中微公司2021年年报点评:半导体设备需求强劲,在手订单饱满全年高增。公司实现营业收入31.1亿元,同比增长36.7%。新签订单金额达41.3亿元,同比增长91%;合同负债13.7亿元,同比增长132%。综合毛利率为43.4%,同比增长5.7pct。研发投入共4.0亿元,占收入为12.8%。公司正在研发LPCVD与EPI设备,并筹划开发ALD与ALE设备。