恒运昌今日上市,标志着射频电源作为国产设备零部件领域的核心环节受到关注。射频电源是刻蚀和薄膜沉积设备的关键零部件:在薄膜沉积中,用于产生电场电离等离子体,活化等离子体加速反应并避免高温;在刻蚀中,生成有方向性的带电离子,实现精准和高深宽比刻蚀。
国产化率极低,市场空间广阔:当前射频电源及匹配器由国际厂商垄断,美国MKS和澳大利亚AE合计份额超87%,国产化率不足12%。国内半导体射频电源+匹配器市场规模约120亿元,预计2030年达200亿元。
国产替代加速:国产射频电源从0到1进入加速期,如恒运昌最新一代Aspen系列已支持7-14nm先进制程并实现量产交付国内头部设备厂与Fab厂。随国产半导体设备快速发展,射频电源有望同步受益。
受益标的:恒运昌、北方华创(华丞电子)、英杰电气、联影医疗、神州半导体(上市辅导中)。