高端刻蚀机付运量显著提升，LPCVD薄膜设备快速放量

中微公司2025年半年度业绩预告显示，公司经营状况良好，预计实现营业收入49.6亿元，同比增长43.87%；归母净利润6.8-7.3亿元，同比增长31.61%-41.28%。其中，25Q2预计实现营业收入27.87亿元，同比增长51.25%；归母净利润3.67-4.17亿元，同比增长37.14%-55.82%。公司研发投入显著增加，25H1研发投入14.92亿元，同比增长53.70%，占营收比重达30.07%，远超科创板平均水平。公司在研项目覆盖6类设备，超20款新品开发中，研发周期缩短至2年内，加速产品迭代。

公司业务方面，高端刻蚀设备持续领跑市场，25H1刻蚀设备实现收入37.81亿元，同比增长40.12%，PrimoMenova™12寸刻蚀设备已交付国内重要集成电路制造商。LPCVD薄膜设备实现快速放量，25H1该设备收入同比增长608.19%。电子束检测设备方面，中微成立超微子公司，组建50人团队进行研发，致力于填补国产设备空白。

投资建议方面，预计公司2025-2027年收入分别为119.42亿元、153.53亿元、186.59亿元，归母净利润分别为23.64亿元、31.31亿元、41.14亿元。采用PE估值法，给予公司2025年58倍PE，对应目标价219元/股，维持“买入-A”投资评级。

风险提示包括半导体设备国产化不及预期、下游晶圆厂扩产不及预期、研发节奏存在不确定性以及海外制裁风险。