至纯科技是一家以高纯工艺系统与半导体湿法设备为核心，布局泛半导体设备领域的公司。公司2021年实现营业收入20.84亿元，同比增长49.18%；实现扣非归母净利润1.62亿元，同比增长46.57%。公司合同负债与存货持续增长，2021年合同负债与存货分别为2.40亿元和11.95亿元，创历史新高，新增订单总额同比增长64.80%。公司不断加强研发投入，增强公司长期竞争力。公司深耕半导体湿法设备，全面进入收获季。预计2022年全球半导体行业设备端投资规模约在1332.8~1523.2亿美元之间。公司湿法设备量产，进入高速成长期。公司高纯工艺业务近五年分下游行业营收来看，泛半导体领域占据较大份额，增速较快，2021年达到8.71亿元，同比增长28.85%，近三年复合增长率为35.99%。我们预计未来带动公司高纯业务板块增长的主要驱动力来自泛半导体领域，来自医药领域的业务保持平稳增长趋势。公司气体及化学品支持设备业务国产替代进展顺利，已经成为国内该类设备的领先者，每年交付的各类设备超过5000台套。我们预计公司2022-2024年的净利润分别为3.99/5.08/6.07亿元，EPS分别为1.25/1.5
