债科目上。通过合同负债的金额可以一定程度上反映目前设备厂商的在手订单规模情况。22Q2环比22Q1，主要半导体设备公司的合同负债有环比上升，其中芯源微、拓荆科技、华海清科的合同负债环比增长幅度较大。 图4：半导体设备公司合同负债（亿元） 2.国产量测设备逐步取得突破 我们选择部分晶圆厂以跟踪半导体设备招标和中标情况，样本主要包括华虹半导体、上海华力、燕东微、晶合集成、积塔半导体、长江存储、晋华集成等（详细样本列表见本节末），数据来源为机电产品招标投标电子交易平台。2022年8月，我们统计的样本晶圆厂共招标44台半导体设备，披露中标63台半导体设备。 积塔半导体继续扩产带动其设备招标。从招标数据来看，8月积塔半导体是主要贡献设备招标的晶圆厂，其中积塔半导体在其特色工艺生产线项目的扩产带动下，披露了较多的测试机等设备的招标。除此之外，华虹、燕东微、新微半导体也有释放少量设备招标。 国产量测设备取得中标。8月部分晶圆厂公布的设备中标中：1）量测与测试设备，上海精测和东方晶源分别中标1台量测设备，其中上海精测中标晋华集成的12吋扫描式电子显微镜，显示国内厂商在逐步突破壁垒较高的量测环节。另外，宁波舜宇仪器中标积塔半导体的4台检测设备，而广立微中标华虹无锡的1台电特性测试仪。2）刻蚀设备中，北方华创中标浙江创芯的1台多晶硅刻蚀系统。 3）清洗设备中，创微微电子继续在积塔半导体中标3台槽式清洗机。 上海精测OCD设备通过客户 28nm 工艺验证，多款设备交付客户。今年7月，上海精测半导体的光学关键尺寸（OCD）测量设备再度通过关键客户 28nm 工艺验证，顺利进入量产生产线并全面投入使用。OCD设备是图形晶圆检测中基于光学技术的重要设备。精测的突破显示国产量测设备取得积极进展。8月，精测向客户交付了第三批前道光学测量设备，包括光学膜厚测量和OCD设备，其中光学膜厚测量设备适用于28nm FEOL和14nm BEOL节点制程，而OCD设备主要应用于 28nm 及以上制程。 图5：8月部分晶圆厂的国产设备中标统计（台） 各类设备1-8月国产化率跟踪：从目前的半导体设备国产化率情况来看（不完全统计），由于我们统计的近期招标厂商为积塔半导体、华虹无锡等偏成熟制程的晶圆厂，所以部分设备品类的国产化率较高。从细分设备来看，今年1-8月中国产化率高于30%的设备有去胶、清洗、刻蚀，国产化率在10%~30%的有CMP、涂胶显影、薄膜沉积、热处理、量测，国产化率低于10%的有离子注入、光刻设备。 图6：2022年1-8月各类半导体设备的国产化率情况（不完全统计，括号内为各类设备的国产厂商份额） 样本选择范围： 我们选取了涵盖逻辑、功率、存储等共20座晶圆厂披露的招标和中标数据。 数据时间范围为2020年至今，统计的设备类型包括：薄膜沉积、刻蚀、光刻、涂胶显影、清洗、量测、测试、热处理、离子注入、化学机械研磨、去胶等主要的半导体设备种类。 图7：统计晶圆厂样本范围 3.国内晶圆厂逆周期投资提升设备需求 从全球半导体销售情况来看，受到去年同期基数抬升的影响，全球及中国半导体销售额增速有所放慢。根据美国半导体产业协会（SIA）数据，2022年6月，全球半导体市场销售额为508.2亿美元，同比增长12%，环比有所下降，而中国半导体市场销售额为165.4亿美元，同比增长3%。中国占全球半导体市场规模比例维持在33%。从整体市场来看，半导体销售增速有所放缓。 图8：全球半导体销售额及同比（单位：十亿美元） 图9：中国半导体销售额及同比（单位：十亿美元） 日本半导体设备销售增速回升，国内晶圆厂逆周期投资提升设备需求。根据SEAJ数据，7月日本半导体设备厂商销售额（3个月移动平均）环比恢复增长，同比增速也提升到约32%，显示半导体设备需求在7月表现较好。近期，中芯国际宣布将在天津新投资一条规划产能10万片/月的12英寸晶圆代工生产线，提供2 8~180nm 的代工服务。中芯国际继续扩产显示国内晶圆厂投资热度不减，对于半导体设备需求也将带来提振。 图10：日本半导体设备厂商销售额（3个月移动平均值，十亿日元） 4.风险提示 下游需求不及预期、行业竞争加剧、贸易摩擦风险。