ICP刻蚀加速增长，CCP刻蚀受益于存储扩产

核心观点

中微公司股票投资评级为“买入”或“维持”，主要基于其ICP刻蚀设备加速增长和CCP刻蚀设备受益于存储扩产的市场表现。

ICP刻蚀设备增长

• 市场渗透：截至报告期末，ICP刻蚀设备已在逻辑、DRAM、3D NAND等领域超50家客户产线实现大规模量产，累计装机反应台超1200台。
• 订单占比：2025H1等离子体刻蚀设备新签订单中，ICP设备占比略高于CCP设备。
• 新产品：PrimoMenova™12寸ICP单腔刻蚀设备聚焦金属刻蚀领域，适配功率半导体、存储器件及先进逻辑芯片制造，具备高速率、高选择比、低介质损伤等特性。
• 技术研发：公司稳步推进先进ICP刻蚀技术研发，满足新一代逻辑、DRAM及3D NAND存储芯片制造需求。

CCP刻蚀设备受益于存储扩产

• 应用领域：公司等离子体刻蚀设备已大量用于先进三维闪存和动态随机存储器件的量产。
• 工艺能力：配备超低频偏压射频的ICP刻蚀机和超低频高功率偏压射频的CCP刻蚀设备已大规模应用于生产线上。
• 量产情况：2025年前三季度，高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产。

投资建议

• 财务预测：预计公司2025/2026/2027年分别实现收入121/157/198亿元，归母净利润21/31/43亿元。
• 评级：维持“买入”评级。

风险提示

• 下游客户扩产不及预期
• 员工股权激励带来的公司治理风险
• 政府支持与税收优惠政策变动
• 供应链风险
• 行业政策变化
• 国际贸易摩擦加剧
• 研发投入不足导致技术被赶超或替代