恒运昌688785调研纪要20260804

一、产品技术优势 公司拥有「基石技术+产品化支撑技术」的技术体系，包括底层通用的测量、控制及架构构建三大基石技术，以及针对半导体设备需求的8大产品化支撑技术，突破了高端等离子体射频电源系统的设计、测量和控制难题，掌握了信号采样及处理、相位同步锁定等关键技术。截至2025年底，公司已授权专利296项，累计申请专利490项，其中发明专利占比53.47%。

二、产品验证周期 半导体行业核心部件验证难度大、周期长，需经过多个环节。公司产品于2018年与拓荆科技合作验证，2020年下半年开始批量交付。近年来国内晶圆厂及装备商加速核心零部件国产化，验证周期逐步缩短。截至2025年底，第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证状态，支持更先进制程。

三、射频电源与匹配器销售模式 客户可单独采购等离子体射频电源或匹配器，两者无固定配套关系，公司等离子体射频电源无需与同系列匹配器配套使用。

四、2026年一季度营收下滑原因 2026年一季度公司营收1.24亿元，同比下滑主要因半导体行业周期波动，下游客户采购量受晶圆厂订单、验证进度及交付节奏影响呈现波动。同期净利润1758.28万元，同比下滑主要因运营管理提升、研发投入加大、政府补助减少及资产减值损失，公司在手订单约1.57亿元。

五、2025年研发投入增长原因 2025年公司研发费用8015.92万元，同比增长45.01%，主要因研发人工费增长61.43%，同时公司加大研发力度、推进新产品开发与升级，以强化产品竞争力。

六、产能情况及未来布局 2025年公司产能利用率达98.51%，通过推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司量产及深圳产能建设提升产能。未来将逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目建设，为产能持续释放奠定基础。