刻蚀设备高速增长，晶圆厂扩产设备龙头受益

中微公司发布2021年一季报，Q1实现营收6.03亿元，同比增长46.24%，环比下降24.34%；实现归母净利润1.38亿元，同比增长425.36%，环比下降35.81%。公司刻蚀设备和MOCVD设备收入分别为3.48亿元和1.33亿元，同比分别增长63.75%和76.85%。公司始终重视研发投入，研发费用维持较高水平。公司多种先进设备已实现批量供货，包括小于5纳米刻蚀设备和用于Mini LED生产的MOCVD设备。目前晶圆代工行业产能紧张，尤其对成熟制程的需求强劲，各大晶圆厂纷纷开启扩产计划，公司作为半导体设备龙头，有望受益于行业景气度的提升。