中科飞测2025年营收同比增长48.75%,达到20.53亿元,其中检测设备收入13.64亿元,同比增长38.52%;量测设备收入6.23亿元,同比增长72.71%。公司实现归母净利润扭亏为盈,达到0.59亿元,扣非归母净利润同比增长1.25%。公司毛利率为49.93%,同比提升1.03个百分点;期间费用率为50.55%,同比降低4.95个百分点。公司2025年研发费用高达6.56亿元,占营收比重31.95%。公司产品线持续丰富,暗场检测设备实现批量销售,明场检测设备已批量出货至头部客户,并新增电子束CD-SEM、高深宽比刻蚀结构量测设备(X光)、硅通孔铜填充空隙量测设备(X光)、晶圆平整度量测设备,形成“光学+电子束+X光”一站式方案能力。公司定增落地,上海及深圳募投项目稳步推进,持续扩充先进产能。华西证券维持“增持”评级,调整2026-2027年公司营收预测为30.73和44.05亿元,同比+50%、+43%,调整2026-2027年归母净利润预测为3.79和7.09亿元,同比+546%、+87%。风险提示包括新品拓展不及预期、下游客户扩产不及预期等。