深度研究：检测量测设备国产替代正当时，国内领军者弹性巨大

中科飞测（688361）深度研究 / 检测量测设备国产替代正当时，国内领军者弹性巨大 / 2024年11月27日 挖掘价值投资成长 增持（首次） 【投资要点】 国内检测量测设备龙头，持续快速放量。中科飞测于2014年末设立，中科院微电子所参与设立，公司董事长陈鲁及核心技术人员、部分员工均曾在微电子所任职，科研实力雄厚。公司实控人为陈鲁夫妇，控制权清晰稳定。公司产品品类众多，覆盖品类空间广，客户广泛覆盖国内主流前道制程及先进封装客户，近年来随着下游快速发展以及国产化加速，公司产品快速放量，收入持续高增长。 国内晶圆厂有序扩产，先进制程空间巨大，低国产化率环节弹性更大。2023年，下游晶圆厂大量进口海外设备，并与国产设备厂商配合推进制程工艺卡脖子环节突破，2023年末以来部分产线已有序启动扩产。展望2025年，依托充足海外设备囤货，以及产线工艺和设备优化，先进产线扩产态势良好，叠加国产化率提升，设备订单持续快速增长。 中长期来看，先进制程缺口依然巨大，在外部环境不确定的风险下，扩产力度和持续性值得期待。尤其是国产化率较低的环节，如检测量测设备，国产化突破和份额提升较为急迫、订单弹性更大。 检测量测乃良率提升关键环节，国产化正当时。半导体制造过程中， 检测量测是保证芯片生产良率的关键，其设备市场空间巨大，2023年近130亿美元、为第四大类半导体设备。且随着制程微缩和结构复杂，对检测量测的要求和需求也会更高，近年其设备市场复合增速也居于各类产品中部。检测量测细分品类极多，但整体均由KLA等海外厂商垄断，国产化率极低，尤其是难度高、市场大的明场检测设备等细分品类。而随着下游客户恢复/启动扩产，检测量测设备环节国产化迫在眉睫。且从订单节奏上而言，前期制程工艺设备订单兑现，而下游客户产线调通后良率提升和成本控制重要性凸显，2025年检测量测设备订单落地将进入兑现阶段。 中科飞测：国内品类覆盖最广的龙头，深度受益国产替代。中科飞测 已量产设备品类的市场覆盖比例达30%，加上验证品类可达67%，居于国内厂商前列。公司无图形检测优势明显，套刻精度量测设备逐渐建立优势，图形检测、膜厚量测等设备份额稳步提升，明场、暗场检测和OCD量测设备也在有序推进中，随着下游加速国产化，公司产品份额提升以及新品突破，公司订单和收入弹性巨大。 东方财富证券研究所 证券分析师：李双亮 证书编号：S1160524100007 证券分析师：王佩麟 证书编号：S1160524100001 相对指数表现 52.58% 34.52% 16.46% -1.59% -19.65% -37.70%11/271/273/275/277/279/27 中科飞测沪深300 基本数据 总市值（百万元)30748.80 流通市值（百万元)23461.03 52周最高/最低（元）115.88/46.12 52周最高/最低（PE）3958.65/105.69 52周最高/最低（PB）44.53/6.28 52周涨幅（%）22.29 52周换手率（%）375.71 相关研究 公司研究 机械设备 证券研究报告 【投资建议】 随着下游晶圆厂快速扩产以及国产化率提升，检测量测设备厂商面临良好发展机遇。公司作为国内检测量测设备领先厂商，细分产品优势明显，新品有序验证放量，有望深度受益。我们预计公司2024-2026年收入分别为 12.82亿元、19.74亿元、29.60亿元，归母净利润分别为0.35亿元、2.70亿元、4.78亿元，对应2024/11/25收盘价PS分别为24.3倍、15.8倍、 10.5倍，PE分别为875倍、115倍、65倍。考虑到中科飞测尚处于快速发展阶段，研发投入大，未达到稳定、合理的利润率水平，而公司所处细分赛道国产化率更低、份额提升和业绩增长弹性更大，我们给予公司“增持”评级。 盈利预测 项目\年度 2023A 2024E 2025E 2026E 营业收入（百万元） 890.90 1282.34 1973.51 2959.93 增长率(%) 74.95% 43.94% 53.90% 49.98% EBITDA（百万元） 159.83 73.97 312.15 525.64 归属母公司净利润（百万元） 140.34 35.47 270.46 476.84 增长率(%) 1072.38% -74.72% 662.39% 76.31% EPS(元/股) 0.49 0.11 0.85 1.49 市盈率（P/E） 151.90 875.08 114.78 65.10 市净率（P/B） 9.88 12.40 11.52 10.25 EV/EBITDA 146.14 411.64 97.70 58.25 数据来源：Choice，东方财富证券研究所 【风险提示】 外部贸易环境不确定性风险：若美国对国内半导体产业的制裁收紧程度加深，严重影响国内下游晶圆厂扩产，则设备需求可能较为低迷。 下游扩产力度不及预期：设备厂商的订单需求主要取决于下游扩产情况，如果下游扩产力度不及预期，则公司订单增长可能受到影响。 新品验证不及预期：检测量测设备部分品类尚未实现国产化突破，公司及竞争对手积极推进验证中，若公司新品验证及放量不及预期，则公司 的业绩增长以及长期天花板都会受到影响。 正文目录 1.中科飞测：国内检测量测设备领军者，持续快速放量5 1.1.国内检测量测设备领军者，产品系列广泛5 1.2.中科院参与出资设立，科研实力雄厚7 1.3.产品有序拓展放量，收入快速增长8 2.晶圆制造良率提升关键工艺，自主可控正当时10 2.1.国内晶圆厂扩产有序落地，先进制程产能空间巨大10 2.2.检测量测设备：良率提升关键工艺，国产替代正当时16 2.2.1.良率提升关键环节，空间大、成长快16 2.2.2.检测量测设备细分种类多，光学检测技术应用广泛19 2.2.3.美日厂商主导的卡脖子环节，国产化正当时23 2.3.中科飞测：国内光学检测龙头，产品覆盖空间巨大27 2.3.1.设备覆盖市场空间大，软硬件结合提供全流程方案27 2.3.2.人才团队和技术实力积累深厚，多项产品地位和进展良好28 2.3.3.先进封装驱动质量控制需求，细分领域优质厂商受益明显32 3.盈利预测与投资评级33 4.风险提示34 图表目录 图表 1：中科飞测发展历程......................................... 5 图表 2：中科飞测主要系列产品..................................... 6 图表 3：中科飞测近年收入结构..................................... 6 图表 4：中科飞测2022年主营业务收入结构.......................... 6 图表 5：中科飞测前十大股东（截至2024年三季报）.................. 7 图表 6：公司部分员工简介......................................... 7 图表 7：中科飞测研发投入情况..................................... 8 图表 8：中科飞测收入情况......................................... 9 图表 9：中科飞测净利润情况....................................... 9 图表 10：中科飞测毛利率情况...................................... 9 图表 11：中科飞测利润率及费用率情况.............................. 9 图表 12：中科飞测各期末存货和合同负债金额....................... 10 图表 13：全球半导体设备市场规模地区结构......................... 10 图表 14：全球半导体设备市场规模地区结构......................... 11 图表 15：中国进口半导体设备金额（百万美元）..................... 11 图表 16：中国进口光刻机金额（百万美元）......................... 12 图表 17：中国进口光刻机单价..................................... 12 图表 18：中国大陆半导体设备市场规模与设备进口金额（亿美元）..... 12 图表 19：国产设备厂商在部分关键卡脖子工艺实现突破............... 13 图表 20：中微公司CCP刻蚀设备装机数量........................... 13 图表 21：拓荆科技设备反应腔出货数量............................. 13 图表 22：ASML收入地区结构....................................... 14 图表 23：ASML收入产品结构....................................... 14 图表 24：TEL收入地区结构........................................ 14 图表 25：AMAT收入地区结构....................................... 14 图表 26：全球半导体销售额....................................... 14 图表 27：全球半导体产能地区分布................................. 15 图表 28：中国半导体销售额及占全球比例........................... 15 图表 29：2024Q2全球3DNAND市场格局............................ 15 图表 30：2024Q2全球DRAM市场格局................................ 15 图表 31：全球不同技术节点晶圆产能的地区分布..................... 16 图表 32：半导体产业链及质量控制设备所处环节..................... 17 图表 33：半导体检测与量测技术................................... 17 图表 34：主要半导体设备的市场规模............................... 18 图表 35：中国大陆半导体检测量测设备市场规模..................... 18 图表 36：部分主要半导体设备市场2011-2021年均增速............... 19 图表 37：检测量测主要技术路线原理............................... 19 图表 38：无图形检测（左）、暗场和明场检测（右）.................. 20 图表 39：检测设备主要类别及应用................................. 21 图表 40：量测设备主要类别及应用................................. 21 图表 41：主要检测量测设备及应用................................. 22 图表 42：全球检测量测设备细分市场结构........................... 23 图表 43：检测量测设备的部分关键指标............................. 23 图表 44：光学检测量测设备的发展趋势............................. 24 图表 45：检测设备产生的宽光谱光可调谐到特定的波