恒运昌688785调研纪要20260709

公司概况

2025年公司实现营业收入约5.29亿元，主要来自自研产品，核心客户包括拓荆科技、宏大真空等。截至2025年底，公司在手订单约1.57亿元。公司致力于成为等离子体工艺核心零部件整体解决方案平台，拓展光伏、显示面板等领域应用。

核心产品与技术

产品介绍
等离子体射频电源系统广泛应用于半导体（薄膜沉积、刻蚀等）和工业领域（光伏、显示面板等）。产品特点包括：

1. 认证门槛高：需通过设备商及晶圆厂双重认证；
2. 定制化程度高：由客户提出需求，公司自主研发验证；
3. 量产要求严苛：需确保稳定性和一致性。

公司已推出四代产品（CSL、Bestda、Aspen/Basalt、Cedar），第四代Cedar系列（验证中）整合射频电源与匹配器，支持多中心阻抗应用。

技术优势
公司技术体系分为：

1. 底层基石技术：覆盖测量、控制及架构；
2. 产品化支撑技术：包括8大技术（如信号采样、相位同步锁定等），突破先进设计难题。
   已授权专利296项（发明123项），累计申请490项（发明占比53.47%）。

市场与竞争

市场格局
中国大陆等离子体射频电源系统市场规模2024年达120.4亿元，半导体领域国产化率不足12%，由海外巨头垄断。公司是薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略供应商。

产能与布局
2025年产能利用率98.51%，提升措施包括：

1. 推进子公司恒运昌（沈阳）量产；
2. 加速深圳产能建设；
3. 建设智能化生产基地。

海外业务
2025年底境外收入占比极低，2025年11月在德国设立子公司（恒运昌）作为全球化支点，承担研发、市场拓展职能，已获得部分海外专利。