至纯科技是国内高纯工艺系统龙头企业,业务涵盖高纯工艺系统、核心工艺设备以及工艺材料和专项服务。公司高纯工艺系统业务已实现ppb级不纯物控制,客户包括中芯国际、长江存储等高端客户,2023年收入23.18亿元,同比增长6.18%,毛利率37.06%。公司积极拓展湿法设备业务,重点布局单片湿法与槽式湿法设备,实现28nm节点全覆盖,并在14nm及以下制程取得突破,2024上半年制程设备新签订单同比大幅增长。公司加码投资设备零部件供应、大宗气站、部件清洗及晶圆再生服务,打造新的成长曲线。预计公司2024-2026年营业收入分别为33.43、39.69和48.40亿元,同比增速分别为6.08%、18.73%和21.95%;归母净利润分别为3.80、4.85和6.63亿元,同比增速分别为0.67%、27.77%和34.55%。首次覆盖,给予“买入”评级。