中微公司发布2020年年度报告,全年实现营收22.73亿元,同比增长16.76%;实现归母净利润4.92亿元,同比增长161.02%。公司注重核心技术创新,多种先进设备已实现批量供货。刻蚀设备方面,公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到5纳米等先进的芯片生产线上;同时,公司已开发出小于5纳米刻蚀设备,并已获得客户的批量订单。MOCVD设备方面,PrismoD-Blue、PrismoA7能分别实现单腔14片4英寸和单腔34片4英寸外延片加工能力,其中PrismoA7设备已在全球氮化镓基LEDMOCVD市场中占据领先地位。此外,公司研发了用于制造深紫外光LED的高温MOCVD设备PrismoHiT3,已在行业领先客户端用于深紫外LED的生产验证并获得重复订单;制造功率器件用MOCVD已在客户芯片生产线上投入试用;用于MiniLED生产的MOCVD设备的研发工作亦进展顺利,已有设备在领先客户端开始进行生产验证。本土晶圆厂产能加速扩张,尤其对成熟制程的需求强劲,各大晶圆厂纷纷开启扩产计划。中芯国际计划今年成熟12英寸产线扩产1万片,成熟8英寸产线扩产不少于4.5万片。华虹半导体也将在2021年通过12英寸生产平台进一步扩产,此外,华润微、士兰微等IDM厂商也在积极进行产能爬坡,伴随各大晶圆厂产能加速扩张,半导体设备需求有望保持高景气。